本发明专利技术公开了锅炉炉室加工技术领域的一种半导体炉主炉室加工装置，包括底座，底座侧壁安装有夹持组件，底座顶部固定连接有高度调节伸缩杆，高度调节伸缩杆活动端固定连接有顶板，顶板端部固定连接有旋转电机，旋转电机输出轴固定连接有固定连接有旋转支架，旋转支架端部均安装有滑座，旋转支架安装有用于驱动滑座相向移动的调节组件，滑座固定连接有打磨电机，打磨电机输出轴固定连接有不完全齿圈和不完全齿轮，不完全齿轮和不完全齿圈交替啮合有驱动齿轮，驱动齿轮固定连接有驱动轴，驱动轴固定连接有下打磨轮；通过往复正反转的驱动轴使下打磨轮不断的正反转，能够避免出现过度打磨与打磨不充分的情况。磨与打磨不充分的情况。磨与打磨不充分的情况。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体炉主炉室加工装置及加工方法
[0001]本专利技术涉及锅炉炉室加工
，具体为一种半导体炉主炉室加工装置及加工方法。
技术介绍
[0002]随着全球信息科技产业的迅速发展，有一个难以忽视的行业愈加突出－那就是半导体产业。
[0003]半导体锅炉主炉室作为锅炉的主要结构之一，锅炉的加工过程中，需要对主炉室内壁进行打磨，但现有的主炉室加工装置打磨部分转向单一，在使用过程中容易出现打磨死角和打磨不充分的情况出现，从而导致主炉室的质量受到影响，降低主炉室的合格率。
技术实现思路
[0004]本专利技术的技术问题在于提供一种半导体炉主炉室加工装置及加工方法。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：包括底座，所述底座侧壁安装有夹持组件，所述底座顶部固定连接有高度调节伸缩杆，所述高度调节伸缩杆活动端固定连接有顶板，所述顶板端部固定连接有旋转电机，所述旋转电机输出轴固定连接有固定连接有旋转支架，所述旋转支架端部均安装有滑座，所述旋转支架安装有用于驱动滑座相向移动的调节组件，所述滑座固定连接有打磨电机，所述打磨电机输出轴固定连接有不完全齿圈和不完全齿轮，所述不完全齿轮和不完全齿圈交替啮合有驱动齿轮，所述驱动齿轮固定连接有驱动轴，所述驱动轴固定连接有下打磨轮。
[0006]作为本专利技术的进一步方案，所述驱动轴固定连接有上齿圈，所述驱动轴套设有滑套，所述滑套底部固定连接有上打磨轮，所述滑套顶部固定连接有下齿圈，所述滑座底部固定连接有定位板，所述定位板转动连接有与上齿圈啮合的上齿轮、与下齿圈啮合的下齿轮，所述上齿轮和下齿轮相互啮合。
[0007]作为本专利技术的进一步方案，所述夹持组件包括底板，所述底板固定连接有夹持伸缩杆，所述夹持伸缩杆活动端转动连接有夹持齿轮，所述夹持伸缩杆固定端固定连接有U型结构的驱动架，所述驱动架两端内侧均滑动连接有滑板，所述滑板内侧均固定连接有与夹持齿轮啮合的夹持齿条。
[0008]作为本专利技术的进一步方案，所述滑板端部均固定连接有橡胶垫。
[0009]作为本专利技术的进一步方案，所述底板有若干个且呈圆周阵列排布，所述底板端部两侧均固定连接有连接耳，所述连接耳螺纹连接有定位螺栓，所述底板端部固定连接有与底座滑动连接的滑块。
[0010]作为本专利技术的进一步方案，所述调节组件包括与滑座固定连接的固定轴，所述固定轴固定连接有调节齿条，所述调节齿条共同啮合有调节齿轮。
[0011]一种锅炉炉室加工方法，适用于以上一种半导体炉主炉室加工装置，该锅炉炉室加工方法的具体步骤如下：
[0012]步骤一：夹持伸缩杆通过夹持齿轮、夹持齿条推动滑板移动，两个滑板先后抵触主炉室，不仅能够对不同尺寸的主炉室进行夹持，还能避免主炉室凸起与凹陷影响主炉室夹持稳定性；
[0013]步骤二：高度调节伸缩杆将旋转支架下降至主炉室内，通过转动调节齿轮，使调节齿条向四周移动，滑座将底部的下打磨轮抵触主炉室内壁；
[0014]步骤三：打磨电机通过不完全齿圈和不完全齿轮交替啮合驱动齿轮，使驱动轴往复正反转，下打磨轮对主炉室内壁进行打磨；
[0015]步骤四：高度调节伸缩杆降低下打磨轮对主炉室内壁进行逐一打磨；
[0016]步骤五：下打磨轮打磨至主炉室底部时，反向转动调节齿轮，反向调节齿轮通过固定轴将滑座向中心移动，使下打磨轮脱离主炉室，高度调节伸缩杆将下打磨轮顶出主炉室。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0018]本专利技术中，旋转电机通过输出轴带动旋转支架转动，旋转支架通过滑座带动下打磨轮围绕锅炉主炉室内壁转动，使下打磨轮能够对锅炉内壁同一高度进行逐一打磨加工，高度调节伸缩杆能够降低下打磨轮的高度，从而实现对主炉室内壁不同高度的区域进行打磨加工，另外，不完全齿轮与不完全齿圈交替啮合驱动齿轮，驱动齿轮在不完全齿圈和不完全齿轮的作用下能够不断地正反转，驱动齿轮通过驱动轴带动下打磨轮往复正反转，往复正反转的下打磨轮对接触位置的锅炉主炉室位置进行打磨，对主炉室内壁打磨的下打磨轮转向能够正反转，避免了下打磨轮转向单一，导致主炉室内壁出现打磨死角或打磨不充分的情况，降低主炉室的质量影响主炉室的合格率；下打磨轮围绕主炉室内壁转动相比锅炉主炉室转动实现主炉室内壁打磨，整体动静与震动相对更小，需要的动力源也相对偏小，能够降低锅炉主炉室内壁打磨的消耗。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本专利技术总体结构示意图；
