一种双组分型阻焊光刻胶及其感光度调节工艺制造技术

本发明专利技术提供了一种双组分型阻焊光刻胶及其感光度调节工艺，包括基体组分和感光度调节组分，所述基体组分包括酚醛环氧丙烯酸树脂；环氧树脂；颜料；石英粉；碳酸钙；有机溶剂；消泡剂；流变助剂；三聚氰胺；所述感光度调节组分包括如下重量份数的各组分：光引发剂；感光单体；所述的光引发剂为二苯甲酮；所述酚醛环氧丙烯酸树脂与环氧树脂、光引发剂、感光单体的质量比为1：(0.15

【技术实现步骤摘要】
一种双组分型阻焊光刻胶及其感光度调节工艺


[0001]本专利技术涉及一种阻焊光刻胶及其感光度调节工艺，更具体的是涉及一种双组分型阻焊光刻胶及其感光度调节工艺。

技术介绍

[0002]近年来，电子信息产业的快速发展促使集成电路的性能也需要不断提高，集成电路作为微电子制造技术的核心，现已发展到超大规模，亚微米级和可集成数百万晶体管的水平，并把整个电子系统集中在一个芯片上，其中光刻胶作为集成电路产业发展的关键材料对国民经济的发展起到至关重要的作用，同时集成电路的发展也不断要求光刻胶更新换代，以适应其在技术方面的发展。
[0003]光刻胶是指经过不同波长的曝光光源进行曝光后，在曝光区域能够发生交联或光解，使其在显影液中的物理性能，特别是溶解性或亲疏水性发生变化的混合液体。光刻胶具有光化学敏感性，经过旋涂、前烘、曝光、显影和后烘等工艺后，将掩膜版的图形转移到基材，得到所需要的线路图案。但目前光刻胶的发展仍然存在不足，例如光敏性较低。光刻胶是一种光敏薄膜材料，通常由树脂、聚合单体、光引发剂、感光体、溶剂以及助剂组成，通常情况下光刻胶的感光性越高，使用时曝光效率越高，但同时油墨的解析度会下降，因此光刻胶感光度的高低需要匹配实际加工需要进行灵活调节使用。

