一种用于测量设备中的多镜调整装置及椭偏量测设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于测量设备中的多镜调整装置及椭偏量测设备，其中一种用于测量设备中的多镜调整装置，包括：同轴设置的基准板和至少一层的基准板外环；与基准板通过多个球头螺丝法向连接的镜一板；与第一层的基准板外环通过多个球头螺丝法向连接的镜二板；沿第一层的基准板外环外部径向伸入并可与基准板固定定位的若干柱塞；当N≥2时，还包括：与第N层的基准板外环通过多个球头螺丝法向连接的镜N+1板；沿第N层的基准板外环外部径向伸入并可与第N

【技术实现步骤摘要】
一种用于测量设备中的多镜调整装置及椭偏量测设备


[0001]本技术涉及一种用于测量设备中的多镜调整装置，属于光学安装


技术介绍

[0002]在半导体测量设备中，尤其是用于测量半导体制造工艺中的各种薄膜参数和细微变化(如膜厚、折射率、应力等)的精密薄膜测量设备，通常采用了先进的非接触式光谱测量技术，由于测量精度高，决定了其光机整体需要有足够的稳定性、高精度以及结构小等特点，而这其中光斑在传输过程中，需要时刻观察光斑在不同位置的偏移及强度。
[0003]目前，现有的多镜安装方式，都是一个调整结构装对应一个镜片，使光机结构比较大，且不能满足两个镜片同时旋转相同角度的需求，调整时费时费力；或者也有将两个镜片装在一个调整装置中，但装调精度满足不了角度秒级需求，增加设备生产难度，不利于光机产品的竞争力。

