本实用新型专利技术属于基板运输技术领域，公开了一种基板翻转运输装置，该基板翻转运输装置包括第一载台、第二载台、翻转机构以及升降机构，第一载台的承载面上设置有第一吸附孔并具有承载面朝上的第一工作位置及承载面朝下的第二工作位置，当第一载台位于第二工作位置时，第一载台的承载面与第二载台的承载面正对，翻转机构被配置为使第一载台在第一工作位置和第二工作位置之间翻转，升降机构被配置为沿竖直方向升降第一载台和翻转机构。本实用新型专利技术中的第一载台和第二载台在装配时无需按照固定的高度差进行装配，只需使第一载台升降至满足翻转过程中第一载台及基板不会与第二载台产生干涉即可，装配难度低，且能够兼容不同厚度的基板的翻转。的基板的翻转。的基板的翻转。
【技术实现步骤摘要】
一种基板翻转运输装置
[0001]本技术涉及基板运输
，尤其涉及一种基板翻转运输装置。
技术介绍
[0002]在基板的加工过程中，需要通过运输装置将基板输送至各个加工工位，而对于两面均需要加工的基板，运输装置除需要输送基板外，还需要在输送过程中翻转基板，从而使基板的两面依次朝上，以依次对基板的两面进行加工。
[0003]现有技术中提供一种基板翻转运输装置，具体地，在基板的输送线上设置两个载台，其中一个载台靠近基板输送线的上游设置，另一个载台靠近基板输送线的下游设置，基板能够先被输送至靠近基板输送线的上游设置的载台上，靠近基板输送线的上游设置的载台能够翻转至其承载面与靠近基板输送线的下游设置的载台的承载面正对，之后基板脱离靠近基板输送线的上游设置的载台，从而移转至靠近基板输送线的下游设置的载台上，同时，基板实现翻面。
[0004]为避免在靠近基板输送线的上游设置的载台翻转的过程中与靠近基板输送线的下游设置的载台产生干涉，靠近基板输送线的下游设置的载台和靠近基板输送线的下游设置的载台一般呈高低设置，其中，靠近基板输送线的下游设置的载台高于靠近基板输送线的下游设置的载台。但对于如硅片、玻璃片等基板，靠近基板输送线的下游设置的载台和靠近基板输送线的下游设置的载台之间的高度差不宜过大，两个载台之间的高度差需要满足靠近基板输送线的上游设置的载台翻转的过程中不会与靠近基板输送线的下游设置的载台产生干涉，且靠近基板输送线的上游设置的载台翻转后承载于其上的基板能够贴附于靠近基板输送线的下游设置的载台的承载面上，从而保证基板在脱离靠近基板输送线的上游设置的载台后能够直接承载至靠近基板输送线的下游设置的载台上，而不会掉落至靠近基板输送线的下游设置的载台上，从而避免损伤基板。
[0005]为此，现有技术中的基板翻转运输装置需要在装配时严格按照预设高度差装配两个载台，装配难度高，而且由于两个载台之间的高度差固定，因此该基板翻转运输装置只能够实现单一厚度的基板的翻转，无法兼容不同厚度的基板的翻转。
[0006]因此，上述问题亟待解决。
技术实现思路
[0007]本技术的目的在于提供一种基板翻转运输装置，该基板翻转运输装置装配难度低，且能够兼容不同厚度的基板的翻转。
[0008]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0009]一种基板翻转运输装置，包括：
[0010]第一载台和第二载台，所述第一载台的承载面上设置有第一吸附孔并具有承载面朝上的第一工作位置及承载面朝下的第二工作位置，当所述第一载台位于所述第二工作位置时，所述第一载台的承载面与所述第二载台的承载面正对；
[0011]翻转机构，被配置为使所述第一载台在所述第一工作位置和所述第二工作位置之间翻转；以及
[0012]升降机构，被配置为沿竖直方向升降所述第一载台和所述翻转机构。
[0013]作为优选，所述第一载台和所述翻转机构安装于基架上，所述升降机构能够驱动所述基架沿竖直方向升降，所述升降机构包括第一限位块和第二限位块，所述第一限位块和所述第二限位块能够分别限制所述基架沿竖直方向上升和下降的行程。
[0014]作为优选，所述基板翻转运输装置还包括安装板，所述基架沿竖直方向滑动连接于所述安装板，所述安装板上设置有通孔，部分所述基架穿过所述通孔并位于所述安装板的下方，所述第一限位块螺接于所述基架的底部并能够与所述安装板抵接，所述第二限位块螺接于所述安装板的顶部，所述基架能够沿竖直方向下降至与所述第二限位块抵接。
[0015]作为优选，所述翻转机构包括：
[0016]第一转轴，转动连接于所述基架，所述第一载台固定连接于所述第一转轴，所述第一载台和所述第二载台分别位于所述第一转轴沿其径向的两侧；及
[0017]第一驱动件，固定连接于所述基架并被配置为驱动所述第一转轴绕其轴线转动。
[0018]作为优选，所述第一载台和所述基架上分别安装有第一挡块和第二挡块，当所述第一载台由所述第一工作位置翻转至所述第二工作位置时，所述第一挡块与所述第二挡块抵接。
