同步触发电路、同步触发方法以及光学测量系统技术方案

本发明专利技术提供一种同步触发电路、同步触发方法以及光学测量系统，包括：总控模块、电机位置控制模块、采集模块以及异常处理模块；总控模块，用于同时发出采集控制信号以及在接收异常信号后重新下发采集控制信号；电机位置控制模块生成第一触发信号；采集模块，基于第一触发信号采集反射光信号；异常处理模块对电机位置控制模块的输出信号的频次进行检测；当检测到电机位置控制模块的输出信号的频次不符合第一预设频次时输出异常信号。本发明专利技术通过设置异常处理模块对同步触发过程中的异常情况进行检测，并保证了异常情况发现后能自动恢复，节省了人力成本、时间成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体测量领域，特别是涉及一种同步触发电路、同步触发方法以及光学测量系统。

技术介绍

1、在半导体量测领域，多设备同步触发采集系统的应用十分普遍，同步触发可以减少设备间因分开采集而产生的误差，同时减少采集所花费的时间，最终给半导体量测设备的量测精度和量测效率带来了一定程度的提升。

2、现有的同步触发系统已经能达到较高的采集精度，但缺失异常处理能力，在采集过程中某些模块受信号干扰而中断，导致系统会异常宕机无法恢复采集功能，此时需要人为对软硬件排查故障操作系统才能恢复正常工作，在异常出现到恢复期间设备会有很长一段时间的空档期无法做量测工作，造成了设备和人力资源浪费。若在软件层面开发异常自动处理功能，将对设备使用者带来很大的便利，也大大提升了设备的稳定性。

3、基于此，如何保证同步触发系统的异常能得到及时处理成为了亟需解决的问题。

4、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种同步触发电路，用于光学测量系统，其特征在于，所述同步触发电路至少包括：总控模块、电机位置控制模块、采集模块以及异常处理模块；

2.根据权利要求1所述的同步触发电路，其特征在于：当所述电机位置控制模块的输出信号的频次小于第一预设频次时，所述异常处理模块产生第二触发信号并向所述采集模块输出，以控制所述采集模块采集反射光信号。

3.根据权利要求1所述的同步触发电路，其特征在于：所述总控模块还用于接收所述电机位置控制模块反馈的位置数据和所述采集模块反馈的光采集数据中至少一种数据；

4.根据权利要求3所述的同步触发电路，其特征在于：</p>

5.根据...

【技术特征摘要】

1.一种同步触发电路，用于光学测量系统，其特征在于，所述同步触发电路至少包括：总控模块、电机位置控制模块、采集模块以及异常处理模块；

2.根据权利要求1所述的同步触发电路，其特征在于：当所述电机位置控制模块的输出信号的频次小于第一预设频次时，所述异常处理模块产生第二触发信号并向所述采集模块输出，以控制所述采集模块采集反射光信号。

3.根据权利要求1所述的同步触发电路，其特征在于：所述总控模块还用于接收所述电机位置控制模块反馈的位置数据和所述采集模块反馈的光采集数据中至少一种数据；

4.根据权利要求3所述的同步触发电路，其特征在于：

5.根据权利要求3所述的同步触发电路，其特征在于：所述异常处理模块接收并计数所述采集脉冲信号，直到所述采集脉冲信号的次数达到第二预设次数时，产生触发停止信号并发送至所述采集模块以使得所述采集模块停止采集。

6.根据权利要求1所述的同步触发电路，其特征在于：所述异常处理模块包括检波器；

7.一种同步触发方法，基于如权利要求1～...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴依熳，姚岭，邱青菊，刘陈晨，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：发明
国别省市：