[0021]图2为本专利技术旋转支架及其连接关系结构示意图；
[0022]图3为本专利技术滑座及其连接关系结构示意图；
[0023]图4为本专利技术不完全齿圈及其连接关系爆炸结构示意图；
[0024]图5为本专利技术下齿圈及其连接关系结构示意图；
[0025]图6为本专利技术夹持组件结构示意图；
[0026]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0027]1、底座；2、高度调节伸缩杆；3、顶板；4、旋转电机；5、旋转支架；6、滑座；7、打磨电机；8、不完全齿圈；9、不完全齿轮；10、驱动齿轮；11、驱动轴；12、下打磨轮；13、上齿圈；14、滑套；15、上打磨轮；16、下齿圈；17、定位板；18、上齿轮；19、下齿轮；20、固定轴；21、调节齿条；22、调节齿轮；23、底板；24、夹持伸缩杆；25、夹持齿轮；26、驱动架；27、滑板；28、夹持齿条；29、橡胶垫；30、连接耳；31、定位螺栓；32、滑块。
具体实施方式
[0028]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0029]请参阅图1
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6，本专利技术提供一种技术方案：包括底座1，底座1侧壁安装有夹持组件，底座1顶部固定连接有高度调节伸缩杆2，高度调节伸缩杆2活动端固定连接有顶板3，顶板3端部固定连接有旋转电机4，旋转电机4输出轴固定连接有固定连接有旋转支架5，旋转支架5端部均安装有滑座6，旋转支架5安装有用于驱动滑座6相向移动的调节组件，滑座6固定连接有打磨电机7，打磨电机7输出轴固定连接有不完全齿圈8和不完全齿轮9，不完全齿轮9和不完全齿圈8交替啮合有驱动齿轮10，驱动齿轮10固定连接有驱动轴11，驱动轴11固定连接有下打磨轮12；
[0030]工作时，将待加工的锅炉主炉室移动至底座1上，夹持组件对待加工的锅炉主炉室进行固定，锅炉主炉室固定后，高度调节伸缩杆2活动端收缩，使顶板3下降，顶板3带动旋转电机4和旋转支架5下降，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体炉主炉室加工装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)侧壁安装有夹持组件，所述底座(1)顶部固定连接有高度调节伸缩杆(2)，所述高度调节伸缩杆(2)活动端固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)端部固定连接有旋转电机(4)，所述旋转电机(4)输出轴固定连接有固定连接有旋转支架(5)，所述旋转支架(5)端部均安装有滑座(6)，所述旋转支架(5)安装有用于驱动滑座(6)相向移动的调节组件，所述滑座(6)固定连接有打磨电机(7)，所述打磨电机(7)输出轴固定连接有不完全齿圈(8)和不完全齿轮(9)，所述不完全齿轮(9)和不完全齿圈(8)交替啮合有驱动齿轮(10)，所述驱动齿轮(10)固定连接有驱动轴(11)，所述驱动轴(11)固定连接有下打磨轮(12)。2.根据权利要求1所述的一种半导体炉主炉室加工装置，其特征在于：所述驱动轴(11)固定连接有上齿圈(13)，所述驱动轴(11)套设有滑套(14)，所述滑套(14)底部固定连接有上打磨轮(15)，所述滑套(14)顶部固定连接有下齿圈(16)，所述滑座(6)底部固定连接有定位板(17)，所述定位板(17)转动连接有与上齿圈(13)啮合的上齿轮(18)、与下齿圈(16)啮合的下齿轮(19)，所述上齿轮(18)和下齿轮(19)相互啮合。3.根据权利要求1或2所述的一种半导体炉主炉室加工装置，其特征在于：所述夹持组件包括底板(23)，所述底板(23)固定连接有夹持伸缩杆(24)，所述夹持伸缩杆(24)活动端转动连接有夹持齿轮(25)，所述夹持伸缩杆(24)固定端固定连接有U型结构的驱动架(26)，所述驱动架(26)两端内侧均滑动连接有滑板(27)，所述滑板(27)内侧均固定连接有与夹持齿轮(25)啮合的夹持齿条(28)。4.根据权利要求3所述的一种半导体炉主炉室...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱春锋，董克军，傅国桥，
申请(专利权)人：杭州三垒机械有限公司，
类型：发明
国别省市：
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