一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装制造技术

本发明专利技术涉及一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，属于半导体设备技术领域，包括底座，底座上设置有承托件；承托件呈竖立的筒状，承托件的上缘形成有承托面，在承托面外侧向上延伸有侧挡壁，侧挡壁围成的空间与静电卡盘组件的形状相匹配；在承托件的侧面由上至下开设有用于容纳静电卡盘组件的外接管线的管线避让槽；在承托件的相对的两侧设置有把手。本方案可提高拆装静电卡盘组件时的工作效率，解决静电卡盘组件从设备机台拆卸后存放与搬运过程中可能导致表面划伤或磕碰的问题，起到保护静电卡盘组件及其外接管线结构的作用，延长使用寿命，便于静电卡盘组件的检查与维护。护。护。

【技术实现步骤摘要】
一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装


[0001]本专利技术属于半导体设备
，具体地涉及一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装。

技术介绍

[0002]静电卡盘(Electro Static Chuck，简称ESC)是半导体设备中常用的部件，例如在HDP(高密度等离子体)设备中使用的静电卡盘组件，其结构可参阅图5、图6所示，静电卡盘组件A1大体呈扁圆柱状(也可为其它形状)，上表面为需要与晶圆直接接触的工作面，下表面具有包括射频铜带、水管及光纤的外接管线A2等结构，静电卡盘组件总重约25kg，设备机台维护保养或排查相关问题时需要对其进行拆装及检修。
[0003]由于静电卡盘组件上表面要求洁净度较高，需要避免产生磕碰与划伤，不宜与其他粗糙表面接触；下表面的射频铜带、水管及光纤结构等不宜折弯且不易拆装，放置时不能被压在较重的静电卡盘组件下方；因此静电卡盘组件从设备机台拆下后的存放问题较为重要且不易解决。现有的处理方式是将静电卡盘组件翻转(工作面朝下)存放在泡沫垫与无尘布上，此种方式不便于静电卡盘组件的检查与维护，同时由于静电卡盘组件较重，在翻转放置及移动搬运过程中需至少2
‑
3人完成，很容易产生磕碰与划伤导致静电卡盘组件损坏，并且费时费力。所以需要设计一种装置更好地实现静电卡盘组件的存放及搬运。

