一种用于探针卡组装定位的定位机构及应用制造技术

本发明专利技术属于晶圆测试中所用探针卡技术领域，具体涉及一种用于探针卡组装定位的定位机构及应用。其包括设置在固定位板上确定坐标的位置标识和设置在待定位板上与位置标识对应的，确定坐标的定位通孔。本发明专利技术提供的技术方案提出了一种定位通孔配合位置标识的新结构，通过两者配合获得对位孔，不仅在装配时可以直观获知位置的准确偏差，并且同时能够进行准确的定量调整，从而可以方便快捷的完成精确装配，提高装配精度和效率，保证了产品质量。保证了产品质量。保证了产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于探针卡组装定位的定位机构及应用


[0001]本专利技术属于晶圆测试中所用探针卡
，具体涉及一种用于探针卡组装定位的定位机构及应用。

技术介绍

[0002]晶圆测试作为芯片封装前的一个重要环节，可在很大程度上提高封装成型后芯片的良品率。探针卡作为晶圆与测试机之间的桥梁，既能将测试机的测试信号传到晶圆上，又能将晶圆产生的响应信号回传至测试机，以此判断晶圆的好坏。
[0003]垂直探针卡通常为多层层叠结构，主要用于测量微间距、高密度排布的晶圆，可以实现多区域平行测量。探针卡一般包括探针头和转接电路板，探针头中的探针针尾与转接电路板上分布的Pad接触，进行信号传递，因此Pad位置与探针位置需要一一对应，这就要求从上到下为探针提供固定和导向的各层的相对位置要非常精确，稍有偏差就无法实现一一对应或倾斜易损。
[0004]探针的排列密度较高，且多层结构之间不透明，在整卡装配过程中无法观察针尾与转接电路板上Pad的对应关系，因此为了保证每根探针针尾与Pad一一对应，需要花费大量的时间进行各层板的位置微调，目前通过人工调整的精度较差，这在很大程度上影响了产品质量，增加了研发与应用成本。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供了一种用于探针卡组装定位的定位机构及应用，用以解决目前探针卡组装定位困难的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：所述用于探针卡组装定位的定位机构，其包括设置在固定位板上确定坐标的位置标识和设置在待定位板上与位置标识对应的，确定坐标的定位通孔。
[0007]可选地，所述位置标识呈长条状，所述位置标识的长度方向为X向或Y向，所述位置标识的宽度为一个调节单位的整数倍，所述定位通孔沿调节方向延伸，所述调节方向与位置标识长度方向垂直，在调节方向上每个调节单位上，通过开孔位置、开孔形状和/或开孔个数的改变来表示此处Y向或X向的坐标。
[0008]可选地，所述调节单位为8
‑
15μm。
[0009]可选地，所述位置标识为矩形着色标记、横截面为矩形的凹槽或横截面为矩形的通孔。
[0010]可选地，所述定位通孔沿调节方向包括至少一组上升和/或下降变化的台阶孔，台阶孔中一个台阶的宽度为一个调节单位。
[0011]可选地，所述台阶孔沿调节方向呈周期变化，对每个变化周期进行编号。
[0012]可选地，所述探针卡中定位机构的定位方法，其包括如下步骤：
[0013]1)建立直角坐标系，确定固定位板探针孔和待定位板探针孔的坐标；
[0014]2)根据坐标，确定准确对位时定位机构形成对位孔的位置；
[0015]3)粗定位后，通过对位孔确定并调整待定位板相对固定位板的位置偏差，最终实现了固定位板和待定位板的精确定位。
[0016]可选地，设置至少一个X向定位机构用于确定和调整X轴坐标，设置至少一个Y向定位机构用于确定和调整Y轴坐标。
[0017]可选地，探针卡中探针分布区域的对角向各设置一组定位机构，一组定位机构中包括X向定位机构和Y向定位机构。
[0018]本专利技术还提供了一种探针卡的组装方法，其包括如下步骤：
[0019]S1：所述探针卡包括探针头、与探针头探针针尾相接的转接电路板、设置在转接电路板上的支架和设置在转接电路板下的安装座，分别进行探针头组装和转接电路板的固定；
[0020]S2：将组装好的探针头通过导向销与转接电路板进行粗定位；
[0021]S3：通过探针头中的主支撑板与转接电路板的定位机构进行精定位；
[0022]S4：将探针头通过螺钉与转接电路板固定，实现探针与转接电路板上的Pad一一对应。
[0023]可选地，所述转接电路板为固定位板，所述探针头为待定位板。
[0024]可选地，所述探针头包括探针，以及探针穿过的若干层板，所述定位机构用于转接电路板、支架、若干层中的至少两层之间的定位。
[0025]可选地，用于转接电路板与支架的定位时，转接电路板为固定位板，支架为待定位板；
[0026]所述若干层板包括探针依次穿过的第一上盖板、第二上盖板、主支撑板、下盖板，用于第一上盖板与第二上盖板的定位时，第二上盖板为固定位板，第一上盖板为待定位板；
