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本发明提供一种晶圆搬运机器人及其故障检测方法，以及一种半导体设备。晶圆搬运机器人包括水平臂、垂直臂、垂直度检测模块及升降装置，所述水平臂一端与垂直臂相连接；所述垂直度检测模块设置于所述垂直臂上，用于检测所述垂直臂的垂直状态；所述升降装置与所...
该专利属于中芯智达半导体科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯智达半导体科技（上海）有限公司授权不得商用。

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