用于三轴干涉式光纤陀螺的集成光学网络芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种用于三轴干涉式光纤陀螺的集成光学网络芯片。它包括埋藏式低损耗玻璃波导、３＊３耦合器、第一集成的２＊２耦合器、第二集成的２＊２耦合器、第三集成的２＊２耦合器，在埋藏式低损耗玻璃波导上集成了一个３＊３耦合器，３＊３耦合器三个出射端分别与第一集成的２＊２耦合器一入射端、第二集成的２＊２耦合器一入射端、第三集成的２＊２耦合器一入射端相连。本发明专利技术与传统的三轴干涉式光纤陀螺系统使用四个独立的耦合器相比，这种结构大大的减小了三轴干涉式光纤陀螺光学系统的体积，有利于三轴干涉式光纤陀螺的小型化和工程化。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种用于三轴干涉式光纤陀螺的集成光学网络芯片，其特征在于包括埋藏式低损耗玻璃波导、３＊３耦合器２、第一集成的２＊２耦合器３、第二集成的２＊２耦合器４、第三集成的２＊２耦合器５，在埋藏式低损耗玻璃波导上集成了一个３＊３耦合器２，３＊３耦合器三个出射端分别与第一集成的２＊２耦合器３一入射端、第二集成的２＊２耦合器４一入射端、第三集成的２＊２耦合器５一入射端相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周柯江，张大茂，杨建义，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]