一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法技术

本发明专利技术提出的一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法，涉及金属掩膜版清洗领域。该伴洗治具包括框体，框体的中部为上下贯通的开口；还包括吸附杆，吸附杆具有磁性，若干吸附杆平行布设在框体中部的开口处；吸附杆设置在框体的上侧和/或下侧。清洗方法步骤包括：准备上述的伴洗治具；将伴洗治具与掩膜版共同浸没在清洗池中的清洗液内；优选地，将伴洗治具水平置于掩膜版下方，掩膜版水平置于伴洗治具的上方，或者掩膜版竖立置于伴洗治具的上方；清洗。将本发明专利技术应用于金属掩膜版的清洗，能够优化金属掩膜版清洗的效率和效果，降低清洗液的更换频次以及更换清洗液所投入的成本。频次以及更换清洗液所投入的成本。频次以及更换清洗液所投入的成本。

【技术实现步骤摘要】
一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法


[0001]本专利技术涉及金属掩膜版清洗领域，尤其涉及一种金属掩膜版的伴洗治具及清洗方法。

技术介绍

[0002]OLED显示装置由于具有自主发光、色彩鲜艳、低功耗、广视角等优点被应用的越来越广泛。目前，制作OLED显示面板时普遍采用蒸镀技术，蒸镀过程中，金属掩膜版(Metal Mask，简称Mask)可以有效控制有机材料沉积在基板上的位置，因此，在整个OLED显示面板生产工艺中金属掩膜版扮演着极其重要的角色。
[0003]在金属掩膜版的生产和使用过程中，常常需要对金属掩膜版表面的金属碎屑、油污等脏污进行清洗。针对掩膜版的清洗，一般的方式是将金属掩膜版浸没到清洗液中，然后借助超声波产生高频振动进行清洗。这种方式虽然能够有效地清除掩膜版表面的脏污，但是一些如金属碎屑等杂质会进入清洗液中，并在清洗液中富集，这必然会影响到清洗液的质量，造成后续的清洗效率和清洁效果变差，以及增加清洗液损耗。
[0004]因此，上述问题亟待解决。