技术实现思路

[0004]本技术需要解决的技术问题是：一个调整结构装对应一个镜片，使光机结构比较大，且不能满足两个镜片同时旋转相同角度的需求，调整时费时费力；或者两个镜片装在一个调整装置中，但装调精度满足不了角度秒级需求。
[0005]为解决上述技术问题，本技术采取以下技术方案：
[0006]一种用于测量设备中的多镜调整装置，包括：
[0007]同轴设置的基准板11和基准板外环12；与基准板11通过多个球头螺丝16法向连接的镜一板13；与基准板外环12通过多个球头螺丝16法向连接的镜二板14；沿基准板外环12外部径向伸入并可与基准板11固定定位的若干柱塞；
[0008]当N≥2时，还包括：与第N层的基准板外环通过多个球头螺丝16法向连接的镜N+1板；沿第N层的基准板外环外部径向伸入并可与第N
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1层的基准板外环固定定位的若干柱塞。
[0009]优选的，所述柱塞为弹性柱塞15。
[0010]优选的，所述基准板11上设有V型槽一1103、圆锥槽一1101、平面一以及四个螺丝孔一1102，对应地，所述基准板外环12上设有V型槽二1203、圆锥槽二1201、平面二以及四个螺丝孔二1202。
[0011]进一步的，所述基准板外环12周围设有若干用于安装柱塞的侧面螺丝孔1204。
[0012]更进一步的，若干所述侧面螺丝孔1204均匀布置，若干所述螺丝孔一1102、螺丝孔二1202也均匀布置。
[0013]优选的，所述镜一板13中间具有光学镜一的安装位，所述镜二板中间设有光学镜二的安装位。
[0014]优选的，V型槽一1103和V型槽二1203槽口对准形成一连续V型槽。
[0015]优选的，所述基准板11呈圆形，和基准板外环12呈圆环形，两者间隙装配。
[0016]优选的，球头顶丝16通过顶丝孔在V型槽一、圆锥槽一、平面一四处调整镜一板13的倾斜度，固定螺丝17通过螺丝孔固定镜一板13；球头顶丝16通过顶丝孔在V型槽二、圆锥槽二、平面二四处调整镜二板14的倾斜度，固定螺丝17通过螺丝孔固定镜二板14。
[0017]一种椭偏量测设备，所述椭偏量测设备包括上所述的镜片调整装置。
[0018]本装置与现有的测量设备(如扩束装置)相比，本技术具有以下有益效果：
[0019]第一，装调角度能满足秒级需求；
[0020]第二，可根据此结构叠加多个镜片；
[0021]第三，结构紧凑，节省了设备内部空间，简化了结构设计和加工难度。
[0022]总之，本装置具有结构紧凑，操作便利，倾斜度调整方便，易加工等优势，对于批量化生产提高了经济效益和装调可靠性。
附图说明
[0023]图1是本技术用于测量设备中的多镜调整装置的外形示意图。
[0024]图2是基准板的平面图。
[0025]图3是基准板外环的平面图。
[0026]图4是镜一板的平面图。
[0027]图5是镜二板的平面图。
[0028]图6是本技术用于测量设备中的多镜调整装置的外形示意图(带部件标号)。
[0029]图7是镜一板与镜二板的配合结构示意图。
[0030]图中：
[0031]11基准板1件、12基准板外环1件、13镜一板1件、14镜二板1件、15弹性柱塞4件、16球头顶丝8件(图4和图5各有4个顶丝孔，用于装配共8个球头顶丝)、17固定螺丝8件(图4和图5各有4个螺丝孔，用于装配共8个固定顶丝)、18镂空减重；
[0032]1101圆锥槽一2件、1102螺丝孔一4件、1103V形槽一1件；
[0033]1201圆锥槽二2件、1202螺丝孔二4件、1203V形槽二1件。
具体实施方式
[0034]下面结合附图和具体实施例对本技术进一步说明。
[0035]实施例一：
[0036]参见图1
‑
5，一种用于测量设备中的多镜调整装置，包括：同轴设置的基准板11和基准板外环12；与基准板11通过多个球头螺丝16法向连接的镜一板13；与基准板外环12通过多个球头螺丝16法向连接的镜二板14；沿基准板外环12外部径向伸入并可与基准板11固定定位的若干弹性柱塞15。
[0037]在此实施例中，参见图2和图3，所述基准板11上设有V型槽一1103、圆锥槽一1101、平面一以及螺丝孔一1102，对应地，所述基准板外环12上设有V型槽二1203、圆锥槽二1201、平面二以及螺丝孔二1202。
[0038]其中球头顶丝16放置在V型槽、圆锥槽、平面等四处与螺丝同时调整镜一板倾斜度及固定镜一板；
[0039]参见图4
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5，并结合图6，球头顶丝16通过顶丝孔，在V型槽、圆锥槽、平面等四处调
整镜一板13的倾斜度，固定螺丝17通过对应的螺丝孔固定镜一板13；注意，图4和图5为平面图，其中标示出的16和17的部位也为顶丝孔和固定螺丝孔的所在部位，即球头顶丝16与固定螺丝17的安装部位。
[0040]请继续结合图7，球头顶丝16通过顶丝孔在V型槽二、圆锥槽二、平面二四处调整镜二板14的倾斜度，固定螺丝17通过对应的螺丝孔固定镜二板14。
[0041]参见图7，V型槽一1103和V型槽二1203槽口对准形成一连续V型槽。
[0042]其中，V型槽一1103和V型槽二1203因为采用V形槽的定位方式，在与球头顶丝16配合的时候可允许一定的定位偏差，可降低装配精度的要求。
[0043]基准板外环在调整镜二板14时，用弹性柱塞15固定在基准板11上，可防止调整镜二板14时镜一板13位置变动。
[0044]在此实施例中，结合图3和图6，所述基准板外环12周围设有若干用于安装柱塞的侧面螺丝孔1204。
[0045]作为优选的方案，若干所述侧面螺丝孔1204均匀布置，若干所述螺丝孔一1102、螺丝孔二1202也均匀布置。如图2和3所示。
[0046]本实施例中，所述镜一板13中间具有光学镜一的安装位，所述镜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于测量设备中的多镜调整装置，其特征在于，包括：同轴设置的基准板(11)和至少一层的基准板外环(12)；与基准板(11)通过多个球头顶丝(16)法向连接的镜一板(13)；与第一层的基准板外环(12)通过多个球头顶丝(16)法向连接的镜二板(14)；沿第一层的基准板外环(12)外部径向伸入并可与基准板(11)固定定位的若干柱塞；当N≥2时，还包括：与第N层的基准板外环通过多个球头顶丝(16)法向连接的镜N+1板；沿第N层的基准板外环外部径向伸入并可与第N
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1层的基准板外环固定定位的若干柱塞。2.如权利要求1所述的用于测量设备中的多镜调整装置，其特征在于：所述柱塞为弹性柱塞(15)。3.如权利要求1所述的用于测量设备中的多镜调整装置，其特征在于：所述基准板(11)上设有V型槽一(1103)、圆锥槽一(1101)、平面一以及四个螺丝孔一(1102)，对应地，所述基准板外环(12)上设有V型槽二(1203)、圆锥槽二(1201)、平面二以及四个螺丝孔二(1202)。4.如权利要求3所述的用于测量设备中的多镜调整装置，其特征在于：所述基准板外环(12)周围设有若干用于安装柱塞的侧面螺丝孔(...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱强铭，熊金磊，毛宗钦，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：新型
国别省市：