一种晶圆多片取放倾斜抓手制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆多片取放倾斜抓手，包括固定于机械臂上的连接法兰；所述的连接法兰相对机械臂的另一端设置有基板；所述基板的若干端部设置有吸盘板；所述的吸盘板连接有吸盘。通过在连接法兰下设置基板，基板上的至少三个第一支撑悬臂，能够连接至少三个吸盘板以及吸盘，所以通过该设计在单次拿取过程中，能够同时抓取至少三片晶圆，可以完成晶圆研磨设备毛坯晶圆上料和成品晶圆下料机构复用，缩短上、下料时间周期，提高抛光生产效率，节约成本。节约成本。节约成本。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆多片取放倾斜抓手


[0001]本技术涉一种抓手，具体为晶圆多片取放倾斜抓手，属于晶圆研磨上、下料设备。

技术介绍

[0002]目前，在晶圆抛光设备生产过程中，分为人工上下料和自动上下料。当自动为抛光设备进行上下料时，根据抛光设备的实际生产工况，向抛光槽内自动上、下料时只能采用吸盘式机械手。现有的吸盘式机械手如附图2所示，但这种吸盘结构的缺陷在于：该晶圆抓手一次只能吸取一片晶圆为抛光设备进行上料或下料，导致上、下料过程中，单次抓取量小，用时较长，使用频次较高。所以有必要设计一种单次抓取数量更多，提高加工效率的抓手结构。
[0003]因此，有待进一步的改进。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术为克服现有技术中的缺陷提供一种晶圆多片取放倾斜抓手，有效提高抛光设备生产效率，缩短上、下料时间，节约生产成本，结构简单合理。
[0005]本技术可通过以下技术方案实现：
[0006]一种晶圆多片取放倾斜抓手，包括固定于机械臂上的连接法兰；所述的连接法兰相对机械臂的另一端设置有基板；所述基板的若干端部设置有吸盘板；所述的吸盘板连接有吸盘。
[0007]优选的，所述的基板包括至少三个第一悬臂支撑；每个所述的第一悬臂支撑相对连接法兰的端面倾斜设置；所述的吸盘板与第一悬臂支撑一一对应。
[0008]优选的，所述的第一悬臂支撑以连接法兰为中心放射状阵列；每个所述的第一悬臂支撑之间均匀分布；各第一悬臂支撑的相交处形成连接端面；所述的连接法兰固定于所述的连接端面上；第二悬臂支撑相对第一悬臂支撑倾斜；所述的吸盘板设置在所述第二悬臂支撑的端部。
[0009]优选的，所述的第一悬臂支撑、第二悬臂支撑与连接端面之间一体式设置。
[0010]优选的，所述的第一悬臂支撑和第二悬臂支撑一体设置；所述的第一悬臂支撑与连接端面分体设置，并通过固定件相接。
[0011]优选的，所述的吸盘板处于第二悬臂支撑的底部；所述的第一悬臂支撑与第二悬臂支撑之间上下错位分布，并通过弧面衔接板相接。
[0012]优选的，所述吸盘板的端面为弧面；所述的吸盘板上开设有气孔；所述的气孔四周环绕设置有装配孔；所述的吸盘连接于吸盘板底部。
[0013]优选的，所述的吸盘包括至少三个气道；所述的气道沿吸盘的径向延长方向设置；所述的吸盘与气孔相接。
[0014]本技术具备以下有益效果：通过在连接法兰下设置基板，基板上的至少三个
支撑悬臂，能够连接至少三个吸盘板以及吸盘，所以通过该设计在单次拿取过程中，能够同时抓取至少三片晶圆，可以完成晶圆研磨设备毛坯晶圆上料和成品晶圆下料机构复用，缩短上、下料时间周期，提高抛光生产效率，节约成本；同时，由于支撑悬臂采用倾斜式的设置，再配合机械臂的调整，在抓取时，已经吸取的晶圆不会与晶圆研磨设备发生干涉。
附图说明
[0015]图1为本技术的结构示意图。
[0016]图2为现有技术中的吸盘结构。
[0017]图中：1为连接法兰，2为基板，2.1为第一悬臂支撑，2.2为连接端面，3为第二悬臂支撑，3.1为气孔，3.2为装配孔，4为吸盘，4.1为气道，5为吸盘板。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]包括技术和科学术语的在这里使用的术语具有与本领域技术人员通常理解的术语相同的含义，只要不是不同地限定该术语。应当理解在通常使用的词典中限定的术语具有与现有技术中的术语的含义一致的含义。
[0020]实施例一
[0021]参见图1，一种晶圆多片取放倾斜抓手，包括固定于机械臂上的连接法兰1；所述的连接法兰1相对机械臂的另一端设置有基板2；所述基板2的若干端部设置有吸盘板5；所述的吸盘板3连接有吸盘4。
