一种布气机构和镀膜设备制造技术

本申请实施例公开了一种布气机构和镀膜设备，布气机构包括布气板和绝缘组件，布气板上设有第一气孔，绝缘组件上设有第二气孔，绝缘组件设置于布气板上，绝缘组件罩设于布气板的设置第一气孔侧，绝缘组件的边缘和布气板的边缘密封连接。在等离子增强化学气相沉淀工艺中，布气板作为上极板，布气板上的第一气孔朝向下极板设置，将设有第二气孔的绝缘组件罩设于布气板的第一气孔侧，且绝缘组件的边缘和布气板的边缘密封连接，即绝缘组件在不阻碍出气的前提下将上、下极板绝缘分隔，如此设置可以既不阻断上、下极板的电场，还可以克服因采用高频电源击穿上极与下极间的气体产生电弧的问题，达到提升镀膜均匀性的效果。达到提升镀膜均匀性的效果。达到提升镀膜均匀性的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种布气机构和镀膜设备


[0001]本申请涉及化学气相沉积
，尤其涉及一种布气机构和镀膜设备。

技术介绍

[0002]在太阳能电池技术的发展过程中，提高太阳能电池的转换率一直都是待突破放技术重点，而生产中，影响转换率最关键的一个工序就是PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子增强化学气相沉淀)，以往通过优化工艺气体配比以及更好的匹配RF(Radio Frequency，射频收发核心电路射频)电源的优化方向在非晶镀膜工艺上已经达到了瓶颈，需要新的工艺突破。
[0003]现发展方向是从单面微晶逐渐被替换成双面微晶工艺，微晶比非晶有更规整的结构，也有更高的转化率。但是微晶工艺需要选择频率更高的VHF(Very high frequency，甚高频)电源，而在此工艺过程中，以布气板为上极，施加的甚高频电源容易击穿上极与下极间的气体产生电弧，严重影响镀膜的均匀性。
[0004]因此，如何改善或避免微晶工艺中出现击穿上极与下极间的气体产生电弧而导致严重影响镀膜的均匀性的问题，有待解决。