[0027]用于第二上盖板与主支撑板的定位时，主支撑板为固定位板，第二上盖板为待定位板；
[0028]用于主支撑板与下盖板的定位时，主支撑板为固定位板，下盖板为待定位板。
[0029]可选地，S1中所述探针头组装过程如下：
[0030]S11：探针和定位销依次穿过第一上盖板、辅助支撑板、第二上盖板、主支撑板和下盖板实现粗定位；
[0031]S12：以主支撑板为固定位板，分别对下盖板和第二上盖板进行精确定位和微调；
[0032]S13：以第二上盖板为固定位板，对第一下盖板进行精确定位和微调；
[0033]S14：通过螺钉将定位后多层板进行固定，获得组装完成的探针头。
[0034]本专利技术提供的技术方案提出了一种定位通孔配合位置标识的新结构，通过两者配合获得对位孔，不仅在装配时可以直观获知位置的准确偏差，并且同时能够进行准确的定量调整，从而可以方便快捷的完成精确装配，提高装配精度和效率，保证了产品质量。
附图说明
[0035]图1是本专利技术待组装的探针卡的结构示意图；
[0036]图2是本专利技术所述定位机构一具体实施方式的结构示意图；
[0037]图3是本专利技术所述对位孔一具体实施方式的结构示意图；
[0038]图4是本专利技术所述定位通孔的一个周期内多种设置方式的结构示意图；
[0039]图5a和b是本专利技术所述通过定位机构定位并调整的过程示意图；
[0040]图6是本专利技术所述定位机构分布方式的结构示意图。
[0041]图中所示：
[0042]11
‑
探针头、111
‑
探针、112
‑
第一上盖板、113
‑
辅助支撑板、114
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第二上盖板、115
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主支撑板、116
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下盖板、117
‑
探针孔、12
‑
转接电路板、13
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支架、14
‑
安装座、20
‑
定位机构、21
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固定位板、22
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位置标识、23
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待定位板、24
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定位通孔、25
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对位孔、26
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X向定位机构、27
‑
Y向定位机构。
具体实施方式
[0043]为了便于理解，下面结合实施例阐述用于探针卡组装定位的定位机构及应用，应理解，这些实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。
[0044]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于探针卡组装定位的定位机构，其特征在于，包括设置在固定位板上确定坐标的位置标识和设置在待定位板上与位置标识对应的，确定坐标的定位通孔。2.根据权利要求1所述用于探针卡组装定位的定位机构，其特征在于，所述位置标识呈长条状，所述位置标识的长度方向为X向或Y向，所述位置标识的宽度为一个调节单位的整数倍，所述定位通孔沿调节方向延伸，所述调节方向与位置标识长度方向垂直，在调节方向上每个调节单位上，通过开孔位置、开孔形状和/或开孔个数的改变来表示此处Y向或X向的坐标。3.根据权利要求1所述用于探针卡组装定位的定位机构，其特征在于，所述位置标识为矩形着色标记、横截面为矩形的凹槽或横截面为矩形的通孔。4.根据权利要求1所述用于探针卡组装定位的定位机构，其特征在于，所述定位通孔沿调节方向包括至少一组上升和/或下降变化的台阶孔，台阶孔中一个台阶的宽度为一个调节单位。5.根据权利要求4所述用于探针卡组装定位的定位机构，其特征在于，所述台阶孔沿调节方向呈周期变化，对每个变化周期进行编号。6.根据权利要求1所述用于探针卡组装定位的定位机构，其特征在于，所述探针卡中定位机构的定位方法，其包括如下步骤：1)建立直角坐标系，确定固定位板探针孔和待定位板探针孔的坐标；2)根据坐标，确定准确对...

【专利技术属性】
技术研发人员：张桓瑜，封振，于海超，
申请(专利权)人：强一半导体苏州股份有限公司，
类型：发明
国别省市：