晶圆搬运机器人及其故障检测方法、半导体设备技术

本发明专利技术提供一种晶圆搬运机器人及其故障检测方法，以及一种半导体设备。晶圆搬运机器人包括水平臂、垂直臂、垂直度检测模块及升降装置，所述水平臂一端与垂直臂相连接；所述垂直度检测模块设置于所述垂直臂上，用于检测所述垂直臂的垂直状态；所述升降装置与所述垂直臂相连接，用于驱动所述垂直臂上下升降。本发明专利技术通过在主体垂直臂上加装垂直度检测模块的方式来实现基轴端面在Z/Y方向对应的角度偏移值数据监控，对比经验数据信息，以此判断基座面的稳定性能，在对机器臂的定期维护中，可以使技术人员通过数据和外观检测结合，达到良好的维护保养效果。此外，在对晶圆品质保证溯源过程链中，通过实际直观的数据保证机器人的稳定性能。定性能。定性能。

【技术实现步骤摘要】
晶圆搬运机器人及其故障检测方法、半导体设备


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种晶圆搬运机器人及其故障检测方法，以及一种半导体设备。

技术介绍

[0002]在半导体行业里，芯片的生产制造和晶圆检测制程中经常要用到回转式的机器臂即晶圆搬运机器人来实现晶圆的取放操作。在取放晶圆的过程中，机器臂末端的执行机构面要与晶圆表面保持良好的水平度，如果发生了倾斜偏移很容易造成晶圆掉落等异常事故。在调节核对末端夹持面的水平度的过程中，一般是通过在末端面放置水平仪的方式来核对水平度。晶圆搬运机器人的垂直臂轴和水平轴是设计成垂直90度方式连接，所以在实际应用过程中，要保证水平面的水平，必须先调整垂直臂轴的垂直度，同时对各个轴做必要的水平检测。但现有技术中，对晶圆搬运机器人的检测都集中在对水平臂的检测，晶圆搬运机器人的主体垂直臂的稳定性能则被疏忽掉了。主体垂直臂轴作为整个机器臂的基座轴，它的稳定运行是整个机器臂稳定运行的基础，只有保证了它的垂直度及稳定性，才能保证末端面的水平度稳定。基于此，本专利技术提出了一种改善方案，以更好地评估主体垂直臂本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆搬运机器人，其特征在于，所述晶圆搬运机器人包括水平臂、垂直臂、垂直度检测模块及升降装置，所述水平臂一端与垂直臂相连接；所述垂直度检测模块设置于所述垂直臂上，用于检测所述垂直臂的垂直状态；所述升降装置与所述垂直臂相连接，用于驱动所述垂直臂上下升降。2.根据权利要求1所述的晶圆搬运机器人，其特征在于，所述晶圆搬运机器人还包括垂直基座，所述垂直臂位于所述垂直基座内。3.根据权利要求2所述的晶圆搬运机器人，其特征在于，所述升降装置包括升降电机、连接组件和导向结构，所述升降装置通过连接组件与所述垂直臂相连接，所述导向结构平行间隔设置于所述垂直臂的侧面，且与垂直臂相连接。4.根据权利要求1所述的晶圆搬运机器人，其特征在于，所述晶圆搬运机器人还包括显示装置，所述显示装置与所述垂直度检测模块相连接。5.根据权利要求1所述的晶圆搬运机器人，其特征在于，所述晶圆搬运机器人还包括夹持...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭景华，粟及时，
申请(专利权)人：中芯智达半导体科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：