本申请涉及一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，包括：放电腔腔体，该放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，放电腔腔体的开设有进气口和出气口；扰流板模块，该扰流板模块与放电腔腔体连接，并设有与进气口连通的出光通道；净化气路，其包括位于扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，第一气路和第二气路的气体在出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。本申请的扰流板模块一方面用于捕获流向出光镜片的灰尘颗粒，另一方面未被扰流板模块捕获的灰尘颗粒在第一气路和第二气路气流的对冲作用下返回至放电腔腔体内，阻止灰尘颗粒经过扰流板模块污染出光镜片，以使出光镜片表面保持清洁，不影响激光的输出性能。不影响激光的输出性能。不影响激光的输出性能。
【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置
[0001]本申请涉及准分子激光器
，特别涉及一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置。
技术介绍
[0002]准分子激光器是一种面向紫外特征应用的常规气体激光器，目前被认为是用于光刻的最佳光源选择，是集成电路平板印刷光刻工业的主力工作光源。
[0003]准分子激光器放电腔在放电时会产生灰尘颗粒，这些粉尘随着风机转动产生的气流，分散到腔体内各个部分。尤其粉尘会漂散到激光器的封腔镜表面，显著降低腔镜的透过率指标，需要设计特殊的腔镜防尘或吹扫装置，用以保护和延长封腔镜使用寿命。
技术实现思路
[0004]本申请实施例提供一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，以解决相关技术中准分子激光器放电腔在放电时会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒会漂散到激光器的封腔镜表面，显著降低封腔镜透过率的问题。
[0005]本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，包括：放电腔腔体，所述放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，所述放电腔腔体开设有进气口，所述放电腔腔体上还开设有第一出气口和第二出气口；扰流板模块，所述扰流板模块位于所述放电腔腔体的两侧且与所述放电腔腔体连接，并设有两端分别与所述进气口和出光镜片连接的出光通道；净化气路，其包括位于扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，所述第一气路与所述第一出气口连通，所述第二气路与所述第二出气口连通，所述第一气路和第二气路的气体在所述出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。
[0006]在一些实施例中：还包括出光镜片，所述出光镜片固定在所述扰流板模块上，并位于远离所述放电腔腔体的一端，以封闭所述出光通道；所述出光通道的激光光路与所述出光镜片的交汇处形成出光点，对冲的气体在所述出光通道内交汇处偏离所述激光光路和出光点。
[0007]在一些实施例中：所述扰流板模块包括外壳和位于所述外壳内的多个相互平行且间隔设置的矩形扰流片；各所述矩形扰流片上开设有长方形孔洞，各长方形孔洞依次连通形成所述出光通道；多个所述矩形扰流片的外周围设有侧板，相对设置的两块侧板上开设有沿远离放电腔腔体的方向宽度逐渐缩小的楔形孔；所述第一气路的一端与其中一个所述侧板的楔形孔连通，所述第二气路的一端与另一个所述侧板的楔形孔连通。
[0008]在一些实施例中：各所述矩形扰流片上长方形孔洞沿远离所述放电腔腔体的方向
宽度逐渐增大，且各所述长方形孔洞的中心点沿远离放电腔腔体的方向距离出光通道的激光光路距离逐渐增大。
[0009]在一些实施例中：所述出光通道在开设有楔形孔的侧板上的投影与楔形孔部分重合或互不重合，且各所述长方形孔洞中心点的连线朝远离楔形孔的方向偏移。
[0010]在一些实施例中：所述出光通道在开设有楔形孔的侧板上的投影与楔形孔部分重合或互不重合，且各所述矩形扰流片上长方形孔洞相同，以使由楔形孔进入所述出光通道内的对冲气体驱使位于出光通道内的灰尘颗粒偏离出光通道的激光光路。
[0011]在一些实施例中：靠近所述放电腔腔体的2
‑
6个所述矩形扰流片与所述楔形孔互不连通，且与侧板相互形成收集灰尘颗粒的扰流腔室。
[0012]在一些实施例中：所述第一气路上设有与第一出气口连通，并将所述放电腔腔体内的气体进行静电吸附净化的静电除尘器，所述静电除尘器的排气口通过第一气路与扰流板模块连通以形成第一气体循环回路。
[0013]在一些实施例中：所述第二气路上设有泵体和空气过滤器，所述泵体与第二出气口连通并将放电腔腔体内的气体泵入所述空气过滤器内，所述空气过滤器对气体进行过滤后通过第二气路与所述扰流板模块连通。
[0014]在一些实施例中：所述泵体连接有控制器，所述控制器通过控制泵体的转速以调节所述第二气路内气体的流速。
[0015]在一些实施例中：所述第一气路和第二气路均设有两条，两条所述第一气路和两个所述第二气路分别连通放电腔腔体两侧的扰流板模块。
