太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统技术方案

本实用新型专利技术的目的是提供一种太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，属于太阳能硅片表面微处理技术领域，涉及一种在太阳能硅片清洗制绒过程中的新型加热控温系统。该系统包括有用以实现太阳能硅片制绒目的的加热槽，设置在前述的加热槽中用于加热的加热管，与加热管相连通，通过调节流进加热管的电流大小来实现控温功能的温控器。该系统采用了新型加热控温系统，可以有效地控制在太阳能硅片制绒的过程中，加热槽的工艺温度精度，及稳定性。并且有效地提高了设备的工作能力，单台每小时可处理２４００片硅片以上，同时还保证了单晶硅绒面制作的质量。该系统硬件改造结构简单，在不增加成本的基础上，使得生产工艺获得提升。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于太阳能硅片表面微处理

技术介绍
进入工厂的硅片是由硅片生产厂家通过切割硅锭而得到的，所以硅片表面会存在 一定的损伤(损伤层)，另外，硅片加工过程中难免会受到不同程度的污染。所以在进入正 式生产之前，我们必须先去除硅片表面的损伤层和污物。这里我们通过化学反应的方法用 20%的氢氧化钠溶液腐蚀硅片表面，剥离硅片表面的一层硅，从而达到去除损伤层的目的。 然后再用较稀的氢氧化钠溶液来制作绒面，其原理是氢氧化钠对硅片表面腐蚀速度不同， 从而导致硅片表面形成凹凸不平的状态，这就是所谓的绒面。绒面的作用是使光线在硅片 表面发生多次反射，从而增加光线射入硅片的几率，硅片相应的得到更多的能量。然后，我 们采用酸洗(盐酸)的办法去除硅片表面的污垢，最后用去离子水冲洗硅片、烘干。由于碱腐蚀硅片后会产生大量热量，急速变化的温度不利于硅片的表面制绒， 温度控制便成为了硅系列太阳能电池生产过程中关键性工艺。经过多次反复实验，最 终结果表明当NaOH加热至85°C，浓度为25 %时去损伤速度最快、效果最好；工艺要求 NaSiO NaOH在1 3. 5到1 3之间，NaOH IPA在1 6左右。NaOH浓度要求在2% 4%之间调整。制绒的最佳工作温度在83°C 士 1°C。温度太低和IPA比例大小都不能制成 绒面，或者说在绒面形成之前硅片已经消耗完。IPA太多形不成绒面，它不能起调节晶向反 应速度的作用。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，用于提 供一种在太阳能硅片清洗制绒过程中的新型加热控温系统。一种太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，其特征在于，该系统包括有如下 组成部分加热槽，它是用以实现太阳能硅片制绒目的的槽体；加热管，它是电热型管状加热结构，设置在前述的加热槽中；温控器，它与前述的加热管相连通，是通过调节通过加热管的电流大小来实现控 温功能的温度控制器，同时设置有温度传感器，以选择目标温度值。进一步，所述的该太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统还具有如下技术特 征所述的加热槽，作为一种典型的实施例选择溢流槽结构。所述的加热槽，它还设置有制冷系统。所述的加热槽，在其四周还设置有波纹盘管。所述的加热槽，它还设有用以液位高低调节的配液、补液用接口。所述的加热管，它是与若干支加热管，共同采用交叉环形平铺均勻地分布在加热槽下方的。所述的温控器，它是采用可控硅加热技术、油浴加热以及动态平衡控制技术原理 来实现温控的。本技术的优点在于本技术所述的一种太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，涉及到太阳能 硅片生产过程中，对硅片进行表面处理以增加其吸收太阳能光线面积以提高电池片效率， 优化硅片制绒技术的方案。该系统采用了新型加热控温系统，可以有效地控制在太阳能硅 片制绒的过程中，加热槽的工艺温度精度，及稳定性。并且有效地提高了设备的工作能力， 单台每小时可处理2400片硅片以上，同时还保证了单晶硅绒面制作的质量。该系统硬件改 造结构简单，在不增加成本的基础上，使得生产工艺获得提升。附图说明图1是太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统的结构示意图。具体实施方式如前所述该太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统100，其特征在于，该系统包 括有如下组成部分加热槽110，它是用以实现太阳能硅片制绒目的的槽体；加热管120，它是电热型管状加热结构，设置在前述的加热槽中；温控器130，它与前述的加热管120相连通，是通过调节通过加热管120的电流大 小来实现控温功能的温度控制器，同时设置有温度传感器，以选择目标温度值。