技术实现思路

[0004]为实现光刻胶的感光度调节，本专利技术提供了一种双组分型阻焊光刻胶及其感光度调节工艺，具体方案如下：
[0005]一种双组分型阻焊光刻胶，包括基体组分和感光度调节组分，
[0006]所述基体组分包括以下重量份数的各组分：
[0007]酚醛环氧丙烯酸树脂70～90份；环氧树脂45～70份；
[0008]颜料0.5～3份；石英粉80～100份；
[0009]碳酸钙80～120份；有机溶剂50～75份；
[0010]消泡剂3～8份；流变助剂1～5份；
[0011]三聚氰胺2～8份；
[0012]所述感光度调节组分包括如下重量份数的各组分：
[0013]光引发剂10～20份；感光单体15～20份；所述的光引发剂为二苯甲酮；
[0014]所述酚醛环氧丙烯酸树脂与环氧树脂、光引发剂、感光单体的质量比为1：(0.15
±
X)：R1：R2；X为0.5、0.55、0.6、0.65、0.7中的任意一个值；R1与R2的比值为1：(1～2)。
[0015]进一步的，酚醛环氧丙烯酸树脂的制备方法包括以下步骤：
[0016]S1：在烧瓶中加入酚醛环氧树脂和阻聚剂；
[0017]S2：给容器升温，升温过程中加入丙烯酸、催化剂；
[0018]S3：升温至90℃后，进行恒温反应；
[0019]S4：恒温反应结束后，间隔相等时间测定混合物的酸值，当酸值低于10mgKOH/g时停止反应，洗涤混合物，得到酚醛环氧丙烯酸树脂。
[0020]进一步的，S2中的催化剂为三乙胺或N,N
‑
二甲基苯胺中的一种或两种的混合物。
[0021]进一步的，S1中阻聚剂为对苯二酚。
[0022]一种双组分阻焊光刻胶的感光度调节工艺，包括如下步骤：
[0023]S1：根据实际需要选择X的值，X值越大，感光度越高，同时调整R1和R2的比例以获得不同的感光度；
[0024]S2：确定好酚醛环氧丙烯酸树脂与环氧树脂、光引发剂以及感光单体的值后，根据各组分的重量份数称量物料；
[0025]S3：使用分散剂对物料进行分散；
[0026]S4：使用研磨机将分散后的物料进行研磨；
[0027]S5：再次使用分散机对物料进行分散；
[0028]S6：调整物料的粘度至合适范围；
[0029]S7：使用筛网对物料进行过滤；
[0030]S8：使用紫外光灯对过滤后的物料进行照射进行光固化。
[0031]进一步的，使用紫外灯进行光固化的参数为功率450～550W，波长350～370nm。
[0032]有益效果：
[0033](1)本专利技术提供了一种双组分型阻焊光刻胶，包括基体组分和感光度调节组分，控制光刻胶组分中酚醛环氧丙烯酸树脂与环氧树脂、光引发剂、感光单体的质量比为1：(0.15
±
X)：R1：R2；X为0.5、0.55、0.6、0.65、0.7中的任意一个值；R1与R2的比值为1：(1～2)，根据实际加工的需要，调整X，以及R1、R2的具体数值以获得不同的感光度。
[0034](2)由于酚醛环氧树脂具有优异的热学性能、力学性能，通过酚醛环氧树脂合成酚醛环氧丙烯酸树脂，使光刻胶获得优异的力学性能，同时通过优化紫外光固化的参数使物料获得优异的固化效果。
具体实施方式
[0035]为了加深对本专利技术的理解，下面将结合实施例对本专利技术作进一步详述，该实施例仅用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术保护范围的限定。
[0036]实施例1：
[0037]一种双组分型阻焊光刻胶的制备及感光度调节方法，包括以下步骤：
[0038]酚醛环氧丙烯酸树脂与环氧树脂、光引发剂、感光单体的质量比为1：(0.15
±
X)：R1：R2；X为0.5、0.55、0.6、0.65、0.7中的任意一个值；R1与R2的比值为1：(1～2)。
[0039]确定X值为0.5；R1、R2比值为1：1.2
[0040]根据以下重量份数称量物料：
[0041]酚醛环氧丙烯酸树脂70份；环氧树脂45.5份；
[0042]颜料0.5份；石英粉80份；
[0043]碳酸钙80份；有机溶剂50份；
[0044]消泡剂3份；流变助剂1份；
[0045]三聚氰胺2份；
[0046]所述感光度调节组分包括如下重量份数的各组分：
[0047]二苯甲酮10份；感光单体12份；
[0048]使用分散剂对上述物料进行分散，再使用研磨机将分散后的物料进行研磨；再次使用分散机对物料进行分散；调整物料的粘度至合适范围；使用筛网对物料进行过滤；使用紫外光灯对过滤后的物料进行照射进行光固化，光固化的参数为功率450W，波长350nm。
[0049]实施例2：
[0050]酚醛环氧丙烯酸树脂与环氧树脂、光引发剂、感光单体的质量比为1：(0.15
±
X)：R1：R2；X为0.5、0.55、0.6、0.65、0.7中的任意一个值；R1与R2的比值为1：(1～2)。
[0051]确定X值为0.55；R1、R2比值为1：1.3
[0052]根据以下重量份数称量物料：
[0053]酚醛环氧丙烯酸树脂70份；环氧树脂49份；
[0054]颜料3份；石英粉100份；
[0055]碳酸钙120份；有机溶剂75份；
[0056]消泡剂8份；流变助剂5份；
[0057]三聚氰胺8份；
[0058]所述感光度调节组分包括如下重量份数的各组分：
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双组分型阻焊光刻胶，其特征在于，包括基体组分和感光度调节组分，所述基体组分包括以下重量份数的各组分：酚醛环氧丙烯酸树脂70～90份；环氧树脂45～70份；颜料0.5～3份；石英粉80～100份；碳酸钙80～120份；有机溶剂50～75份；消泡剂3～8份；流变助剂1～5份；三聚氰胺2～8份；所述感光度调节组分包括如下重量份数的各组分：光引发剂10～20份；感光单体15～20份；所述的光引发剂为二苯甲酮；所述酚醛环氧丙烯酸树脂与环氧树脂、光引发剂、感光单体的质量比为1：(0.15
±
X)：R1：R2；X为0.5、0.55、0.6、0.65、0.7中的任意一个值；R1与R2的比值为1：(1～2)。2.根据权利要求1所述的一种双组分阻焊光刻胶，其特征在于，酚醛环氧丙烯酸树脂的制备方法包括以下步骤：S1：在烧瓶中加入酚醛环氧树脂和阻聚剂；S2：给容器升温，升温过程中加入丙烯酸、催化剂；S3：升温至90℃后，进行恒温反应；S4：恒温反应结束后，间隔相等时间测定混合物的酸值，当酸值低于10mgKOH/g时停止反应...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕赛赛，王琦，
申请(专利权)人：江苏海田电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：