晶圆的夹持翻转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种晶圆的夹持翻转装置，包括支撑座、夹持机构和旋转传动机构；所述支撑座上设有第一通孔；所述夹持机构包括转动设于所述支撑座一侧的旋转安装板，所述旋转安装板上设有第二通孔，所述夹持机构还包括固定设于所述旋转安装板上的第一夹持部，以及活动穿设所述第二通孔并能相对所述第一夹持部做靠近或远离运动的第二夹持部；所述旋转传动机构与所述旋转安装板相连，且所述旋转传动机构在接收到预设信号后带着所述夹持机构沿着预设轴线在所述第一通孔内旋转；本发明专利技术中采用上下夹持固定的方式，在旋转传动机构的带动下，实现了硅片晶圆以及键合片稳定、匀速的翻转。实现了硅片晶圆以及键合片稳定、匀速的翻转。实现了硅片晶圆以及键合片稳定、匀速的翻转。

【技术实现步骤摘要】
晶圆的夹持翻转装置


[0001]本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种晶圆的夹持翻转装置。

技术介绍

[0002]为了满足半导体晶圆制程对缩小特征尺寸及3D集成需求的要求，减薄的晶圆十分脆弱，必须要有稳定的衬底支撑来辅助相关工艺的完成，通过键合工艺为晶圆提供刚性支撑。硅片晶圆在与载片的键合工艺流程过程中，需要在保证精度的同时完成180
°
翻转，现有翻转结构采用上下PIN(隐针)与晶圆边缘接触，通过接触力实现对晶圆的固定，但晶圆普遍存在翘曲的现象，导致晶圆接触受力不均在翻转过程中发生窜动，时而还会发生晶圆破片事件。在精度要求高的翻转中，会导致精度较低，并且伴随着破片的风险，使用效果不理想，为了解决上述问题，本技术中提出了一种晶圆的夹持翻转装置。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆的夹持翻转装置，目的在于采用上下夹持固定的方式，在旋转传动机构的带动下，实现了硅片晶圆以及键合片稳定、匀速的翻转。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了一种晶圆的夹持翻转装置，包括支撑座、夹持机构和旋转传动机构；
[0005]所述支撑座上设有第一通孔；
[0006]所述夹持机构包括转动设于所述支撑座一侧的旋转安装板，所述旋转安装板上设有第二通孔，所述夹持机构还包括固定设于所述旋转安装板上的第一夹持部，以及活动穿设于所述第二通孔内并能相对所述第一夹持部做靠近或远离运动的第二夹持部，其中，所述第一夹持部和所述第二夹持部之间形成供晶圆安装的安装区，且所述第一夹持部和所述第二夹持部活动穿设于所述第一通孔内；
[0007]所述旋转传动机构与所述旋转安装板相连，且所述旋转传动机构在接收到预设信号后带着所述夹持机构沿着预设轴线在所述第一通孔内旋转。
[0008]可选的，所述第一夹持部包括固定臂、第一压盘、第一吸盘支座和第一吸盘；
[0009]所述固定臂穿设所述第一通孔并与所述旋转安装板固定连接；
[0010]所述第一压盘固定连接在所述固定臂朝向所述安装区的一侧；
[0011]所述第一吸盘支座固定连接在所述第一压盘远离所述固定臂的一侧；
[0012]所述第一吸盘设置在所述第一吸盘支座远离所述第一压盘的一端上。
[0013]可选的，所述第二夹持部包括移动臂、第二压盘、第二吸盘支座和第二吸盘；
[0014]所述移动臂穿设所述第一通孔和所述第二通孔；
[0015]所述第二压盘固定连接在所述移动臂朝向所述安装区的一侧；
[0016]所述第二吸盘支座固定连接在所述第二压盘远离所述移动臂的一侧；
[0017]所述第二吸盘设置在所述第二吸盘支座远离所述第二压盘的一端上。
[0018]可选的，所述第二夹持部还包括连接板和气动滑台；
[0019]所述连接板与所述移动臂相连；
[0020]所述气动滑台包括固定在所述旋转安装板上的气缸，以及用于所述气缸的驱动端和所述连接板相连的滑台。
[0021]可选的，所述旋转传动机构包括电机、联轴器、旋转连接轴和支撑部；
[0022]所述电机安装在所述支撑部上，且所述支撑部固定设于所述支撑座上；
[0023]所述联轴器的一端与所述电机的驱动端相连，且另一端与所述旋转连接轴相连，所述旋转连接轴固定连接在所述旋转安装板的中心位置上。
[0024]可选的，所述夹持翻转装置还包括轴承固定端盖和轴承；
[0025]所述轴承固定套设在所述旋转安装板外；
[0026]所述轴承固定端盖固定套设在所述轴承外，且所述轴承固定端盖固定在所述支撑座上。
[0027]可选的，所述夹持翻转装置还包括旋转限位部；
[0028]所述旋转限位部包括固定连接在所述旋转安装板上的旋转传感器挡片，以及设于所述支撑座上的旋转限位传感器和旋转限位挡块，其中，所述旋转限位传感器和所述旋转限位挡块的组合设置有两组，且两组在所述支撑座上呈180
°
设置。
[0029]可选的，所述夹持翻转装置还包括升降限位部；