[0016]本申请提供的技术方案带来的有益效果包括：本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，由于本申请的准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置设置了放电腔腔体，该放电腔腔体为封闭的空心腔体结构，放电腔腔体的两侧均开设有进气口，所述放电腔腔体上还开设有第一出气口和第二出气口；扰流板模块，两个扰流板模块分别位于所述放电腔腔体的两侧且与放电腔腔体连接，并设有与进气口连通的出光通道；净化气路，其包括位于扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，所述第一气路与所述第一出气口连通，所述第二气路与所述第二出气口连通，所述第一气路和第二气路的气体在出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。
[0017]因此，本申请的准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置在放电腔腔体上设置了与进气口连通的扰流板模块，在扰流板模块两侧且相对设置的第一气路和第二气路，第一气路和第二气路的气体在出光通道内相互对冲并回流至放电腔腔体内。扰流板模块一方面用于捕获流向出光镜片的灰尘颗粒，另一方面未被扰流板模块捕获的灰尘颗粒在第一气路和第二气路气流的对冲作用下返回至放电腔腔体内，阻止灰尘颗粒经过扰流板模块污染出光镜片，以使出光镜片表面保持清洁，不影响激光的输出性能。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他
的附图。
[0019]图1为本申请实施例的结构示意图；图2为本申请实施例的扰流板模块与出光镜片的结构示意图；图3为本申请实施例的侧板的结构示意图；图4为本申请实施例的矩形扰流片的结构示意图；图5为本申请实施例的扰流板模块结构示意图；图6为本申请另一实施例的扰流板模块结构示意图。
[0020]附图标记：1、第一气路；2、第二气路；10、放电腔腔体；20、静电除尘器；50、出光镜片；51、出光点；52、激光光路；60、扰流板模块；61、矩形扰流片；62、侧板；63、外壳；64、出光通道；65、楔形孔；66、轨迹曲线；67、灰尘颗粒；68、长方形孔洞；70、空气过滤器；80、泵体。
具体实施方式
[0021]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0022]本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其能解决解决相关技术中准分子激光器放电腔在放电时会产生灰尘颗粒，灰尘颗粒会漂散到激光器的封腔镜表面，显著降低腔镜透过率的问题。
[0023]参见图1和图2所示，本申请实施例提供了一种准分子激光器封腔镜镜片清洁本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：放电腔腔体（10），所述放电腔腔体（10）为封闭的空心腔体结构，所述放电腔腔体（10）开设有进气口，所述放电腔腔体（10）上还开设有第一出气口和第二出气口；扰流板模块（60），所述扰流板模块（60）位于所述放电腔腔体（10）的两侧且与所述放电腔腔体（10）连接，并设有两端分别与所述进气口和出光镜片（50）连接的出光通道（64）；净化气路，其包括位于扰流板模块（60）两侧且相对设置的第一气路（1）和第二气路（2），所述第一气路（1）与所述第一出气口连通，所述第二气路（2）与所述第二出气口连通，所述第一气路（1）和第二气路（2）的气体在所述出光通道（64）内相互对冲并回流至放电腔腔体（10）内。2.如权利要求1所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：还包括出光镜片（50），所述出光镜片（50）固定在所述扰流板模块（60）上，并位于远离所述放电腔腔体（10）的一端，以封闭所述出光通道（64）；所述出光通道（64）的激光光路（52）与所述出光镜片（50）的交汇处形成出光点（51），对冲的气体在所述出光通道（64）内交汇处偏离所述激光光路（52）和出光点（51）。3.如权利要求1或2所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：所述扰流板模块（60）包括外壳（63）和位于所述外壳（63）内的多个相互平行且间隔设置的矩形扰流片（61）；各所述矩形扰流片（61）上开设有长方形孔洞（68），各长方形孔洞（68）依次连通形成所述出光通道（64）；多个所述矩形扰流片（61）的外周围设有侧板（62），相对设置的两块侧板（62）上开设有沿远离放电腔腔体（10）的方向宽度逐渐缩小的楔形孔（65）；所述第一气路（1）的一端与其中一个所述侧板（62）的楔形孔（65）连通，所述第二气路（2）的一端与另一个所述侧板（62）的楔形孔（65）连通。4.如权利要求3所述的一种准分子激光器封腔镜镜片清洁防护装置，其特征在于，包括：各所述矩形扰流片（61）上长方形孔洞（68）沿远离所述放电腔腔体（10）的方向宽度逐渐增大，且各所述长方形孔洞（68）的中心点沿远离放电腔腔体（10）的方向距离出光通道（64）的激光光路（52）距离逐渐增大。5.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐静奇，
申请(专利权)人：北京精亦光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。