[0019]作为优选，所述第一载台和所述基架上分别安装有限位板和微动开关，当所述第一载台由所述第一工作位置翻转至所述第二工作位置时，所述限位板与所述微动开关抵接。
[0020]作为优选，所述第一载台和所述基架上分别安装有遮光板和槽型光电开关，所述遮光板具有位于所述槽型光电开关的检测槽内的第三工作位置及由所述检测槽内移出的第四工作位置，当所述第一载台位于所述第一工作位置时，所述遮光板位于所述第三工作位置，当所述第一载台由所述第一工作位置翻转至所述第二工作位置时，所述遮光板由所述第三工作位置转换至所述第四工作位置。
[0021]作为优选，所述基板翻转运输装置还包括：
[0022]视觉检测机构，被配置为获取所述第二载台的承载面的图像；及
[0023]旋转机构，被配置为驱动所述第二载台绕其中心线转动，所述中心线垂直于所述第二载台的承载面并经过所述第二载台的中心。
[0024]作为优选，所述旋转机构包括：
[0025]第二转轴，固定连接于所述第二载台的底部，所述第二转轴的轴线垂直于所述第二载台的承载面并经过所述第二载台的中心；及
[0026]第二驱动件，被配置为驱动所述第二转轴绕其轴线转动。
[0027]作为优选，所述第二载台的承载面上设置有第二吸附孔。
[0028]本技术的有益效果：在本技术中，由于翻转机构和第一载台能够沿竖直方向升降，因此第一载台和第二载台在装配时无需按照固定的高度差进行装配，只需使第一载台在翻转前按照其与第二载台的实际高度差以及基板的厚度升降至满足翻转过程中第一载台及承载于其上的基板不会与第二载台产生干涉即可，装配难度低，且能够兼容不同厚度的基板的翻转。
附图说明
[0029]图1是本技术实施例中的基板翻转运输装置的结构示意图一；
[0030]图2是本技术实施例中的基板翻转运输装置的结构示意图二；
[0031]图3是图2中A处的局部放大图；
[0032]图4是图2中B处的局部放大图。
[0033]图中：
[0034]1、第一载台；11、第一吸附孔；12、第一挡块；13、限位板；14、遮光板；
[0035]2、第二载台；21、第二吸附孔；
[0036]3、翻转机构；31、第一转轴；32、第一驱动件；
[0037]4、升降机构；41、第一限位块；42、第二限位块；43、第三驱动件；
[0038]5、基架；51、第二挡块；52、微动开关；53、槽型光电开关；
[0039]6、安装板；
[0040]7、旋转机构；71、第二驱动件。
具体实施方式
[0041]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板翻转运输装置，其特征在于，包括：第一载台(1)和第二载台(2)，所述第一载台(1)的承载面上设置有第一吸附孔(11)并具有承载面朝上的第一工作位置及承载面朝下的第二工作位置，当所述第一载台(1)位于所述第二工作位置时，所述第一载台(1)的承载面与所述第二载台(2)的承载面正对；翻转机构(3)，被配置为使所述第一载台(1)在所述第一工作位置和所述第二工作位置之间翻转；以及升降机构(4)，被配置为沿竖直方向升降所述第一载台(1)和所述翻转机构(3)。2.根据权利要求1所述的基板翻转运输装置，其特征在于，所述第一载台(1)和所述翻转机构(3)安装于基架(5)上，所述升降机构(4)能够驱动所述基架(5)沿竖直方向升降，所述升降机构(4)包括第一限位块(41)和第二限位块(42)，所述第一限位块(41)和所述第二限位块(42)能够分别限制所述基架(5)沿竖直方向上升和下降的行程。3.根据权利要求2所述的基板翻转运输装置，其特征在于，所述基板翻转运输装置还包括安装板(6)，所述基架(5)沿竖直方向滑动连接于所述安装板(6)，所述安装板(6)上设置有通孔，部分所述基架(5)穿过所述通孔并位于所述安装板(6)的下方，所述第一限位块(41)螺接于所述基架(5)的底部并能够与所述安装板(6)抵接，所述第二限位块(42)螺接于所述安装板(6)的顶部，所述基架(5)能够沿竖直方向下降至与所述第二限位块(42)抵接。4.根据权利要求2所述的基板翻转运输装置，其特征在于，所述翻转机构(3)包括：第一转轴(31)，转动连接于所述基架(5)，所述第一载台(1)固定连接于所述第一转轴(31)，所述第一载台(1)和所述第二载台(2)分别位于所述第一转轴(31)沿其径向的两侧；及第一驱动件(32)，固定连接于所述基架(5)并被配置为驱动所述第一转轴(31)绕其轴线转动。5.根据权利要求4所述的基板翻...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘伟仁，王震，
申请(专利权)人：昆山龙雨智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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