一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器制造技术

本发明专利技术公开了一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器，包括用于灌装惰性气体和卤素气体的谐振腔体(1)，所述的谐振腔体(1)内设有相互间隔并能够放电的两个电极(2)，所述的谐振腔体(1)前端设有第一谐振镜片(3)，所述的谐振腔体(1)后端设有第二谐振镜片(4)，并且在第一谐振镜片(3)与电极(2)前端之间的位置设置有第一正圆形光阑(5)，在电极(2)后端与第二谐振镜片(4)之间的位置设置有第二正圆形光阑(6)。本发明专利技术结构简单，激光发散角一致，光斑呈圆形。光斑呈圆形。光斑呈圆形。

【技术实现步骤摘要】
一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器


[0001]本专利技术涉及一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器。

技术介绍

[0002]准分子激光是指受激二聚体产生的激光。当惰性气体和卤素气体按一定比例和压力混合在一起时，在放电电极等激励源的作用下使气体原子从基态跃迁到激发态，甚至被电离。处于激发态的原子或离子很容易结合成分子，这种分子的寿命仅有几十纳秒。当激发态的分子数远多于基态准分子数，就形成离子数反转。准分子从激发态跃迁回基态时，释放出光子，经谐振腔振荡放大发射出激光。同时惰性气体和卤素气体从准分子状态迅速解离成2个原子。这些光子所释放出的光子能量非常大，常用于精细化加工等。
[0003]然而，目前准分子激光器有一较大的缺陷是矩形激光在X、Y方向的发散角不一致而导致准分子激光精细化加工中存在诸多不便。在准分子激光精细化加工中一般都希望得到发散角一致的圆形激光光斑，目前采用的方案一般都是在激光器外部的光路中增加圆形的光阑，以从方形的激光光斑中截取圆形的激光光斑，但是由于本身发散角的原因，随着光的传播，该圆形光斑仍然会发生变形，随着光路本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种发散角一致的圆形光斑准分子激光器，其特征在于：包括用于灌装惰性气体和卤素气体的谐振腔体(1)，所述的谐振腔体(1)内设有相互间隔并能够放电的两个电极(2)，所述的谐振腔体(1)前端设有第一谐振镜片(3)，所述的谐振腔体(1)后端设有第二谐振镜片(4)，并且在第一谐振镜片(3)与电极(2)前端之间的位置设置有第一正圆形光阑(5)，在电极(2)后端与第二谐振镜片(4)之间的位置设置有第二正圆形光阑(6)。2.根据权利要求1所述的发散角一致的圆形光斑准分子激光器，其特征在于：每个所述的电极(2)纵截面轮廓包括相互平行的第一竖直边(21)和第二竖直边(22)，所述的第一竖直边(21)和第二竖直边(22)上端之间通过上轮廓边(23)连接，所述的第一竖直边(21)和第二竖直边(22)下端之间通过下轮廓边连接，所述的下轮廓边包括依次连接并在连接位置相切的第一弧形边(C1)、第二弧形边(C2)、第三弧形边(C3)、第四弧形边(C4)、第五弧形边(C5)、第六弧形边(C6)、第七弧形边(C7)、第八弧形边(C8)、第九弧形边(C9)、第十弧形边(C10)和第十一弧形边(C11)，并且所述的第一弧形...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱能伟，方晓东，游利兵，马跃，刘弘禹，
申请(专利权)人：深圳技术大学，
类型：发明
国别省市：