一种激波反射器和准分子激光器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种激波反射器和准分子激光器，该激波反射器包括基板和设置在所述基板上的多个不规则凸块，多个不规则凸块的不规则表面构成所述激波反射器的不规则反射面，所述不规则反射面用于将激波向不同方向反射；该激波反射器可以抑制削弱光轴方向的激波，使得放电区域的气流密度更均匀，从而有利于提高放电质量；该激波反射器的不规则反射面可以减弱激波冲击对窗片造成的损伤，从而能够提高窗片的使用寿命；并且该激波反射器的不规则反射面增加了流经该激波反射器的气流的阻力损失，增加MFT循环气流的压差，提高净化后从布儒斯特窗流出气流流速，从而减少激波及携带的金属颗粒对窗片的损伤，提高窗片的使用寿命。提高窗片的使用寿命。提高窗片的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种激波反射器和准分子激光器


[0001]本技术涉及激光
，特别是涉及一种激波反射器和准分子激光器。

技术介绍

[0002]准分子激光器的激光波长短,对于材料不产生热效应，因此在工业加工领域有着广泛的应用。尤其在高端光刻领域，同时具备高重频、窄线宽和大能量的特点的准分子激光器，已经成为目前半导体光刻领域占绝对主导地位的光源。
[0003]准分子激光器在工作时的较短的放电周期内，在放电区域内有限体积的激光气体中迅速沉积了大量的能量，因而使得该放电区域的温度迅速上升。这导致了气体密度的大波动，从而产生激波，激波会在三个方向传播，沿光轴方向传播及在电极之间传播一般称为横波，沿流体流动在上下游方向传播一般称为纵波。激波与放电腔内结构碰撞后的返回波会对放电区的气流密度产生扰动，从而会干扰高重频放电时下一次放电的能量稳定性和剂量稳定性。
[0004]目前抑制激波的方案有如公开号为WO1999045614A1的专利申请公开了一种声激波干扰最小的激光腔，其通过在放电区域两侧设置两个成角度的反射器的方式来减小声激波干扰，但该方案仅考虑了抑制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激波反射器(10)，其特征在于，包括基板(11)和设置在所述基板(11)上的多个不规则凸块(12)，多个不规则凸块(12)的不规则表面构成所述激波反射器(10)的不规则反射面(13)，所述不规则反射面(13)用于将激波向不同方向反射，以消散激波。2.根据权利要求1所述的激波反射器(10)，其特征在于，所述激波反射器(10)的总厚度为4～7mm，多个不规则凸块(12)的不规则表面与所述基板(11)的基面的夹角为35
°
～55
°
。3.根据权利要求1所述的激波反射器(10)，其特征在于，所述激波反射器(10)还设置有贯穿所述基板(11)和所述不规则凸块(12)的穿孔(14)。4.根据权利要求1所述的激波反射器(10)，其特征在于，所述基板(11)为方形结构或圆形结构。5.根据权利要求1所述的激波反射器(10)，其特征在于，所述激波反射器(10)为由铝合金...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢英金，吴亦轩，刘斌，陈文斌，张寅虎，黄春亮，徐向宇，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：