本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜装置包括装片室、预加热室、工艺腔室和搬送室，装片室、预加热室和工艺腔室分别设于搬送室周向的不同位置，装片室能存储多个待处理工件，搬送室内设置有机械手，机械手能将待处理工件搬送至预加热室，并能将加热后的待处理工件搬送至工艺腔室；预加热室内设置有加热工件架，加热工件架上能放置多个待处理工件，待处理工件能被置于加热工件架上加热。该真空镀膜装置通过单独设置预加热室，同时对多个待处理工件进行预加热，提高了真空处理效率；同时避免了待处理工件中的水汽等杂质受热逸出影响工艺腔室的内部环境，从而提高了真空处理的品质。从而提高了真空处理的品质。从而提高了真空处理的品质。
【技术实现步骤摘要】
真空镀膜装置
[0001]本技术涉及真空处理
，尤其涉及一种真空镀膜装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜装置需要将待处理工件在炉外人工装挂在治具(工件架的装挂板或挂杆)上，然后人工将待处理工件逐件挂装入炉内的工件架上，进行镀膜。
[0003]近年来，为了提高镀膜效率，出现多舱室式真空镀膜装置，在真空处理室基础上往往会再设置真空搬送室以实现待处理工件的自动化转运，以实现上下料和工艺切换等功能。在真空处理前，有时需要将待处理工件加热到一定温度，其后再进行真空处理。真空处理前的热处理一般在真空处理室完成，这样会降低真空处理的效率和热利用率。由于热处理过程中待处理工件中的水汽等杂质受热逸出，这将可能影响真空处理室的内部环境，从而导致真空处理的品质劣化。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提出一种真空镀膜装置，能够在真空处理前对待处理工件进行加热，且能提高真空处理的效率和品质。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]真空镀膜装置，其包括装片室、预加热室、工艺腔室和搬送室，所述装片室、所述预加热室和所述工艺腔室分别设于所述搬送室周向的不同位置，所述装片室能存储多个待处理工件，所述搬送室内设置有机械手，所述机械手能将待处理工件搬送至所述预加热室，并能将加热后的所述待处理工件搬送至所述工艺腔室；所述预加热室内设置有加热工件架，所述加热工件架上能放置多个待处理工件，所述待处理工件能被置于所述加热工件架上加热。
[0007]作为真空镀膜装置的一个可选方案，所述加热工件架沿其高度方向间隔设置有多个装载位，每个所述装载位均设置有加热器，所述加热器用于对所述待处理工件加热。
[0008]作为真空镀膜装置的一个可选方案，所述装载位包括第一支撑件和第二支撑件，所述第二支撑件设于所述第一支撑件上，所述待处理工件置于所述第一支撑件上，所述加热器固定于所述第二支撑件远离所述第一支撑件的一端。
[0009]作为真空镀膜装置的一个可选方案，所述加热器与所述待处理工件之间的间距为20mm～25mm。
[0010]作为真空镀膜装置的一个可选方案，所述加热器为加热板，所述加热板上布置有加热丝。
[0011]作为真空镀膜装置的一个可选方案，所述加热工件架可升降地设置于所述预加热室，以使所述机械手能将多个所述待处理工件置于不同高度的所述装载位。
[0012]作为真空镀膜装置的一个可选方案，所述预加热室内设置有升降机构，所述升降机构设置有两个，两个所述升降机构分别设置于所述加热工件架的两侧，两个所述升降机
构共同驱动所述加热工件架升降。
[0013]作为真空镀膜装置的一个可选方案，所述升降机构包括旋转马达、丝杠和螺母座，所述旋转马达与所述丝杠连接，所述丝杠与所述螺母座传动连接；所述加热工件架的两侧均设置有支撑板，所述螺母座与所述支撑板固定连接。
[0014]作为真空镀膜装置的一个可选方案，所述机械手包括夹持机构、伸缩机构和旋转机构，所述夹持机构设于所述伸缩机构的一端，用于夹持所述待处理工件，所述伸缩机构伸缩能够带动所述夹持机构自所述搬送室进出所述装片室、所述预加热室或所述工艺腔室；所述伸缩机构的另一端固定于所述旋转机构，所述旋转机构通过所述伸缩机构带动所述夹持机构在所述装片室、所述预加热室和所述工艺腔室之间转动。
[0015]作为真空镀膜装置的一个可选方案，所述装片室与所述搬送室之间设置有第一阀门，通过所述第一阀门控制所述装片室与所述搬送室的连通；
[0016]所述预加热室与所述搬送室之间设置有第二阀门，通过所述第二阀门控制所述预加热室与所述搬送室之间的连通；
[0017]所述工艺腔室与所述搬送室之间设置有第三阀门，通过所述第三阀门控制所述工艺腔室与所述搬送室之间的连通。
[0018]作为真空镀膜装置的一个可选方案，所述装片室和所述工艺腔室相对设置，所述预加热室设置于所述装片室和所述工艺腔室之间。
[0019]本技术的有益效果：
