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用于三轴干涉式光纤陀螺的集成光学网络芯片制造技术
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文档序号:3861440
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本发明公开了一种用于三轴干涉式光纤陀螺的集成光学网络芯片。它包括埋藏式低损耗玻璃波导、3*3耦合器、第一集成的2*2耦合器、第二集成的2*2耦合器、第三集成的2*2耦合器,在埋藏式低损耗玻璃波导上集成了一个3*3耦合器,3*3耦合器三个出射...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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