平面靶材基体烧结用承载放置机构制造技术

本发明专利技术公开了平面靶材基体烧结用承载放置机构，涉及靶材基体生产技术领域，包括安装架，所述安装架的内壁滑动设置有若干个用于放置靶材基体的承托板，所述承托板上设置有若干个等距排布的定位单元，所述定位单元包括定位槽，所述定位槽的下方设置有若干个导引台，所述导引台的顶面倾斜设置并滑动连接有定位块，所述定位块的底部与导引台的顶面相互平行并贴合设置；本发明专利技术通过设置若干个承托板，实现对大批量靶材基体的同步装填，减少装填频次，提高烧结操作效率；通过设置定位单元对靶材基体进行限位，同时保证了各个靶材基体在承托板上的间距稳定，提高其排布均匀性，进而使得烧结操作使得受热均匀性。结操作使得受热均匀性。结操作使得受热均匀性。

【技术实现步骤摘要】
平面靶材基体烧结用承载放置机构


[0001]本专利技术涉及靶材基体生产
，具体是平面靶材基体烧结用承载放置机构。

技术介绍

[0002]烧结法是一种成熟的靶材制备方法，它是采用预压方式(或粉浆浇铸方式)制备高密度的靶材素坯，再在一定气氛和温度下对靶材素坯进行烧结，通过对烧结温度和烧结气氛的控制，使靶材素坯晶粒的生长得到有效控制达到靶材的高致密化及晶粒分布的均匀性。
[0003]在靶材烧结时，需要将待烧结的靶材素坯装填入承载器具上，再将横在器具送入烧结炉内进行烧结操作，现有的装填方式，普遍是通过热工将靶材素坯码放于单层的承载器具上，再将承载器具送入烧结炉，这种装填方式单次装填量低，使得需要频繁进行上下料操作，使得烧结加工的整体效率较低。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供平面靶材基体烧结用承载放置机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]本专利技术提供一种平面靶材基体烧结用承载放置机构，包括安装架，所述安装架的内壁滑动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.平面靶材基体烧结用承载放置机构，其特征在于，包括安装架，所述安装架的内壁滑动设置有若干个用于放置靶材基体的承托板(3)，所述承托板(3)上设置有若干个等距排布的定位单元，所述定位单元包括定位槽(4)，所述定位槽(4)的下方设置有若干个导引台(8)，所述导引台(8)的顶面倾斜设置并滑动连接有定位块(5)，所述定位块(5)的底部与导引台(8)的顶面相互平行并贴合设置。2.根据权利要求1所述的平面靶材基体烧结用承载放置机构，其特征在于，所述安装架包括底板(1)，所述底板(1)的底部两侧均固定连接有垫高板，所述底板(1)边沿的四角均固定连接有立柱(2)，所述承托板(3)的四个边角处均固定连接有对接套管(10)，四个对接套管(10)分别与四个立柱(2)滑动连接，四个所述对接套管(10)的中部均卡合连接有卡接板，所述卡接板的一侧固定连接有锁紧插杆(11)，所述锁紧插杆(11)的一端固定连接有锁紧片(16)，所述立柱(2)远离承托板(3)的一侧开设有锁紧齿槽(15)，所述锁紧片(16)与锁紧齿槽(15)卡合连接。3.根据权利要求2所述的平面靶材基体烧结用承载放置机构，其特征在于，四个所述立柱(2)的侧壁均开设有刻度线。4.根据权利要求1所述的平面靶材基体烧结用承载放置机构，其特征在于，所述定位块(5)一侧的顶部开设有导引斜面，所述定位块(5)一侧的底部固定连接有延伸挡板(6)。5.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：高建成，张莉兰，徐涛，钟小华，张廷，
申请(专利权)人：先导薄膜材料安徽有限公司，
类型：发明
国别省市：