一种晶圆手臂立式风干机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶圆手臂立式风干机构,包括风机外罩；风机外罩内设置有风刀组件；风刀组件的下方设置有阻风立板；阻风立板的下侧设置有阻风横板；阻风立板与风机外罩之间形成第一风腔和第二风腔；阻风横板与风机外罩之间形成第三风腔；第三风腔内设置有导风机构；第三风腔与负压管道相接。通过在风机外罩内设置风刀组件，以及阻风立板和阻风横板；从风刀组件向风机外罩内引入高速氮气气流，对晶圆和晶圆手臂同时进行洁净化的风干处理；在风干处理过程中，水流会向下低落于第三风当中排出；经过阻风立板和阻风横板进入到第一风腔、第二风腔和第三风腔，在导风机构的引导之下进行抽取排放，可合理疏导气流方向和三个风腔的风量，高效排出废气。高效排出废气。高效排出废气。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆手臂立式风干机构


[0001]本技术涉及一种风干机构，具体为一种晶圆手臂立式风干机构。

技术介绍

[0002]在目前的晶圆生产工艺中，经过研磨后的晶圆和晶圆手臂需要集中静置晾干表面所附着的水汽之后，再进入下一工序当中。这种方式的缺陷在于：采用自然风的方式风干效率低，用时较长；并且，从外部引入自然风的同时，也容易将外部杂质一同引入，附着于晶圆上；其次，现有技术是无法同时对晶圆手臂和晶圆进行风干的，意味着晶圆手臂自身携带的水汽容易直接下落或滴溅于晶圆上。
[0003]因此，有待进一步的改进。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本技术为克服现有技术中的缺陷提供一种晶圆手臂立式风干机构，同时对晶圆和晶圆手臂进行风干，缩短干燥时间，提高洁净程度，有效导出水流，排气方式合理。
[0005]一种晶圆手臂立式风干机构,包括风机外罩；所述的风机外罩内设置有风刀组件；所述风刀组件的下方设置有阻风立板；所述阻风立板的下侧设置有阻风横板；所述的阻风立板与风机外罩之间形成第一风腔和第二风腔；所述的阻风横板与风机外罩之间形成第三风腔；所述的第三风腔内设置有导风机构；所述的第三风腔与负压管道相接。
[0006]优选的，所述的风机外罩上侧设置有盖板；所述的风刀组件设置在盖板下侧；所述的盖板上开设有入口；所述的风刀组件包括风刀安装板；所述的风刀安装板两端设置有调节板；所述的风刀安装板上设置有风刀本体。
[0007]优选的，所述的入口的内部两侧设置有安装座；所述的调节板转动连接于安装座上；所述的调节板上开设有角度调节槽。
[0008]优选的，所述的阻风立板包括有两个；两个所述的阻风立板固定于风机外罩的两个内侧壁上，并处于调节板的下侧；所述风刀本体的出风端指向两个阻风立板之间。
[0009]优选的，所述的阻风立板和阻风横板均匀阵列有若干通风孔；所述的阻风立板竖向分布于风机外罩内；所述阻风立板与风机外罩的侧壁形成第一风腔和第二风腔。
[0010]优选的，所述的阻风横板横向分布在风机外罩内；所述的阻风立板和阻风横板相互垂直；两个所述的阻风立板之间相互平行。
[0011]优选的，所述的阻风横板与风机外罩的底部形成第三风腔；所述的第三导风腔底部倾斜设置，并且于最低位置设置有出水口；所述的导风机构包括主板；所述的主板设置在阻风横板底部；所述的主板上开设有第一导风孔。
[0012]优选的，所述的导风机构包括设置在主板底部的副板；所述的副板沿主板的纵向或横向分布；所述的副板上开设有第二导风孔。
[0013]优选的，所述的第三风腔相对负压管道开设有接口。
[0014]本技术具备以下有益效果：通过在风机外罩内设置风刀组件，以及阻风立板和阻风横板；从风刀组件向风机外罩内引入高速氮气气流，对晶圆和晶圆手臂同时进行洁净化的风干处理；在风干处理过程中，水流会向下低落于第三风当中排出；待完成风干处理之后，经过阻风立板和阻风横板进入到第一风腔、第二风腔和第三风腔，在导风机构的引导之下进行抽取排放，可合理疏导气流方向和三个风腔的风量，更加高效的排出废气；同时，由于阻风立板和阻风横板及其通风孔的存在，可分散气流，防止氮气反射出风机外罩，有效降低环境污染的风险。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术的内部结构示意图。
[0017]图3为本技术另一方位的内部结构示意图。
[0018]图4为风刀组件的机构示意图。
[0019]图5为本技术的顶视图。
