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本实用新型涉及一种晶圆多片取放倾斜抓手，包括固定于机械臂上的连接法兰；所述的连接法兰相对机械臂的另一端设置有基板；所述基板的若干端部设置有吸盘板；所述的吸盘板连接有吸盘。通过在连接法兰下设置基板，基板上的至少三个第一支撑悬臂，能够连接至少三...
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