下载一种半导体炉主炉室加工装置及加工方法的技术资料

文档序号:38609000

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本发明公开了锅炉炉室加工技术领域的一种半导体炉主炉室加工装置,包括底座,底座侧壁安装有夹持组件,底座顶部固定连接有高度调节伸缩杆,高度调节伸缩杆活动端固定连接有顶板,顶板端部固定连接有旋转电机,旋转电机输出轴固定连接有固定连接有旋转支架,旋...
该专利属于杭州三垒机械有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州三垒机械有限公司授权不得商用。

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