一种掩膜板清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种掩膜板清洗装置，包括输送轨道及夹持臂，沿输送轨道延伸方向，依次设有清洗液浸泡槽、冲刷槽、置换液浸泡槽及干燥槽，还包括一清洗液蒸馏装置和一置换液蒸馏装置；冲刷槽内设置一上下移动机构，且底部连接有一第一存储槽，上下移动机构包括一L型夹持支架及一驱动机构；清洗液蒸馏装置与清洗液浸泡槽通过循环管路连接，置换液蒸馏装置与置换液浸泡槽通过循环管路连接，置换液蒸馏装置的进液端还通过管路连接第一存储槽，出液端连接清洗液蒸馏装置和一第四存储槽，第四存储槽的出液端通过管路连接于冲刷槽的进液端。本实用新型专利技术提高掩膜板清洗节拍时间，降低药液生产配置，节约生产成本，同时降低药液受污染风险，进而提高掩膜板清洗品质。进而提高掩膜板清洗品质。进而提高掩膜板清洗品质。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板清洗装置


[0001]本技术涉及掩膜板清洗领域，尤其涉及一种掩膜板清洗装置。

技术介绍

[0002]在目前OLED真空蒸镀制程中，蒸镀材料经过高温蒸发后透过掩膜板上的开孔沉积到玻璃基板上形成镀膜，最终实现OLED发光。掩膜板决定基板成膜区域，故其设计及使用维护十分重要。蒸镀过程中随着材料的堆积，掩膜板表面膜厚逐渐增加，掩膜板上的开孔沉膜有效区则逐渐减小，特别是FineMetalMask(高精细金属掩膜板)，随着膜厚的增加，掩膜板上的掩膜条下垂量亦在增加，从而影响基板成膜位置精度及加剧shadoweffect(阴影效应)。现掩膜板一般依据膜厚管控定期下机进行清洗，掩膜板的清洗效果也直接影响蒸镀器件品质及良率。
[0003]目前金属掩膜板清洗机一般采用多槽清洗液浸泡方式进行清洗如图1所示，其机构主要由输送轨道1＇、夹持臂2＇、有机材料清洗液浸泡槽3＇、第一有机溶剂置换液浸泡槽4＇、第二有机溶剂置换液浸泡槽5＇及干燥槽6＇组成，清洗液主要分为两类：有机材料清洗液(如:N
‑
甲基呲咯烷酮)和有机溶剂置换液(如:氢氟醚类溶液)。有机材料清洗液作用为去除掩膜板表面附着的有机材料；有机溶剂置换液作用为去除掩膜板上残留的有机材料清洗液，且有机溶剂置换液本身具备高挥发性，理论清洗后掩膜板上将无药液残留。
[0004]目前的清洗装置及方式存在如下问题：
[0005]1、掩膜板通过有机材料清洗液浸泡后，因有机材料清洗液油状粘稠性质，掩膜板200脱离清洗槽后依然附带大量有机溶剂(如图2)，需长时间静置滴液，影响清洗节拍；且掩膜板框架300上有多个夹持凹槽301(如图3)，此部分无法通过静置滴液消除，导致大量有机材料清洗液直接污染有机溶剂置换液浸泡槽。
[0006]2、有机溶剂置换槽中有机材料清洗液浓度升高后，会导致有机溶剂置换液清洗能力下降，增加掩膜板表面有机材料清洗液残留风险，影响掩膜板清洗品质，如引起掩膜板表面凸点及局部药液残留。
[0007]3、有机溶剂置换液具有高挥发性，现浸泡清洗方式至少需配置两槽有机溶剂置换液，且有机溶剂置换液受污染风险高，药液使用寿命不稳定，极大增加了药液使用成本。

