温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了平面靶材基体烧结用承载放置机构，涉及靶材基体生产技术领域，包括安装架，所述安装架的内壁滑动设置有若干个用于放置靶材基体的承托板，所述承托板上设置有若干个等距排布的定位单元，所述定位单元包括定位槽，所述定位槽的下方设置有若干个导引...
该专利属于先导薄膜材料（安徽）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（安徽）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。