罩体定位装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种罩体定位装置，包括设置在罩体之外的定位支架和定位销，在所述罩体的侧壁外表面设置有定位孔；所述罩体开启后，所述定位销被支撑在所述定位支架上，并穿入所述定位孔内。本实用新型专利技术位于罩体的外部，便于操作，提高了工作效率。提高了工作效率。提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
罩体定位装置


[0001]本技术涉及半导体设备
，更为具体地，涉及一种罩体定位装置。

技术介绍

[0002]半导体CVD(Chemical Vapor Deposition，化学气相沉积)设备中，工艺腔室盖体上方的匹配器需要查看或维修时，要打开匹配器的罩体，并将其保持小于90度的开启状态。但是，罩体是倒置的方形盒体，其上方具有设备重量达20kg，维持罩体开启状态的定位部件位于罩体之内，若一个人操作定位，一手提盖，另一只手伸入罩体之内操作，不能观察定位部件，操作缓慢费力，不能保证定位部件一次性安装到位，提盖不稳，还存在夹手风险；若两人操作定位，一人提盖，另一人伸手进入罩体内操作定位部件，不仅观察不便，而且若两人配合不好，也存在夹伤手臂的风险。

技术实现思路

[0003]鉴于上述问题，本技术的目的是提供一种罩体定位装置，位于罩体的外部，便于操作，提高了工作效率。
[0004]本技术提供的一种罩体定位装置，包括设置在罩体之外的定位支架和定位销，在所述罩体的侧壁外表面设置有定位孔；所述罩体开启后，所述定位销被支撑在所述定位支架上，并穿入所述定位孔内。
[0005]所述侧壁平行于所述罩体的开启角，所述定位支架包括与所述侧壁平行并贴近的定位板，在所述定位板上设置有穿孔。
[0006]所述定位板固定在所述侧壁的后半部处的设备支架上。
[0007]所述定位孔设置在所述侧壁的后半部的下边缘，所述定位销穿过所述穿孔并插入所述定位孔后，所述罩体的开启角度大于45度小于90度。
[0008]所述穿孔设置在所述定位板的一端，在所述定位板的另一端垂直设置有安装板，所述安装板通过螺栓安装在所述设备支架上。
[0009]所述定位板包括设置在同一平面上的梯形板、第一直角梯形板和第二直角梯形板，所述第一直角梯形板和所述第二直角梯形板的斜腰分别与所述梯形板的两个腰连接，所述第一直角梯形板和所述第二直角梯形板的直腰相互垂直；所述穿孔设置在所述第一直角梯形板上，所述安装板与所述第二直角梯形板的直腰连接，所述安装板竖向安装在所述设备支架上。
[0010]所述第一直角梯形板、所述梯形板和所述第二直角梯形板形成内凹的定位板。
[0011]所述定位销包括销柱和设置在所述销柱的一端的销帽。
[0012]在所述销柱与所述销帽连接的端部设置有通孔。
[0013]所述定位孔的深度不小于所述侧壁的厚度的一半。
[0014]从上面的描述可知，本技术提供的罩体定位装置，设置在罩体的外部，在罩体的侧壁外表面设置定位孔，定位销穿过定位支架插入定位孔中，将罩体开启固定。本实用新
型将罩体定位装置的位置改变为位于罩体外部，能够直观地观察罩体定位装置，操作明确快速，避免可夹伤的风险，完全可以一个人进行作业，提高了工作效率。
附图说明
[0015]通过参考以下结合附图的说明及权利要求书的内容，并且随着对本技术的更全面理解，本技术的其它目的及结果将更加明白及易于理解。
[0016]在附图中：
[0017]图1为现有技术中罩体定位部件的结构示意图；
[0018]图2为根据本技术实施例的罩体定位装置的结构示意图；
[0019]图3为根据本技术实施例的罩体定位装置的前视图；
[0020]图4为图3中A的放大图；
[0021]图5为根据本技术实施例的罩体定位装置的侧视图；
[0022]图6为根据本技术实施例的定位支架的结构示意图；
[0023]其中，1
‑
定位支架、11
‑
定位板、111
‑
梯形板、112
‑
第一直角梯形板、113
‑
第二直角梯形板、12
‑
穿孔、13
‑
安装板；
[0024]2‑
定位销、21
‑
销柱、22
‑
销帽；
[0025]3‑
定位孔、4
‑
罩体、5