技术实现思路

[0008]本技术要解决的技术问题，在于提供了一种掩膜板清洗装置，提高掩膜板清洗节拍时间，降低药液生产配置，节约生产成本，同时降低药液受污染风险，进而提高掩膜板清洗品质。
[0009]本技术是这样实现的：一种掩膜板清洗装置，包括输送轨道及移动设置于所述输送轨道上的夹持臂，沿所述输送轨道延伸方向，依次设有清洗液浸泡槽、冲刷槽、置换液浸泡槽及干燥槽，所述清洗装置还包括一清洗液蒸馏装置和一置换液蒸馏装置；所述冲刷槽内设置一上下移动机构，且底部的出液端连接有一第一存储槽，所述冲刷槽内壁四周
均匀分布有复数个喷嘴，所述喷嘴的流量大小可调，所述上下移动机构包括一L型夹持支架及一驱动机构，所述夹持支架设置于所述冲刷槽内部，所述驱动机构设置于所述冲刷槽外部并驱动所述夹持支架上下移动；所述清洗液蒸馏装置与所述清洗液浸泡槽通过循环管路连接，所述置换液蒸馏装置与所述置换液浸泡槽通过循环管路连接；所述置换液蒸馏装置的进液端还通过管路连接第一存储槽，出液端连接所述清洗液蒸馏装置和一第四存储槽，所述第四存储槽的出液端通过管路连接于所述冲刷槽的进液端。
[0010]进一步的，所述清洗液浸泡槽的进液端通过管路连接有一第二存储槽，所述置换液浸泡槽的进液端通过管路连接有一第三存储槽。
[0011]进一步的，所述L型夹持支架包括一L型底座及设置于所述L型底座横板上的夹持组件，所述L型底座的竖板上设有一连接件，所述连接件连接于所述驱动机构上。
[0012]进一步的，所述干燥槽为真空干燥槽。
[0013]本技术的优点在于：
[0014]1、通过设置冲刷槽，减少掩膜板滴液时间，可减少掩膜板清洗节拍时间，提高机台掩膜板清洗效率，降低单块掩膜板清洗成本；所述冲刷槽内壁四周均匀分布有复数个喷嘴，所述喷嘴的流量大小可调，可快速冲刷掉附着在掩膜板上(含夹持凹槽处)的有机材料清洗液，极大降低了有机材料清洗液直接污染置换液浸泡槽的风险，有利提升置换液浸泡槽中有机溶剂置换液的使用寿命以及掩膜板清洗品质；在冲刷槽内部设置一个上下移动机构，形成掩膜板与冲刷槽内清洗液的相对运动，可以有效带走掩膜板表面残留的溶剂。
[0015]2、冲刷槽不采用药液浸泡方式，极大降低了机台药液配置，同时冲刷槽的循环管路上增设了置换液蒸馏装置，可有效蒸馏回收混合药液，极大降低了药液清洗使用成本。
附图说明
[0016]下面参照附图结合实施例对本技术作进一步的说明。
[0017]图1为现有技术中掩膜板清洗装置结构示意图。
[0018]图2为现有技术中掩膜板上附着有机材料清洗液的结构示意图。
[0019]图3为现有技术中掩膜板框架夹持凹槽内附着有机材料清洗液的结构示意图。
[0020]图4为本技术一种掩膜板清洗装置结构示意图。
[0021]图5为本技术冲刷槽内部正面结构示意图。
[0022]图6为本技术冲刷槽内部侧面结构示意图。
[0023]图7为本技术清洗液蒸馏装置和置换液蒸馏装置蒸馏循环结构示意图。
[0024]附图标号说明：输送轨道1＇、夹持臂2＇、有机材料清洗液浸泡槽3＇、第一有机溶剂置换液浸泡槽4＇、第二有机溶剂置换液浸泡槽5＇及干燥槽6＇、清洗装置100、掩膜板200、输送轨道1、夹持臂2、清洗液浸泡槽3、第二存储槽31、冲刷槽4、上下移动机构41、L型夹持支架411、L型底座4111、夹持组件4112、连接件4113、第一存储槽42、喷嘴43、第四存储槽44、置换液浸泡槽5、第三存储槽51、干燥槽6、清洗液蒸馏装置7、置换液蒸馏装置8。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳
动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]请参阅图4至图7所示，本技术一种掩膜板清洗装置100，包括输送轨道1及移动设置于所述输送轨道1上的夹持臂2，沿所述输送轨道1延伸方向，依次设有清洗液浸泡槽3、冲刷槽4、置换液浸泡槽5及干燥槽6，所述清洗装置100还包括一清洗液蒸馏装置7和一置换液蒸馏装置8；所述冲刷槽4内设置一上下移动机构41，且底部的出液端连接有一第一存储槽42，用于存储冲刷掩膜板后的混合液，所述冲刷槽4内壁四周均匀分布有复数个喷嘴43，所述喷嘴的流量大小可调，所述上下移动机构41包括一L型夹持支架411及一驱动机构(未图示)，所述L型夹持支架411设置于所述冲刷槽4内部，所述L型夹持支架411包括一L型底座4111及设置于所述L型底座4111横板上的夹持组件4112，所述夹持组件4112用于夹持固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板清洗装置，其特征在于：包括输送轨道及移动设置于所述输送轨道上的夹持臂，沿所述输送轨道延伸方向，依次设有清洗液浸泡槽、冲刷槽、置换液浸泡槽及干燥槽，所述清洗装置还包括一清洗液蒸馏装置和一置换液蒸馏装置；所述冲刷槽内设置一上下移动机构，且底部的出液端连接有一第一存储槽，所述冲刷槽内壁四周均匀分布有复数个喷嘴，所述喷嘴的流量大小可调，所述上下移动机构包括一L型夹持支架及一驱动机构，所述夹持支架设置于所述冲刷槽内部，所述驱动机构设置于所述冲刷槽外部并驱动所述夹持支架上下移动；所述清洗液蒸馏装置与所述清洗液浸泡槽通过循环管路连接，所述置换液蒸馏装置与所述置换液浸泡槽通过循环管路连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：方志伟，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：