下载一种基板翻转运输装置的技术资料

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本实用新型属于基板运输技术领域,公开了一种基板翻转运输装置,该基板翻转运输装置包括第一载台、第二载台、翻转机构以及升降机构,第一载台的承载面上设置有第一吸附孔并具有承载面朝上的第一工作位置及承载面朝下的第二工作位置,当第一载台位于第二工作位...
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