真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜机包括真空镀膜室、导轨和靶材移动小车，靶材移动小车上安装有靶材单元，靶材移动小车滑设于导轨，以使靶材单元能够进出真空镀膜室。靶材单元通过靶材移动小车运送至真空镀膜室内，为真空镀膜提供溅射靶材。在对靶材单元进行维护时，靶材移动小车将靶材单元移出真空镀膜室。靶材移动小车上还设置有安装机构，安装机构与靶材移动小车转动连接，靶材单元安装于安装机构，安装机构转动能带动靶材单元在安装位和维护位之间转换，以便在靶材单元需要维护时，将靶材单元旋转至维护位，将靶材单元中留存的冷却水倒出，提高了靶材单元的维护效率。提高了靶材单元的维护效率。提高了靶材单元的维护效率。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其涉及一种真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空处理属于磁控溅射镀膜的场合，作为镀膜源的溅射靶材可选用圆柱长筒管状结构。在平面溅射机中，可以将圆柱溅射靶材水平放置来进行真空镀膜。
[0003]在上述配置中，当溅射靶材需要维护时，一般是通过设置在真空镀膜室的靶材基座小车将其从真空镀膜室中水平抽出进行维护。现有的靶材基座小车一般只能使溅射靶材水平移动，而水平放置的溅射靶材不利于处理溅射靶材中的冷却水。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提出一种真空镀膜机，该真空镀膜机便于处理靶材单元中的冷却水，提高了靶材单元的维护效率。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]真空镀膜机，包括真空镀膜室、导轨和靶材移动小车，所述靶材移动小车上安装有靶材单元，所述靶材移动小车滑设于所述导轨，以使所述靶材单元能够进出所述真空镀膜室，其中，所述靶材移动小车上还设置有安装机构，所述安装机构与所述靶材移动小车转动连接，所述靶材单元安装于所述安装机构，所述安装机构转动能带动所述靶材单元在安装位和维护位之间转换。
[0007]作为真空镀膜机的一个可选方案，所述靶材移动小车上还设置有固定机构，当所述靶材单元转动至所述维护位时，所述固定机构用于固定所述安装机构。
[0008]作为真空镀膜机的一个可选方案，所述固定机构包括定位销，所述安装机构上设置有定位孔，当所述靶材单元转动至所述维护位时，所述定位销与所述定位孔配合，以固定所述安装机构。
[0009]作为真空镀膜机的一个可选方案，所述安装机构包括安装基座和安装板，所述靶材单元安装于所述安装基座上，所述安装板设置有两个，两个所述安装板分别设于所述靶材移动小车的两侧，所述安装基座通过传动轴与两个所述安装板转动连接。
[0010]作为真空镀膜机的一个可选方案，所述靶材移动小车上还设置有第一驱动组件，所述第一驱动组件与所述传动轴连接，用于驱动所述传动轴转动。
[0011]作为真空镀膜机的一个可选方案，所述第一驱动组件包括涡轮蜗杆减速机和手摇把手，所述手摇把手与所述涡轮蜗杆减速机的输入端连接，所述涡轮蜗杆减速机的输出端与所述传动轴连接。
[0012]作为真空镀膜机的一个可选方案，所述安装机构还包括承载座，所述承载座可升降的设置于所述安装基座上，所述靶材单元固定于所述承载座。
[0013]作为真空镀膜机的一个可选方案，所述承载座与所述安装基座之间设置有第二驱动组件，所述第二驱动组件包括气缸，所述气缸的固定端与所述安装基座连接，所述气缸的
驱动端与所述承载座连接。
[0014]作为真空镀膜机的一个可选方案，所述靶材移动小车还包括推动把手和脚轮，所述脚轮与所述导轨配合，通过所述推动把手推动所述靶材移动小车。
[0015]作为真空镀膜机的一个可选方案，所述靶材移动小车和所述导轨均沿所述真空镀膜室的周向均匀间隔设置有多个，多个所述导轨与多个所述靶材移动小车一一对应配合，且多个所述导轨与所述真空镀膜室的轴线垂直。
[0016]本技术的有益效果：
[0017]本技术提供的真空镀膜机，包括真空镀膜室、导轨和靶材移动小车，靶材移动小车上安装有靶材单元，且滑设于导轨上，靶材移动小车能够进出真空镀膜室，以将靶材单元运送至真空镀膜室内，为真空镀膜提供溅射靶材；或将靶材单元从真空镀膜室内移出，以对靶材单元进行维护。由于在真空镀膜室工作过程中，用于为真空镀膜室内降温的冷却管路中的冷却水容易留存在靶材单元，在对靶材单元进行维护时，为了便于处理靶材单元中的冷却水，在靶材移动小车上设置安装机构，安装机构与靶材移动小车转动连接，靶材单元安装于安装机构，通过转动安装机构能带动靶材单元在安装位和维护位之间转换。当需要将靶材单元安装于真空镀膜室内时，安装机构带动靶材单元旋转至安装位，然后通过靶材移动小车将靶材单元沿导轨推入真空镀膜室。当需要对靶材单元进行维护时，靶材移动小车沿导轨移动，将靶材单元移出真空镀膜室，安装机构带动靶材单元旋转至维护位，从而便于将靶材单元中留存的冷却水倒出，提高了靶材单元的维护效率。