[0022]进一步的说，所述的基板2包括至少三个第一悬臂支撑2.1；每个所述的第一悬臂支撑2.1相对连接法兰1的端面倾斜设置；所述的吸盘板3与第一悬臂支撑2.1一一对应。
[0023]进一步的说，所述的第一悬臂支撑2.1以连接法兰为中心放射状阵列；每个所述第一的悬臂支撑2.1之间均匀分布；各第一悬臂支撑2.1的相交处形成连接端面2.2；所述的连接法兰1固定于所述的连接端面2.2上；第二悬臂支撑3相对悬臂支撑2.1倾斜。
[0024]具体的，在本实施例中，优选的采用三个第一悬臂支撑2.1连接第二悬臂支撑3，具有三个吸盘4的结构。在其他实施例中，也可对第一悬臂支撑2.1、第二悬臂支撑3的数量进行改变，进而改变吸盘4的数量。
[0025]同时，由于第一悬臂支撑2.1相对连接法兰1倾斜，并且第二悬臂支撑3相对第一悬臂支撑2.1倾斜，所以在进行抓取时，通过机械臂的调整姿态，能够让吸盘4处于与晶圆平齐的位置，完成抓取后再通过另外的吸盘4进行抓取，使得晶圆不能处于同一水平面，达到放置晶圆与研磨设备发生干涉的效果。
[0026]进一步的说，所述的第一悬臂支撑2.1与连接端面2.2之间一体式设置。
[0027]在本实施例中，第一悬臂支撑2.1与连接端面2.2一体成型，也就说整个基板为一体式的与连接法兰相接。
[0028]进一步的说，所述的吸盘板5处于第二悬臂支撑4的底端；所述的第一悬臂支撑2.1
与第二悬臂支撑4之间上下错位分布，并通过弧面衔接板相接。
[0029]具体的，以错位分布的方式，来使得第二悬臂支撑4相对悬臂支撑2.1的倾斜，更便于达到最佳的抓取姿态。
[0030]进一步的说，所述吸盘板3的端面为弧面；所述的吸盘板3上开设有气孔3.1；所述的气孔3.1四周环绕设置有装配孔3.2；所述的吸盘4连接于吸盘板3底部。
[0031]具体的，吸盘4通过气孔3.1与负压设备相接，对吸盘形成真空。
[0032]进一步的说，所述的吸盘4包括至少三个气道4.1；所述的气道4.1沿吸盘4的径向延长方向设置；所述的吸盘与气孔3.1相接。
[0033]实施例二
[0034]在本实施例中，所述的第一悬臂支撑2.1与连接端面2.2分体设置，并通过固定件相接。
[0035]本实施例与实施例一不同之处在于，基板采用分体结构，也就是第一悬臂支撑2.1与连接端面2.2通过螺栓等方式进行可拆卸式的连接。该方式属于常规技术手段，故不再赘述。
[0036]最后说明的是，以上实施例仅以说明本技术的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本技术进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本技术的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本技术技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本技术的权利要求范围当中。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：包括固定于机械臂上的连接法兰；所述的连接法兰相对机械臂的另一端设置有基板；所述基板的若干端部设置有吸盘板；所述的吸盘板连接有吸盘。2.根据权利要求1所述的一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：所述的基板包括至少三个第一悬臂支撑；每个所述的第一悬臂支撑相对连接法兰的端面倾斜设置；所述的吸盘板与第一悬臂支撑一一对应。3.根据权利要求2所述的一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：所述的第一悬臂支撑以连接法兰为中心放射状阵列；每个所述的第一悬臂支撑之间均匀分布；各第一悬臂支撑的相交处形成连接端面；所述的连接法兰固定于所述的连接端面上；第二悬臂支撑相对第一悬臂支撑倾斜；所述的吸盘板设置在所述第二悬臂支撑的端部。4.根据权利要求3所述的一种晶圆多片取放倾斜抓手，其特征在于：所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏声，陈柏柏，关仁杰，
申请(专利权)人：北京日扬弘创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：