[0030]所述升降限位部包括设于所述旋转安装板上的升降传感器，以及设于所述连接板上的升降传感器挡片，其中，所述升降传感器设置有两组，且两组所述升降传感器沿着所述移动臂的运动方向布置。
[0031]可选的，所述夹持翻转装置还包括收纳部；
[0032]所述收纳部包括柔性拖链和拖链压块；其中，所述柔性拖链的一端连接在所述支撑部上，且所述柔性拖链的另一端与所述拖链压块相连，所述拖链压块远离所述柔性拖链的一端设于所述旋转安装板上。
[0033]可选的，所述夹持翻转装置还包括导气部，所述导气部设于所述第一夹持部和/或所述第二夹持部上；
[0034]所述导气部包括总导气管和支导气管；所述固定臂和/或所述移动臂上设置有布管槽，所述总导气管隐藏设于所述布管槽上，所述总导气管上连通有所述支导气管，且所述支导气管穿设于所述第一夹持部和/或所述第二夹持部内，所述支导气管远离所述总导气管的一端与所述第一吸盘的导气口和/或所述第二吸盘的导气口连通。
[0035]本技术的有益效果如下：
[0036]本技术提出了一种晶圆的夹持翻转装置，采用所述第一夹持部和所述第二夹持部协作夹持固定的方式，在旋转传动机构的带动下，实现了晶圆或键合片稳定、匀速的翻转，同时，在保证工艺要求的同时，也避免了晶圆或键合片在翻转过程中发生窜动以及晶圆或键合片边缘接触受力不均匀的问题，从而提高了晶圆或键合片的翻转精度、降低了边缘受力不均匀造成破片的风险。
附图说明
[0037]图1为本技术的实施例平面切割结构示意图；
[0038]图2为本技术的实施例立体结构示意图；
[0039]图3为本技术中第一夹持部的结构示意图；
[0040]图4为本技术中第二夹持部的结构示意图；
[0041]图5为本技术中第一吸盘和第一吸盘支座或第二吸盘和第二吸盘支座的结构示意图；
[0042]图6为本技术中图2的左视结构示意图；
[0043]图7为本技术中第一夹持部和第二夹持部上设置导气部的结构示意图。
[0044]附图标记
[0045]1、支撑座；100、第一通孔；
[0046]2、夹持机构；21、旋转安装板；200、第二通孔；
[0047]22、第一夹持部；221、固定臂；222、第一压盘；223、第一吸盘支座；224、第一吸盘；
[0048]23、第二夹持部；231、移动臂；232、第二压盘；233、第二吸盘支座；234、第二吸盘；235、连接板；236、气动滑台；
[0049]3、轴承固定端盖；
[0050]4、轴承；
[0051]5、旋转限位部；51、旋转传感器挡片；52、旋转限位传感器；53、旋转限位挡块；
[0052]6、升降限位部；61、升降传感器；62、升降传本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆的夹持翻转装置，其特征在于，包括支撑座、夹持机构和旋转传动机构；所述支撑座上设有第一通孔；所述夹持机构包括转动设于所述支撑座一侧的旋转安装板，所述旋转安装板上设有第二通孔，所述夹持机构还包括固定设于所述旋转安装板上的第一夹持部，以及活动穿设于所述第二通孔内并能相对所述第一夹持部做靠近或远离运动的第二夹持部，其中，所述第一夹持部和所述第二夹持部之间形成供晶圆安装的安装区，且所述第一夹持部和所述第二夹持部活动穿设于所述第一通孔内；所述旋转传动机构与所述旋转安装板相连，且所述旋转传动机构在接收到预设信号后带着所述夹持机构沿着预设轴线在所述第一通孔内旋转。2.根据权利要求1所述的晶圆的夹持翻转装置，其特征在于，所述第一夹持部包括固定臂、第一压盘、第一吸盘支座和第一吸盘；所述固定臂穿设所述第一通孔并与所述旋转安装板固定连接；所述第一压盘固定连接在所述固定臂朝向所述安装区的一侧；所述第一吸盘支座固定连接在所述第一压盘远离所述固定臂的一侧；所述第一吸盘设置在所述第一吸盘支座远离所述第一压盘的一端上。3.根据权利要求2所述的晶圆的夹持翻转装置，其特征在于，所述第二夹持部包括移动臂、第二压盘、第二吸盘支座和第二吸盘；所述移动臂穿设所述第一通孔和所述第二通孔；所述第二压盘固定连接在所述移动臂朝向所述安装区的一侧；所述第二吸盘支座固定连接在所述第二压盘远离所述移动臂的一侧；所述第二吸盘设置在所述第二吸盘支座远离所述第二压盘的一端上。4.根据权利要求3所述的晶圆的夹持翻转装置，其特征在于，所述第二夹持部还包括连接板和气动滑台；所述连接板与所述移动臂相连；所述气动滑台包括固定在所述旋转安装板上的气缸，以及用于所述气缸的驱动端和所述连接板相连的滑台。5.根据权利要求1所述的晶圆的夹持翻转装置，其特征在于，所述旋转传动机构包括电机、联轴器、旋转连接轴和支撑部；所述电机安装在所述支撑部上，且所述支撑部固定设于所述支撑座上；所述联...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐晓伟，温海涛，王金龙，孙璞，孙振聪，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：