[0020]图中：1为风机外罩，2为风刀组件，2.1为风刀安装板，2.2为调节板，2.3为风刀本体，3为阻风立板，4为阻风横板，5为第一风腔，6为第二风腔，7为第三风腔，8为导风机构，8.1为主板，8.2为副板，8.11为第一导风孔，8.21为第二导风孔，9为负压管道，10为盖板，10.1为入口，11为出水口。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]包括技术和科学术语的在这里使用的术语具有与本领域技术人员通常理解的术语相同的含义，只要不是不同地限定该术语。应当理解在通常使用的词典中限定的术语具有与现有技术中的术语的含义一致的含义.
[0023]参见图1
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图5，一种晶圆手臂立式风干机构,包括风机外罩1；所述的风机外罩1内设置有风刀组件2；所述风刀组件2的下方设置有阻风立板3；所述阻风立板3的下侧设置有阻风横板4；所述的阻风立板3与风机外罩1之间形成第一风腔5和第二风腔6；所述的阻风横板4与风机外罩1之间形成第三风腔7；所述的第三风腔7内设置有导风机构8；所述的第三风腔7与负压管道9相接。
[0024]进一步的说，所述的风机外罩1上侧设置有盖板10；所述的风刀组件2设置在盖板10下侧；所述的盖板10上开设有入口10.1；所述的风刀组件2包括风刀安装板2.1；所述的风刀安装板2.1两端设置有调节板2.2；所述的风刀安装板2.1上设置有风刀本体2.3。
[0025]进一步的说，所述的入口10.1的内部两侧设置有安装座；所述的调节板2.2转动连接于安装座上；所述的调节板2.2上开设有角度调节槽。
[0026]具体的，风刀组件2主要由风刀安装板2.1、调节板2.2、风刀本体2.3构成。可以通过转动调节板2.2的方式，来调整风刀安装板2.1以及风刀本体2.3的角度。
[0027]进一步的说，所述的阻风立板3包括有两个；两个所述的阻风立板3固定于风机外罩1的两个内侧壁上，并处于调节板2.2的下侧；所述风刀本体2.3的出风端指向两个阻风立板3之间。
[0028]具体的，氮气由风刀本体2.3吹出至两个阻风立板3和阻风横板4之间，对晶圆及晶圆手臂进行风干，并经由阻风立板3进入第一风腔、第二风腔和第三风腔当中，最后经过导风机构向外抽送。
[0029]进一步的说，所述的阻风立板3和阻风横板4均匀阵列有若干通风孔；所述的阻风立板3竖向分布于风机外罩内；所述阻风立板3与风机外罩1的侧壁形成第一风腔和第二风腔。
[0030]进一步的说，所述的阻风横板4横向分布在风机外罩1内；所述的阻风立板3和阻风横板4相互垂直；两个所述的阻风立板之间相互平行。
[0031]具体的，第一风腔、第二风腔和第三风腔相互连通，处于第一风腔、第二风腔内的氮气也会进入到第三风腔当中，并在导风机构的疏导之下向外排放。同时，在通风孔的作用下，能够高速氮气气流的反射程度，避免泄露于风机外罩1外部。
[0032]进一步的说，所述的阻风横板4与风机外罩1的底部形成第三风腔7；所述的第三导风腔7底部倾斜设置，并且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆手臂立式风干机构,其特征在于：包括风机外罩；所述的风机外罩内设置有风刀组件；所述风刀组件的下方设置有阻风立板；所述阻风立板的下侧设置有阻风横板；所述的阻风立板与风机外罩之间形成第一风腔和第二风腔；所述的阻风横板与风机外罩之间形成第三风腔；所述的第三风腔内设置有导风机构；所述的第三风腔与负压管道相接。2.根据权利要求1所述的一种晶圆手臂立式风干机构,其特征在于：所述的风机外罩上侧设置有盖板；所述的风刀组件设置在盖板下侧；所述的盖板上开设有入口；所述的风刀组件包括风刀安装板；所述的风刀安装板两端设置有调节板；所述的风刀安装板上设置有风刀本体。3.根据权利要求2所述的一种晶圆手臂立式风干机构,其特征在于：所述的入口的内部两侧设置有安装座；所述的调节板转动连接于安装座上；所述的调节板上开设有角度调节槽。4.根据权利要求3所述的一种晶圆手臂立式风干机构,其特征在于：所述的阻风立板包括有两个；两个所述的阻风立板固定于风机外罩的两个内侧壁上，并处于调节板的下侧；所述风刀本体的出风端指向两个阻风立板之间。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：王宏声，郭占旗，葛成重，
申请(专利权)人：北京日扬弘创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：