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本实用新型涉及一种晶圆手臂立式风干机构,包括风机外罩；风机外罩内设置有风刀组件；风刀组件的下方设置有阻风立板；阻风立板的下侧设置有阻风横板；阻风立板与风机外罩之间形成第一风腔和第二风腔；阻风横板与风机外罩之间形成第三风腔；第三风腔内设置有导...
该专利属于北京日扬弘创科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京日扬弘创科技有限公司授权不得商用。

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