[0020]本技术提供的真空镀膜装置，包括装片室、预加热室、工艺腔室和搬送室，装片室、预加热室和工艺腔室分别设于搬送室周向的不同位置，装片室内存储有多个待处理工件，搬送室内的机械手能将待处理工件先搬送至预加热室内加热，预加热室内设置有能同时放置多个待处理工件的加热工件架，以对多个待处理工件进行加热。加热完成后，机械手能依次将加热后的多个待处理工件从预加热室搬送至工艺腔室进行镀膜工艺，提高了真空处理效率。而且，相对于现有技术中在工艺腔室内对待处理工件进行预加热，本技术通过设置独立的预加热室，避免了待处理工件中的水汽等杂质受热逸出影响工艺腔室的内部环境，从而提高了真空处理的品质。
附图说明
[0021]图1是本技术具体实施方式提供的真空镀膜装置的结构示意图；
[0022]图2是本技术具体实施方式提供的加热工件架的结构示意图。
[0023]图中：
[0024]100、待处理工件；
[0025]1、装片室；2、预加热室；3、工艺腔室；4、搬送室；5、第一阀门；6、第二阀门；7、第三阀门；
[0026]21、加热工件架；22、加热器；41、机械手；
[0027]211、第一支撑件；212、第二支撑件。
具体实施方式
[0028]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0029]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]如图1和图2所示，本实施例提供了真空镀膜装置，包括装片室1、预加热室2、工艺腔室3和搬送室4。装片室1、预加热室2和工艺腔室3分别设于搬送室4周向的不同位置，装片室1能存储多个待处理工件100，搬送室4内设置有机械手41，机械手41能将待处理工件100搬送至预加热室2，并能将加热后的待处理工件100搬送至工艺腔室3。预加热室2内设置有加热工件架21，加热工件架21上能放置多个待处理工件100，待处理工件100能被置于加热工件架21上加热。
[0031]本实施例提供的真空镀膜装置，通过在搬送室4的周向不同位置设置装片室1、预加热室2和工艺腔室3，装片室1设置有支撑架，支撑架上放置有多个呈水平状态放置的待处理工件100，机械手41伸入装片室1内将呈水平状态的待处理工件100取出，搬送至预加热室2内的加热工件架21上，然后机械手41再回到装片室1内搬运下一个待处理工件100，直至加热工件架21上装满待处理工件100，预本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.真空镀膜装置，其特征在于，包括装片室(1)、预加热室(2)、工艺腔室(3)和搬送室(4)，所述装片室(1)、所述预加热室(2)和所述工艺腔室(3)分别设于所述搬送室(4)周向的不同位置，所述装片室(1)能存储多个待处理工件(100)，所述搬送室(4)内设置有机械手(41)，所述机械手(41)能将待处理工件(100)搬送至所述预加热室(2)，并能将加热后的所述待处理工件(100)搬送至所述工艺腔室(3)；所述预加热室(2)内设置有加热工件架(21)，所述加热工件架(21)上能放置多个待处理工件(100)，所述待处理工件(100)能被置于所述加热工件架(21)上加热。2.根据权利要求1所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述加热工件架(21)沿其高度方向间隔设置有多个装载位，每个所述装载位均设置有加热器(22)，所述加热器(22)用于对所述待处理工件(100)加热。3.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述装载位包括第一支撑件(211)和第二支撑件(212)，所述第二支撑件(212)设于所述第一支撑件(211)上，所述待处理工件(100)置于所述第一支撑件(211)上，所述加热器(22)固定于所述第二支撑件(212)远离所述第一支撑件(211)的一端。4.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述加热器(22)与所述待处理工件(100)之间的间距为20mm～25mm。5.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述加热器(22)为加热板，所述加热板上布置有加热丝。6.根据权利要求2所述的真空镀膜装置，其特征在于，所述加热工件架(21)可升降地设置于所述预加热室(2)，以使所述机械手(41)能将多个所述待处理工件(100)置于不同高度的所述装载位。7.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：裴蓓，渡边优，余龙，吕启蒙，曹永军，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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