技术实现思路

[0004]基于现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，解决了静电卡盘组件从设备机台拆卸后的存放与搬运困难的问题，起到保护静电卡盘组件的作用，延长静电卡盘组件使用寿命，同时便于静电卡盘组件的检查与维护，提高维护效率。
[0005]依据本专利技术的技术方案，本专利技术提供了一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，包括底座，底座上设置有承托件；承托件呈竖立的筒状，承托件的上缘形成有承托面，在承托面外侧向上延伸有侧挡壁，侧挡壁围成的空间与静电卡盘组件的形状相匹配；在承托件的侧面由上至下开设有用于容纳静电卡盘组件的外接管线的管线避让槽；在承托件的相对的两侧设置有把手。
[0006]进一步地，管线避让槽的底部向外延伸设置有管线托架。
[0007]进一步地，管线托架上具有与外接管线相匹配的容置槽。
[0008]进一步地，管线托架与管线避让槽的底部通过螺栓或螺丝连接。
[0009]进一步地，管线避让槽为一个或在承托件两侧相对设置的两个；在管线避让槽与承托件中心连线的两侧位置开设有把手孔，把手孔的上方形成把手，把手的上表面低于承托面。
[0010]优选地，管线避让槽为相对设置的两个；承托面为由管线避让槽及把手相间隔地均匀分布的四个。
[0011]进一步地，底座的底部设置有若干脚轮。
[0012]优选地，底座为圆筒状，脚轮为周向均匀设置于底座下端面的五个。
[0013]进一步地，底座与承托件通过螺栓或螺丝连接。
[0014]优选地，承托件为硬质且表面光滑，承托件为一体成型。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益技术效果如下：
[0016]1、本专利技术的用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装可提高拆装静电卡盘组件时的工作效率，解决静电卡盘组件从设备机台拆卸后存放与搬运过程中可能导致表面划伤或磕碰的问题，起到保护静电卡盘组件的作用，延长使用寿命，便于静电卡盘组件的检查与维护，节省FAB内维护设备的时间。
[0017]2、本专利技术的用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装实现了大幅提高静电卡盘组件的使用寿命。静电卡盘组件从设备机台拆卸后不方便存放，因为静电卡盘组件下表面不平，现有技术方案需将静电卡盘组件翻转存放，导致静电卡盘组件上表面很容易产生磕碰与划伤。本专利技术的承托件设计能起到支撑保护静电卡盘组件的作用，方便存放，同时大幅降低静电卡盘表面产生磕碰与划伤的风险。由于静电卡盘组件较重，需至少2
‑
3人手提搬运，工装的设计能够有效避免人员在搬运过程中静电卡盘组件出现意外滑落导致损坏的可能性，从而提高使用寿命。
[0018]3、本专利技术的用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装实现了大幅提高拆装静电卡盘组件的工作效率。静电卡盘组件从设备机台拆卸后需翻转存放，由于静电卡盘组件上表面要求洁净度较高，现有技术方案为避免产生磕碰与划伤需加垫泡沫垫与无尘布存放，所需时间较长。并且由于静电卡盘组件较重，不方便移动与运输。本专利技术的工装设计为只需将静电卡盘组件上表面朝上放置在本工装上，即能够起到了固定静电卡盘组件的作用，便于静电卡盘组件的检查与维护，无需翻转动作，避免造成损伤；同时在静电卡盘组件放置在工装上后，1人即可完成静电卡盘组件的搬运工作，大幅提高了工作效率，节省了拆装静电卡盘组件的时间，缩短了设备线上维护所需时间MTTR(Mean Time Till Repair)。
附图说明
[0019]图1是本专利技术一实施例的立体结构示意图。
[0020]图2是图1中承托件部分的立体结构示意图。
[0021]图3是图1中底座部分的立体结构示意图。
[0022]图4是图3所示结构的仰视示意图。
[0023]图5是图1所示工装在放置静电卡盘组件后的立体结构示意图。
[0024]图6是静电卡盘组件仰视角度的立体结构示意图。
[0025]附图中的附图标记说明：
[0026]1、底座；
[0027]2、承托件；
[0028]3、承托面；
[0029]4、侧挡壁；
[0030]5、管线避让槽；
[0031]6、把手；
[0032]7、管线托架；
[0033]8、把手孔；
[0034]9、脚轮；
[0035]10、镂空窗；
[0036]A1、静电卡盘组件；
[0037]A2、外接管线。
具体实施方式
[0038]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术中的附图，对本专利技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0039]另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关专利技术相关的部分。在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0040]需要注意，本专利技术中提及的“第一”、“第二”等概念仅用于对不同的装置、模块或单元进行区分，并非用于限定这些装置、模块或单元所执行的功能的顺序或者相互依存关系。
[0041]需要注意，本专利技术中提及的“一个”、“多个”的修饰是示意性而非限制性的，本领域技术人员应当理解，除非在上下文另有明确指出，否则应该理解为“一个或多个”。
[0042]本专利技术涉及一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，属于半导体设备
，包括底座，底座上设置有承托件；承托件呈竖立的筒状，承托件的上缘本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)上设置有承托件(2)；所述承托件(2)呈竖立的筒状，所述承托件(2)的上缘形成有承托面(3)，在所述承托面(3)外侧向上延伸有侧挡壁(4)，所述侧挡壁(4)围成的空间与所述静电卡盘组件的形状相匹配；在所述承托件(2)的侧面由上至下开设有用于容纳所述静电卡盘组件(A1)的外接管线(A2)的管线避让槽(5)；在所述承托件(2)的相对的两侧设置有把手(6)。2.如权利要求1所述的用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，其特征在于，所述管线避让槽(5)的底部向外延伸设置有管线托架(7)。3.如权利要求2所述的用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，其特征在于，所述管线托架(7)上具有与所述外接管线(A2)相匹配的容置槽。4.如权利要求2所述的用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，其特征在于，所述管线托架(7)与所述管线避让槽(5)的底部通过螺栓或螺丝连接。5.如权利要求1所述的用于支撑与搬运静电卡盘组件的底座工装，其特征在于，所述管线避让槽(5)为一个或在所述承托件(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭鑫，张建，李伟阳，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：