‑
设备支架、6
‑
定位部件；
[0026]在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。
具体实施方式
[0027]本技术可施加各种变更并可具有各种实施例，将特定实施例示例于附图并进行说明。但是，本技术并非限定于该特定实施方式，涵盖落入本技术的思想及技术范围的所有变更、等同物以及替代物，应理解为都包括在内。
[0028]以下将结合附图对本技术的具体实施例进行详细描述。
[0029]图1为现有技术中罩体定位部件的结构示意图；
[0030]如图1所示，半导体CVD设备中，工艺腔室盖体上方的匹配器需要查看或维修时，要向上打开匹配器的罩体4，并将其保持小于90度的开启状态，罩体4是重量达20kg的倒置的长方体盒体。现有技术中维持罩体4开启状态的定位部件6位于罩体4之内，贴近罩体4侧壁的内表面，操作时不能够清晰地观察，只能摸索操作，工作效率低，还具有夹手的风险。
[0031]图2为根据本技术实施例的罩体定位装置的结构示意图；图3为根据本技术实施例的罩体定位装置的前视图；图4为图3中A的放大图；图5为根据本技术实施例的罩体定位装置的侧视图；图6为根据本技术实施例的定位支架的结构示意图；
[0032]如图2
‑
图6共同所示，本实施例提出的罩体定位装置，可用于半导体CVD设备的匹配器的罩体的开启定位，也可用于其他盒体盖体的开启定位。
[0033]本罩体定位装置设置在罩体4的外部，操作时能够边观察边操作，操作空间宽敞。
[0034]本罩体定位装置包括设置在罩体4之外的定位支架1和定位销2，在罩体4的侧壁外表面设置有定位孔3，罩体4开启后，定位销2被支撑在定位支架1上，并穿入定位孔3内。定位支架1固定在罩体4外部的设备部件或支座上，用于支撑定位销2，罩体4的侧壁外表面上的定位孔3用于穿入定位销2的头部，定位销2将罩体4的开启后位置限制，使罩体4开启一定的
角度。
[0035]罩体4形状为近似长方体的盒体，为了便于安装定位支架1，根据罩体4的实际情况和罩体4外部的情况，选择合适的罩体4侧壁设置定位孔3，侧壁可选择平行于罩体4的开启角的左右侧壁中的一个，本实施例中，选择右侧壁设置定位孔3，在此侧壁的附近设置定位支架1。
[0036]定位支架1可包括与此侧壁平行并贴近的定位板11，在定位板11上设置有穿孔12，穿孔12的内径与定位销2的外径相适配，定位销2水平的插在穿孔12和定位孔3中。定位板11与侧壁之间的间距可为1cm之内，在不影响罩体4开合的情况下，定位板11与侧壁的距离尽可能靠近，便于定位销2的穿插。
[0037]可根据罩体4要开启的角度、罩体4外部设备的情况，设置定位板11和定位孔3的位置，本实施例中，罩体4的向上开启角度可大于45本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种罩体定位装置，其特征在于，包括设置在罩体之外的定位支架和定位销，在所述罩体的侧壁外表面设置有定位孔；所述罩体开启后，所述定位销被支撑在所述定位支架上，并穿入所述定位孔内。2.如权利要求1所述的罩体定位装置，其特征在于，所述侧壁平行于所述罩体的开启角，所述定位支架包括与所述侧壁平行并贴近的定位板，在所述定位板上设置有穿孔。3.如权利要求2所述的罩体定位装置，其特征在于，所述定位板固定在所述侧壁的后半部处的设备支架上。4.如权利要求3所述的罩体定位装置，其特征在于，所述定位孔设置在所述侧壁的后半部的下边缘，所述定位销穿过所述穿孔并插入所述定位孔后，所述罩体的开启角度大于45度小于90度。5.如权利要求3所述的罩体定位装置，其特征在于，所述穿孔设置在所述定位板的一端，在所述定位板的另一端垂直设置有安装板，所述安装板通过螺栓安装在所述设备支架上。6.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李踵荣，金秀宪，郑盈箕，吴泰润，车世旭，崔赞龙，金圭燦，金东宰，咸振植，寓尚润，李东焕，申熙哲，康泰一，
申请(专利权)人：盛吉盛韩国半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：