技术实现思路

[0005]为了至少解决上述现有技术中的问题之一，本专利技术提供了一种金属掩膜版的伴洗治具，该伴洗治具包括：
[0006]框体，框体的中部为上下贯通的开口；以及
[0007]吸附杆，吸附杆具有磁性，若干吸附杆平行布设在框体中部的开口处；
[0008]吸附杆设置在框体的上侧和/或下侧。
[0009]作为进一步的设计，所述的吸附杆包括套管和磁芯，套管至少一端具有供磁芯进出的管口，磁芯安装在套管内；
[0010]优选地，套管的管口处设置有堵头。
[0011]作为进一步的设计，所述套管和所述堵头的材质为不易被磁化的金属或非金属；
[0012]所述框体的材质为不易被磁化的金属或非金属。
[0013]作为进一步的设计，所述吸附杆可拆卸地安装在所述框体上。
[0014]作为进一步的设计，所述框体的框边上设置有若干安装槽，安装槽两两对位分布；
[0015]安装槽包括内槽和外槽；
[0016]所述吸附杆的两端分别卡装在相应安装槽的内槽中；
[0017]外槽内设置有压件，压件与框体之间可拆卸连接。
[0018]作为进一步的设计，所述框体的上侧和下侧均布设有所述的吸附杆；
[0019]处在框体上侧的吸附杆与处在框体下侧的吸附杆在水平方向上交替错位分布。
[0020]作为进一步的设计，所述框体的上侧和下侧均布设有所述的吸附杆；
[0021]处在框体上侧的吸附杆的宽度方向与处在框体下侧的吸附杆的宽度方向互为平
行或者垂直。
[0022]以及
[0023]本专利技术还提供了一种金属掩膜版的清洗方法，步骤包括：
[0024]S10、准备伴洗治具，所述伴洗治具为上述的金属掩膜版的伴洗治具；
[0025]S20、将伴洗治具与掩膜版共同浸没在清洗池中的清洗液内，伴洗治具水平置于掩膜版下方；
[0026]优选地，掩膜版水平置于伴洗治具的上方，或者掩膜版竖立置于伴洗治具的上方；
[0027]S30、清洗。
[0028]作为进一步的设计，将清洗后的所述掩膜版先于所述伴洗治具从所述清洗池内取出；
[0029]从清洗池取出掩膜版之后，将伴洗治具也从清洗池中取出，再次清洗掩膜版时，重新将伴洗治具与掩膜版共同浸没到清洗池内的清洗液中；或者，
[0030]从清洗池取出掩膜版之后，对掩膜版的清洗效果进行检测：
[0031]若检测结果表明清洗效果未达到预先设定的合格标准，则将掩膜版重新浸没在清洗池中的清洗液内进行清洗，重复操作直至清洗效果达标，并记录清洗次数和单次清洗时长和清洗次数；
[0032]若检测结果表明清洗效果已达到预先设定的合格标准，则投入下一批掩膜版进行清洗，或者结束清洗并取出伴洗治具。
[0033]作为进一步的设计，根据记录的所述单次清洗时长和清洗次数，重新确定所述S30步骤中清洗的时长，并应用于后续清洗。
[0034]本专利技术的有益效果为：
[0035]1)采用本专利技术的伴洗治具与掩膜版一同没入清洗池中的清洗液内进行清洗，伴洗治具上的吸附杆能够吸附金属掩膜版上被清洗下来并进入清洗液的金属碎屑，从而防止金属碎屑在清洗液中越积越多，避免造成后续的清洗效率和清洁效果变差以及增加清洗液损耗；
[0036]2)本专利技术提供的金属掩膜版的清洗方法，不仅具有高效的清洗效率，能够长时间维持清洗液的洁净，降低清洗液的更换频次以及更换清洗液所投入的成本。
[0037]另，本专利技术的其他附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0038]图1为一种本专利技术的伴洗治具的结构示意图；
[0039]图2为图1中的伴洗治具的框体的结构示意图；
[0040]图3为图2中A位置的局部放大视图；
[0041]图4为不同实施方式的吸附杆的结构示意图；
[0042]图5为另一种本专利技术的伴洗治具的结构示意图；
[0043]图6为吸附杆在框体上的一种排布方式示意图；
[0044]图7为吸附杆在框体上的另一种排布方式示意图；
[0045]图8为伴洗治具与掩膜版伴洗的一种实施方式示意图；
[0046]图9为伴洗治具与掩膜版伴洗的另一种实施方式示意图
[0047]图中：1、框体；11、框边；12、安装槽；121、内槽；122、外槽；
[0048]2、吸附杆；21、套管；22、磁芯；23、堵头；
[0049]3、压件；
[0050]4、掩膜版；5、清洗池；100、伴洗治具。
具体实施方式
[0051]为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本专利技术作进一步地详细描述，显然，以下所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。作为参考，以下的记载事项及附图为用于帮助理解本专利技术的简要示例，而并非用于限定本专利技术的技术范围。换句话说，以下说明的实施例可能具有多种变形，这些变形属于本专利技术的技术思想范围内，本专利技术所属
的普通技术人员可通过以下的说明轻松理解本专利技术的技术思想。下面结合附图和实施例，对本专利技术作进一步说明：
[0052]参照附图1，示出了本公开的伴洗治具的一种立体结构，所示的伴洗治具包括框体1和吸附杆2。其中：
[0053]框体1为中部具有开口的边框结构，开口上下贯通。这里需要指出的是，图1示出的矩形框仅仅是框体1的一种结构，框体1还可以有其它的结构，例如：框体1可以被设置成圆环形的框；或者，框体1还可以是两段相互平行的杆，此时框体1中部的开口可以被理解为两个杆之间的间隔区域；等等。
[0054]吸附杆2具有多个，这些吸附杆2平行布设在框体1中部的开口处。例如，图1中示出了吸附杆2设置在框体1上侧的情况，图中的多个吸附杆2均匀布设在框体1中部的开口中。这里本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属掩膜版的伴洗治具，其特征在于，包括：框体(1)，框体(1)的中部为上下贯通的开口；以及吸附杆(2)，吸附杆(2)具有磁性，若干吸附杆(2)平行布设在框体(1)中部的开口处；吸附杆(2)设置在框体(1)的上侧和/或下侧。2.根据权利要求1所述的金属掩膜版的伴洗治具，其特征在于，所述的吸附杆(2)包括套管(21)和磁芯(22)，套管(21)至少一端具有供磁芯(22)进出的管口，磁芯(22)安装在套管(21)内；优选地，套管(21)的管口处设置有堵头(23)。3.根据权利要求2所述的金属掩膜版的伴洗治具，其特征在于，所述套管(21)和所述堵头(23)的材质为不易被磁化的金属或非金属；所述框体(1)的材质为不易被磁化的金属或非金属。4.根据权利要求1所述的金属掩膜版的伴洗治具，其特征在于，所述吸附杆(2)可拆卸地安装在所述框体(1)上。5.根据权利要求4所述的金属掩膜版的伴洗治具，其特征在于，所述框体(1)的框边(11)上设置有若干安装槽(12)，安装槽(12)两两对位分布；安装槽(12)包括内槽(121)和外槽(122)；所述吸附杆(2)的两端分别卡装在相应安装槽(12)的内槽(121)中；外槽(122)内设置有压件(3)，压件(3)与框体(1)之间可拆卸连接。6.根据权利要求1所述的金属掩膜版的伴洗治具，其特征在于，所述框体(1)的上侧和下侧均布设有所述的吸附杆(2)；处在框体(1)上侧的吸附杆(2)与处在框体(1)下侧的吸附杆(2)在水平方向上交替错位分布。7.根据权利要求1所述的金属掩膜版的伴洗治具，其特征在于，所述框体(1)的上侧和下侧均布设有所述的吸附杆(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡则凡，张蔡星，李成林，
申请(专利权)人：江苏高光半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：