惰性气体加热装置及废气处理设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及废气处理技术领域，提供一种惰性气体加热装置及废气处理设备，惰性气体加热装置包括：进气管、出气管和加热管；所述进气管和所述出气管设于所述加热管相对的两端，所述进气管用于与气源连接，所述出气管用于与废气处理设备的流通管路连接；所述加热管包括PTC层，所述加热管用于与电源连接。惰性气体加热装置包括依次连接的进气管、加热管和出气管，加热管包括PTC层，PTC层与电源连接，通过电源向PTC层通入电流，PTC层加热后的温度稳定在目标温度范围内，目标温度大于废气的结晶温度，惰性气体加热装置结构简单，性能可靠，能够有效避免废气的流通管路发生堵塞。有效避免废气的流通管路发生堵塞。有效避免废气的流通管路发生堵塞。

【技术实现步骤摘要】
惰性气体加热装置及废气处理设备


[0001]本技术涉及废气处理
，尤其涉及一种惰性气体加热装置及废气处理设备。

技术介绍

[0002]半导体材料是制作晶体管、集成电路及光电子器件的重要材料，半导体生产过程中会产生大量的有毒废气，废气需通过废气处理设备的处理后才能排放到环境中。
[0003]现有技术中，通过废气处理设备对废气进行处理，废气流入废气处理设备的反应腔内的流通管路中，需对流通管路进行加热，以保障废气不会因温度降低，造成气体凝固结粉，堵塞管道。
[0004]管路堵塞区域通常为管路中温度降低区域，通过在易堵塞位置的前端通入热的惰性气体，保证废气的温度高于其结晶温度，来避免废气结晶导致管路出现堵塞现象。惰性气体通常选用来源丰富、成本低的氮气，现有技术中多通过电阻丝加热方式对氮气进行加热，加热模块包括温控仪表、电阻丝加热管、继电器及温度传感器等元器件，结构复杂，电阻丝易损坏，需依赖闭环控制器，导致其可靠性不佳。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种惰性气体加热装置及废气处理设备，用以解决现有的废气处理过程中惰性气体加热器存在结构复杂、可靠性不佳的问题。
[0006]第一方面，本技术提供一种惰性气体加热装置，包括：进气管、出气管和加热管；
[0007]所述进气管和所述出气管设于所述加热管相对的两端，所述进气管用于与气源连接，所述出气管用于与废气处理设备的流通管路连接；
[0008]所述加热管包括PTC层，所述加热管用于与电源连接。
[0009]根据本技术提供的一种惰性气体加热装置，所述加热管还包括第一不锈钢层和第二不锈钢层；
[0010]所述第一不锈钢层和所述第二不锈钢层均与所述PTC层同轴设置，所述第一不锈钢层设于所述PTC层的内侧，所述第二不锈钢层设于所述PTC层的外侧。
[0011]根据本技术提供的一种惰性气体加热装置，所述加热管还包括热管层；
[0012]所述热管层嵌设于所述第一不锈钢层。
[0013]根据本技术提供的一种惰性气体加热装置，所述加热管还包括保温层；
[0014]所述保温层套设于所述第二不锈钢层。
[0015]根据本技术提供的一种惰性气体加热装置，所述加热管的外壁面设有挂钩部。
[0016]根据本技术提供的一种惰性气体加热装置，所述进气管和/或所述出气管为金属波纹管。
[0017]根据本技术提供的一种惰性气体加热装置，所述PTC层呈筒状。
[0018]根据本技术提供的一种惰性气体加热装置，所述惰性气体加热装置还包括温度传感器；
[0019]所述温度传感器设于所述出气管的端部，用于检测由所述出气管排出的惰性气体的温度。
[0020]根据本技术提供的一种惰性气体加热装置，所述惰性气体加热装置还包括报警器；
[0021]所述报警器与所述温度传感器连接，用于发出报警音。
[0022]第二方面，本技术提供一种废气处理设备，包括所述的惰性气体加热装置；
[0023]所述废气处理设备具有反应容器，所述惰性气体加热装置用于向所述反应容器内废气的流通管路通入加热的惰性气体。
[0024]本技术提供的惰性气体加热装置及废气处理设备，惰性气体加热装置包括依次连接的进气管、加热管和出气管，加热管包括PTC层，PTC层与电源连接，通过电源向PTC层通入电流，PTC层加热后的温度稳定在目标温度范围内，目标温度大于废气的结晶温度，惰性气体加热装置结构简单，性能可靠，能够有效避免废气的流通管路发生堵塞。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本技术提供的惰性气体加热装置的结构示意图；
[0027]图2是本技术提供的加热管的剖面示意图；
[0028]附图标记：1：进气管；2：加热管；21：PTC层；22：第一不锈钢层；23：第二不锈钢层；24：热管层；25：保温层；3：出气管。
具体实施方式
[0029]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]下面结合图1和图2描述本技术实施例的惰性气体加热装置。
[0032]如图1和图2所示，本技术实施例提供的惰性气体加热装置，包括：进气管1、出
气管3和加热管2。
[0033]进气管1和出气管3设于加热管2相对的两端，进气管1用于与气源连接，出气管3用于与废气处理设备的流通管路连接；加热管2包括PTC层21，加热管2用于与电源连接。
[0034]具体地，PTC材料是正向温度系数半导体材料，采用PTC材料制作的PTC加热件，对PTC加热件施加交流或直流电压，PTC材料的温度低于居里温度，阻值小，电流大，可用于加热；PTC材料的温度大于居里温度后，阻值急剧增大，电流下降至稳定值，温度开始下降，由此可达到自动控制温度、恒温的目的。PTC加热件具有自动控温功能，使用过程中无需另外设置温度控制单元。
[0035]废气处理设备内具有用于废气流通的流通管路，废气在流通管理中流动，废气的温度低于其结晶温度，废气会发生结晶现象，堵塞管道，为避免管道堵塞，现有技术中，通常是在易堵塞位置的前端通入热的惰性气体，保障废气的温度不低于其结晶温度，惰性气体通常采用氮气。
[0036]现有技术中，废气处理设备中使用的用于加热惰性气体的加热器为电阻丝加热器，电阻丝加热器包括电阻丝加热管、固态继电器、PID温控仪表以及温度传感器等元器件。固态继电器易出现击穿导通现象，需要增加超温断开加热电源模块进行保护，加热系统过度依赖闭环控制器，需要设置适宜的PID参数调节。整体结构复杂，需要设置单独的控制柜，电阻丝加热器的电气控制柜和废气处理设备的电气控制柜通过多根线缆连接，安装繁琐。
[0037]废气处理设备中向流通管路内通入的氮气的温度不需要精确控制，只要满足氮气的温度稳定在目标温度范围内，目标本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种惰性气体加热装置，其特征在于，包括：进气管、出气管和加热管；所述进气管和所述出气管设于所述加热管相对的两端，所述进气管用于与气源连接，所述出气管用于与废气处理设备的流通管路连接；所述加热管包括PTC层，所述加热管用于与电源连接。2.根据权利要求1所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述加热管还包括第一不锈钢层和第二不锈钢层；所述第一不锈钢层和所述第二不锈钢层均与所述PTC层同轴设置，所述第一不锈钢层设于所述PTC层的内侧，所述第二不锈钢层设于所述PTC层的外侧。3.根据权利要求2所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述加热管还包括热管层；所述热管层嵌设于所述第一不锈钢层。4.根据权利要求2所述的惰性气体加热装置，其特征在于，所述加热管还包括保温层；所述保温层套设于所述第二不锈钢层。5.根据权利要求1所述的惰性气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：王松，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：