附图说明
[0018]图1是本技术具体实施方式提供的靶材单元位于真空镀膜室内时真空镀膜机的结构示意图；
[0019]图2是本技术具体实施方式提供的靶材单元位于真空镀膜室内时真空镀膜机的结构示意图；
[0020]图3是本技术具体实施方式提供的靶材单元位于真空镀膜室外时真空镀膜机的结构示意图；
[0021]图4是本技术具体实施方式提供的靶材单元位于真空镀膜室外时真空镀膜机的结构示意图；
[0022]图5是本技术具体实施方式提供的靶材移动小车的俯视图；
[0023]图6是本技术具体实施方式提供的靶材单元位于维护位的结构示意图；
[0024]图7是本技术具体实施方式提供的靶材单元位于安装位时固定机构与安装机构的相对位置示意图；
[0025]图8是本技术具体实施方式提供的靶材单元位于维护位时固定机构与安装机构的相对位置示意图。
[0026]图中：
[0027]1、真空镀膜室；2、导轨；3、靶材移动小车；4、靶材单元；5、安装机构；6、定位销；7、第一驱动组件；
[0028]31、脚轮；32、推动把手；33、车身；51、安装基座；52、安装板；53、传动轴；54、承载座；55、气缸；71、涡轮蜗杆减速机；72、手摇把手。
具体实施方式
[0029]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0030]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]如图1
‑
图4所示，本实施例提供了一种真空镀膜机，包括真空镀膜室1、导轨2和靶材移动小车3，靶材移动小车3上安装有靶材单元4，靶材移动小车3滑设于导轨2，以使靶材单元4能够进出真空镀膜室1。靶材单元4通过靶材移动小车3运送至真空镀膜室1内，为真空镀膜提供溅射靶材。在对靶材单元4进行维护时，靶材移动小车3将靶材单元4移出真空镀膜室1。
[0032]作为真空镀膜机的一个可选方案，靶材移动小车3和导轨2均沿真空镀膜室1的周向均匀间隔设置有多个，多个导轨2与多个靶材移动小车3一一对应配合，且多个导轨2与真空镀膜室1的轴线垂直。通过设置多个靶材单元4，以从真空镀膜室1周向的多个角度为真空镀膜提供溅射靶材，使得镀膜更均匀。
[0本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空镀膜机，包括真空镀膜室(1)、导轨(2)和靶材移动小车(3)，所述靶材移动小车(3)上安装有靶材单元(4)，所述靶材移动小车(3)滑设于所述导轨(2)，以使所述靶材单元(4)能够进出所述真空镀膜室(1)，其特征在于，所述靶材移动小车(3)上还设置有安装机构(5)，所述安装机构(5)与所述靶材移动小车(3)转动连接，所述靶材单元(4)安装于所述安装机构(5)，所述安装机构(5)转动能带动所述靶材单元(4)在安装位和维护位之间转换。2.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述靶材移动小车(3)上还设置有固定机构，当所述靶材单元(4)转动至所述维护位时，所述固定机构用于固定所述安装机构(5)。3.根据权利要求2所述的真空镀膜机，其特征在于，所述固定机构包括定位销(6)，所述安装机构(5)上设置有定位孔，当所述靶材单元(4)转动至所述维护位时，所述定位销(6)与所述定位孔配合，以固定所述安装机构(5)。4.根据权利要求1所述的真空镀膜机，其特征在于，所述安装机构(5)包括安装基座(51)和安装板(52)，所述靶材单元(4)安装于所述安装基座(51)上，所述安装板(52)设置有两个，两个所述安装板(52)分别设于所述靶材移动小车(3)的两侧，所述安装基座(51)通过传动轴(53)与两个所述安装板(52)转动连接。5.根据权利要求4所述的真空镀膜机，其特征在于，所述靶材移动小车(3)上还设置有第一驱动组件(7)，所述第一驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：裴蓓，渡边优，余龙，吕启蒙，曹永军，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：