技术实现思路

[0005]本申请实施例是一种布气机构和镀膜设备，能够避免布气板与下极板间起弧。
[0006]本申请实施例公开了一种布气机构，所述布气机构包括布气板和绝缘组件，所述布气板上设有第一气孔，所述绝缘组件上设有第二气孔，所述绝缘组件设置于所述布气板上，所述绝缘组件罩设于所述布气板的设置所述第一气孔侧，所述绝缘组件的边缘和所述布气板的边缘密封连接。
[0007]可选的，所述布气机构还包括连接件，所述连接件包括绝缘部和导电部，所述绝缘部与所述导电部可拆卸连接或固定连接，所述布气板和所述绝缘组件上分别开设有对应接通的安装孔，所述连接件穿设于所述布气板的安装孔和所述绝缘组件的安装孔以连接所述布气板和所述绝缘组件；所述连接件的导电部对应完全或部分封堵所述布气板的安装孔设置，所述连接件的绝缘部对应完全封堵所述绝缘组件的安装孔设置。
[0008]可选的，所述绝缘部为螺栓状，所述导电部为可与螺栓状的所述绝缘部螺接的螺母状，所述导电部对应完全或部分封堵所述布气板的安装孔设置于所述布气板上，所述绝缘部穿设所述绝缘组件的安装孔与所述导电部螺接，所述绝缘部对应完全封堵所述绝缘组件的安装孔设置。
[0009]可选的，所述导电部采用与所述布气板导电性相同的材质制成。
[0010]可选的，所述第一气孔和所述第二气孔分别为多个，每个所述第二气孔与一个所述第一气孔对应沿同一直线且孔口的形状相同设置。
[0011]可选的，所述第一气孔和所述第二气孔分别为多个，每个所述第一气孔与多个所述第二气孔对应分别等间距设置。
[0012]可选的，所述绝缘组件包括绝缘板和绝缘边框，所述第二气孔设置于所述绝缘板上，所述绝缘板与所述布气板平行且边缘分别对齐设置，所述绝缘边框沿所述绝缘板的边缘和所述布气板的边缘分别密封设置。
[0013]可选的，所述绝缘板包括多个绝缘子板，所述绝缘边框包括多个绝缘子边框，多个所述绝缘子板沿与所述布气板的板面平行的平面拼接设置于所述布气板上，多个所述绝缘子板沿所述绝缘板的边缘和所述布气板的边缘分别密封设置。
[0014]可选的，所述布气机构还包括绝缘的分隔件，所述分隔件设置于所述绝缘板和所述布气板之间，所述分隔件的两端分别抵接于所述绝缘板和所述布气板上。
[0015]可选的，所述绝缘边框包括第一支板和第二支板，所述第一支板的一端与所述第二支板的一端连接且所述第一支板的板面与所述第二支板的板面具有夹角，所述第一支板与所述绝缘板远离所述布气板侧的板面密封贴合，所述第二支板围设于所述绝缘板边缘和所述布气板边缘，所述第二支板与所述布气板边缘密封连接。
[0016]可选的，所述布气板靠近所述绝缘板侧设有定位槽，所述分隔件的一端插设于所述定位槽内，所述分隔件的另一端凸出于所述定位槽并抵接于所述绝缘板上。
[0017]可选的，所述定位槽与所述分隔件分别为多个，多个所述定位槽等间距均匀设置于所述布气板上，每个所述定位槽内插设一个所述分隔件。
[0018]本申请实施例还公开了一种镀膜设备，所述镀膜设备包括密封箱、顶升机构以及如上所述的布气机构，所述顶升机构设置于所述密封箱的一端，所述布气机构设置于所述密封箱的另一端的内侧，所述顶升机构接地设置，所述绝缘组件位于所述布气板和所述顶升机构之间。
[0019]可选的，所述顶升机构包括支撑组件和升降组件，所述支撑组件包括支撑架和多个支撑件，所述多个支撑件接地设置，所述多个支撑件间隔设置于所述支撑架上，所述多个支撑件的支撑端朝所述布气板方向凸出于所述支撑架设置，所述支撑件设置于所述密封箱内；所述升降组件的升降端与所述支撑架驱动连接以驱动所述支撑架携带所述支撑件朝所述布气板方向靠近或远离，所述升降组件设置于所述密封箱外。
[0020]本申请实施例中，在等离子增强化学气相沉淀工艺中，布气板作为上极板，布气板上的第一气孔朝向下极板设置，将设有第二气孔的绝缘组件罩设于布气板的第一气孔侧，且绝缘组件的边缘和布气板的边缘密封连接，即绝缘组件在不阻碍出气的前提下将上、下极板绝缘分隔，如此设置可以既不阻断上、下极板的电场，还可以克服因采用高频电源击穿上极与下极间的气体产生电弧的问题，达到提升镀膜均匀性的效果。
附图说明
[0021]所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：
[0022]图1是本申请实施例公开的一种布气机构的立体结构示意图；
[0023]图2是图1中出气侧的布气机构的结构示意图；
[0024]图3是图2中局部A的结构放大的示意图；
[0025]图4是图3中沿剖面线F
‑
F1的剖切面的结构示意图；
[0026]图5是图1中的布气机构分解的结构示意图；
[0027]图6是本申请实施例公开的一种镀膜设备的内部一侧视角的结构示意图。
[0028]其中，10、布气机构；11、布气板；12、绝缘组件；13、第一气孔；14、第二气孔；15、连接件；16、绝缘部；17、导电部；18、安装孔；19、绝缘板；20、绝缘边框；21、绝缘子板；22、绝缘子边框；23、分隔件；24、定位槽；25、第一支板；26、第二支板；27、镀膜设备；28、密封箱；29、顶升机构；30、支撑组件；31、升降组件；32、支撑架；33、支撑件。
具体实施方式
[0029]需要理解的是，这里所使用的术语、公开的具体结构和功能细节，仅仅是为了描述具体实施例，是代表性的，但是本申请可以通过许多替换形式来具体实现，不应被解释成仅受限于这里所阐述的实施例。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种布气机构，可用于等离子增强化学气相沉淀工序中作为上极板，其特征在于，包括：布气板，所述布气板上设有第一气孔；以及绝缘组件，所述绝缘组件上设有第二气孔，所述绝缘组件设置于所述布气板上，所述绝缘组件罩设于所述布气板的设置所述第一气孔侧，所述绝缘组件的边缘和所述布气板的边缘密封连接。2.如权利要求1所述的布气机构，其特征在于，所述布气机构还包括连接件，所述连接件包括绝缘部和导电部，所述绝缘部与所述导电部可拆卸连接或固定连接，所述布气板和所述绝缘组件上分别开设有对应接通的安装孔，所述连接件穿设于所述布气板的安装孔和所述绝缘组件的安装孔以连接所述布气板和所述绝缘组件；所述连接件的导电部对应完全或部分封堵所述布气板的安装孔设置，所述连接件的绝缘部对应完全封堵所述绝缘组件的安装孔设置。3.如权利要求2所述的布气机构，其特征在于，所述绝缘部为螺栓状，所述导电部为可与螺栓状的所述绝缘部螺接的螺母状，所述导电部对应完全或部分封堵所述布气板的安装孔设置于所述布气板上，所述绝缘部穿设所述绝缘组件的安装孔与所述导电部螺接，所述绝缘部对应完全封堵所述绝缘组件的安装孔设置。4.如权利要求2所述的布气机构，其特征在于，所述导电部采用与所述布气板导电性相同的材质制成。5.如权利要求1所述的布气机构，其特征在于，所述第一气孔和所述第二气孔分别为多个，每个所述第二气孔与一个所述第一气孔对应沿同一直线且孔口的形状相同设置。6.如权利要求1所述的布气机构，其特征在于，所述第一气孔和所述第二气孔分别为多个，每个所述第一气孔与多个所述第二气孔对应分别等间距设置。7.如权利要求1所述的布气机构，其特征在于，所述绝缘组件包括绝缘板和绝缘边框，所述第二气孔设置于所述绝缘板上，所述绝缘板与所述布气板平行且边缘分别对齐设置，所述绝缘边框沿所述绝缘板的边缘和所述布气板的边缘分别密封设置。8.如权利要求7所述的布气机构，其特征在于，所述绝缘板包括多个绝缘子板，所述绝缘边框包括多个绝缘子边框，多个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志，宁艳华，王俊朝，李亚文，宁志升，唐圭，李业涛，蒋济维，唐太家，梁剑铭，王金山，裴梓伯，陈培宁，莫开福，杨海龙，李金萍，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：