平面靶材基体烧结用承载放置机构制造技术

本发明专利技术公开了平面靶材基体烧结用承载放置机构，涉及靶材基体生产技术领域，包括安装架，所述安装架的内壁滑动设置有若干个用于放置靶材基体的承托板，所述承托板上设置有若干个等距排布的定位单元，所述定位单元包括定位槽，所述定位槽的下方设置有若干个导引台，所述导引台的顶面倾斜设置并滑动连接有定位块，所述定位块的底部与导引台的顶面相互平行并贴合设置；本发明专利技术通过设置若干个承托板，实现对大批量靶材基体的同步装填，减少装填频次，提高烧结操作效率；通过设置定位单元对靶材基体进行限位，同时保证了各个靶材基体在承托板上的间距稳定，提高其排布均匀性，进而使得烧结操作使得受热均匀性。结操作使得受热均匀性。结操作使得受热均匀性。

【技术实现步骤摘要】
平面靶材基体烧结用承载放置机构


[0001]本专利技术涉及靶材基体生产
，具体是平面靶材基体烧结用承载放置机构。

技术介绍

[0002]烧结法是一种成熟的靶材制备方法，它是采用预压方式(或粉浆浇铸方式)制备高密度的靶材素坯，再在一定气氛和温度下对靶材素坯进行烧结，通过对烧结温度和烧结气氛的控制，使靶材素坯晶粒的生长得到有效控制达到靶材的高致密化及晶粒分布的均匀性。
[0003]在靶材烧结时，需要将待烧结的靶材素坯装填入承载器具上，再将横在器具送入烧结炉内进行烧结操作，现有的装填方式，普遍是通过热工将靶材素坯码放于单层的承载器具上，再将承载器具送入烧结炉，这种装填方式单次装填量低，使得需要频繁进行上下料操作，使得烧结加工的整体效率较低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供平面靶材基体烧结用承载放置机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]本专利技术提供一种平面靶材基体烧结用承载放置机构，包括安装架，所述安装架的内壁滑动设置有若干个用于放置靶材基体的承托板，所述承托板上设置有若干个等距排布的定位单元，所述定位单元包括定位槽，所述定位槽的下方固定连接有若干个导引台，所述导引台的顶面倾斜设置并滑动连接有定位块，所述定位块的底部与导引台的顶面相互平行并贴合设置。
[0007]作为本专利技术进一步的方案：所述安装架包括底板，所述底板的底部两侧均固定连接有垫高板，所述底板边沿的四角均固定连接有立柱，所述承托板的四个边角处均固定连接有对接套管，四个对接套管分别与四个立柱滑动连接，四个所述对接套管的中部均卡合连接有卡接板，所述卡接板的一侧固定连接有锁紧插杆，所述锁紧插杆的一端固定连接有锁紧片，所述立柱远离承托板的一侧开设有锁紧齿槽，所述锁紧片与锁紧齿槽卡合连接。
[0008]作为本专利技术进一步的方案：四个所述立柱的侧壁均开设有刻度线。
[0009]作为本专利技术进一步的方案：所述定位块一侧的顶部开设有导引斜面，所述定位块一侧的底部固定连接有延伸挡板。
[0010]作为本专利技术进一步的方案：所述承托板的四个边角处均设置有预支撑单元，所述预支撑单元包括活动槽，所述活动槽的内壁滑动连接有对接柱，所述立柱靠近承托板的一侧开设有若干个等距排布的对接孔，所述对接柱与对接孔对应设置。
[0011]作为本专利技术进一步的方案：所述活动槽的一侧开设有调节槽，所述调节槽内壁滑动连接有调节推板，所述调节推板的一端与对接柱的一侧固定连接，所述调节推板的一侧固定连接有挡尘板，所述调节槽的一端开设有收纳槽，所述挡尘板滑动连接于收纳槽内。
[0012]本专利技术还提供基于删上述承载放置机构的靶材放置方式，包括下列步骤：
[0013]步骤一：将若干个靶材基体分别放置于承托板上的若干个限位单元内；
[0014]步骤二：将完成靶材放置的承托板滑动装配于安装架上；
[0015]步骤三：另取一个承托板，重复步骤一和步骤二，使得安装架上装配有多个承托板；
[0016]步骤四：滑动调节各个承托板，使各承托板之间的间距一致，而后通过锁定机构对各承托板的位置进行锁定，完成靶材的放置操作。
[0017]作为本专利技术进一步的方案：在步骤一中，所述限位单元包括限位槽，限位槽的内壁滑动连接有若干个定位块，通过若干个滑动连接于限位槽内壁的限位块实现对靶材基体的限位。
[0018]作为本专利技术进一步的方案：若干个所述定位块的底部均固定连接有滑动块，所述滑动块的下方均设置有导引台，所述导引台的顶部和滑动块底部均设置为斜面，使得定位块在重力作用下向限位槽中心滑动，实现对靶材基体的接触限位，且在把靶材基体形变时，仍能够保持对靶材基体的稳定接触限位。
[0019]作为本专利技术进一步的方案：在步骤二中，所述安装架包括若干个立柱，所述锁紧件包括若干个对接套管，通过若干个对接套管与若干个立柱的滑动对接实现对承托板与安装架的滑动装配。