进一步，所述的该太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统还具有如下技术特 征所述的加热槽110，作为一种典型的实施例选择溢流槽结构。所述的加热槽110，它还设置有制冷系统。所述的加热槽110，在其四周还设置有波纹盘管。所述的加热槽110，它还设有用以液位高低调节的配液、补液用接口。所述的加热管120，它是与若干支加热管，共同采用交叉环形平铺均勻地分布在加 热槽110下方的。所述的温控器130，它是采用可控硅加热技术、油浴加热以及动态平衡控制技术原 理来实现温控的。图1的说明参图1中所示图中展示了该太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统100的主 要结构，加热管120采用交叉环形平铺在加热槽110的下方，将加热区域平铺到槽底的任何 一个角落；一方面能达到均勻加热的目的，另一方面，能够克服塑料加热器使用寿命底的缺 点。温控器130与加热管120相连接，采用可控硅技术，通过调节流进加热管120的电流大 小来实现控温功能。在加热槽110结构上，采用溢流槽结构，溢流出的废液汇入排废管道为防止反应 雾过渡挥发，加热槽110槽体设有左右开启盖，塑料气缸控制开合。在气缸伸出杆上设有保4护套，防止反应雾滴落在伸出杆上面；考虑到兼容单晶及多晶硅片的清洗要求，加热槽110 内设置有单独的加热和制冷系统；加热槽110槽体底部设温度控制(包括防酸热偶)，保证 完全满足工作温度需要，同时最大限度地缩短升温时间以提高生产效率；温控器130的设 定温度可根据工艺要求调节，同时我们的设备采用油浴加热以及动态平衡控制技术，控温 精度为士0. 5°C ；加热槽110内四周还设有波纹盘管，可通入冷却水对槽内溶液制冷，冷却 水由外置的恒温水循环系统提供；腐蚀时间可在触摸屏界面中设定、调整；加热槽110内设 有配液、补液用接口，液位高低可调节，一方面要求能够控制配液时DI水容积和NaOH的容 积，另一方面还可控制补液容积。 以上是对本技术的描述而非限定，基于本技术思想的其它实施方式，均 在本技术的保护范围之中。权利要求一种太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，其特征在于，该系统包括有如下组成部分加热槽，它是用以实现太阳能硅片制绒目的的槽体；加热管，它是电热型管状加热结构，设置在前述的加热槽中；温控器，它与前述的加热管相连通，是用来控制加热管温度的温度控制器。2.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，其特征在于所 述的加热槽，选择溢流槽结构。3.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，其特征在于所 述的加热槽，它还设置有制冷系统。4.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，其特征在于所 述的加热槽，在其四周还设置有波纹盘管。5.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，其特征在于所 述的加热槽，它还设有用以液位高低调节的配液、补液用接口。6.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，其特征在于所 述的加热管，它是与若干支加热管，共同采用交叉环形平铺均勻地分布在加热槽下方的。7.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，其特征在于在 所述的温控器上，还设置有用以选择目标温度值的温度传感器。专利摘要本技术的目的是提供一种太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，属于太阳能硅片表面微处理
，涉及一种在太阳能硅片清洗制绒过程中的新型加热控温系统。该系统包括有用以实现太阳能硅片制绒目的的加热槽，设置在前述的加热槽中用于加热的加热管，与加热管相连通，通过调节流进加热管的电流大小来实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能硅片清洗制绒中新型加热控温系统，其特征在于，该系统包括有如下组成部分：　　加热槽，它是用以实现太阳能硅片制绒目的的槽体；　　加热管，它是电热型管状加热结构，设置在前述的加热槽中；　　温控器，它与前述的加热管相连通，是用来控制加热管温度的温度控制器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙世刚，
申请(专利权)人：上海圣微电子科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]