[0020]作为本专利技术进一步的方案：在步骤三中。通过若干个立柱上的刻度线实现对各个承托板间距的判断，通过锁紧片与锁紧齿槽的卡接实现对承托板的固定。
[0021]作为本专利技术进一步的方案：在步骤二中，承托板滑动装配于安装架上时，通过预支撑单元实现对承托板的承托限位，避免各承托板之间相互接触挤压，对靶材基体造成损伤。
[0022]作为本专利技术进一步的方案：所述预支撑单元包括对接柱，通过对接柱与立柱上的对接孔对接，实现对承托板的支撑。
[0023]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术通过设置若干个承托板，实现对大批量靶材基体的同步装填，减少装填频次，提高烧结操作效率；通过设置定位单元对靶材基体进行限位，避免了在烧结操作上下料的过程中靶材基体的移动，同时保证了各个靶材基体在承托板上的间距稳定，提高其排布均匀性，进而使得烧结操作使得受热均匀性；
[0024]本申请的定位单元，通过倾斜滑动配合的滑动块和导引台，使得定位块可在重力作用下向限位槽中心聚合，在不设置额外的驱动结构的条件下实现对靶材基体的抵推限位，且由于定位块的运动不借助额外动力，使得其对靶材基体的夹持作用力小，靶材与定位单元的接触面小，且不与承托板接触，使得其受到的摩擦力小，进而使得靶材基体不在烧结时因摩擦或抵推阻力产生开裂或形变，保证了靶材基体的烧结成型质量。
附图说明
[0025]图1为本专利技术的装填机构的立体图；
[0026]图2为本专利技术承托板的结构示意图；
[0027]图3为本专利技术定位单元的截面图；
[0028]图4为本专利技术预支撑单元的截面图。
[0029]图中：1、底板；2、立柱；3、承托板；4、定位槽；5、定位块；6、延伸挡板；7、滑动块；8、
导引台；9、对接孔；10、对接套管；11、锁紧插杆；12、调节推板；13、挡尘板；14、对接柱；15、锁紧齿槽；16、锁紧片。
具体实施方式
[0030]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0031]请参阅图1
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图4，本专利技术的实施例提供一种靶材基体烧结用装填机构，包括安装架，安装架的内壁滑动设置有若干个用于放置靶材基体的承托板3，通过设置若干个承托板3，实现对大批量靶材基体的同步装填，减少装填频次，提高烧结操作效率；
[0032]承托板3上设置有若干个等距排布的定位单元，定位单元包括定位槽4，定位槽4的下方固定连接有若干个导引台8，导引台8的顶面倾斜设置并滑动连接有定位块5，定位块5的底部固定连接有滑动块7，导引台8的顶部和滑动块7底部均设置为斜面，滑动块7的底部与导引台8的顶面相互平行并贴合设置；通过设置定位单元对靶材基体进行限位，避免了在烧结操作本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.平面靶材基体烧结用承载放置机构，其特征在于，包括安装架，所述安装架的内壁滑动设置有若干个用于放置靶材基体的承托板(3)，所述承托板(3)上设置有若干个等距排布的定位单元，所述定位单元包括定位槽(4)，所述定位槽(4)的下方设置有若干个导引台(8)，所述导引台(8)的顶面倾斜设置并滑动连接有定位块(5)，所述定位块(5)的底部与导引台(8)的顶面相互平行并贴合设置。2.根据权利要求1所述的平面靶材基体烧结用承载放置机构，其特征在于，所述安装架包括底板(1)，所述底板(1)的底部两侧均固定连接有垫高板，所述底板(1)边沿的四角均固定连接有立柱(2)，所述承托板(3)的四个边角处均固定连接有对接套管(10)，四个对接套管(10)分别与四个立柱(2)滑动连接，四个所述对接套管(10)的中部均卡合连接有卡接板，所述卡接板的一侧固定连接有锁紧插杆(11)，所述锁紧插杆(11)的一端固定连接有锁紧片(16)，所述立柱(2)远离承托板(3)的一侧开设有锁紧齿槽(15)，所述锁紧片(16)与锁紧齿槽(15)卡合连接。3.根据权利要求2所述的平面靶材基体烧结用承载放置机构，其特征在于，四个所述立柱(2)的侧壁均开设有刻度线。4.根据权利要求1所述的平面靶材基体烧结用承载放置机构，其特征在于，所述定位块(5)一侧的顶部开设有导引斜面，所述定位块(5)一侧的底部固定连接有延伸挡板(6)。5.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：高建成，张莉兰，徐涛，钟小华，张廷，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：