一种准分子激光器电极结构及准分子激光器制造技术

本申请涉及一种准分子激光器电极结构及准分子激光器，属于激光技术领域。准分子激光器电极结构包括：相互平行且间隔设置的阳极电极和阴极电极；其中阳极电极靠近阴极电极的一面设有阳极放电边，阴极电极靠近阳极电极的一面设有阴极放电边；阴极电极靠近阴极放电边的一面开设有电极缺口，该电极缺口将阴极电极分隔成至少两段阴极放电段。本申请的准分子激光器电极结构在阴极电极靠近阴极放电边的一面开设有电极缺口，该电极缺口将阴极电极分隔成至少两段阴极放电段。电极缺口能够改变阴极电极局部电场分布，调整阴极电极沿长度方向的放电均匀性，近而使大能量长电极放电均匀成为可能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光器电极结构及准分子激光器


[0001]本申请涉及激光
，特别涉及一种准分子激光器电极结构及准分子激光器。

技术介绍

[0002]准分子激光器的激光波长短,对于材料不产生热效应，因此在工业加工领域有着广泛的应用。尤其在高端光刻领域，同时具备高重频、窄线宽和大能量的特点的准分子激光器，已经成为目前半导体光刻领域占绝对主导地位的光源。
[0003]相关技术中，电极是准分子激光器关键组件，电极结构直接影响激光器放电效果，尤其是在大能量、高重频放电领域，比如几百瓦功率近一千赫兹的重复放电频率单脉冲能量达焦耳级的应用场合。
[0004]而准分子激光器由于要产生更强的增益效果，其放电电极一般采用长条型，有的长度甚至超过1m，这给电极放电均匀性设计带来挑战。当阴极、阳极较长时(比如500mm以上)，可采用分段式电极布置方法，比如将阴极分成多段，但由于装配误差的问题可能导致阴极段无法形成一条直线，会严重影响激光器出光效果。

技术实现思路

[0005]本申请实施例提供一种准分子激光器电极结构及准分子激光器，以解决相关技术中分段式电极由于装配误差的问题导致阴极段无法形成一条直线，会严重影响激光器出光效果的问题。
[0006]本申请实施例第一方面提供了一种准分子激光器电极结构，包括：相互平行且间隔设置的阳极电极和阴极电极；
[0007]所述阳极电极靠近所述阴极电极的一面设有阳极放电边，所述阴极电极靠近所述阳极电极的一面设有阴极放电边；
[0008]所述阴极电极靠近所述阴极放电边的一面开设有电极缺口，所述电极缺口将所述阴极电极分隔成至少两段阴极放电段。
[0009]在一些实施例中：所述电极缺口设有多个，多个所述电极缺口沿所述阴极电极的长度方向间隔设置，相邻的两个所述电极缺口之间的间距大于500mm。
[0010]在一些实施例中：所述电极缺口为圆弧形凹槽结构，所述电极缺口的长度方向与所述阴极电极的长度方向垂直，且贯穿于所述阴极电极的两侧。
[0011]在一些实施例中：所述电极缺口与所述阴极电极的连接处均通过圆角光滑过渡。
[0012]在一些实施例中：所述阳极电极远离所述阴极电极的一面设有阳极接触边，所述阴极电极远离所述阳极电极的一面设有阴极接触边；
[0013]所述阳极电极通过所述阳极接触边连接有阳极固定板，所述阴极电极通过所述阴极接触边连接有阴极固定板。
[0014]在一些实施例中：所述阳极接触边和/或阴极接触边上开设有凹槽，所述阳极接触
边上的凹槽用于调节阳极电极和阳极固定板之间的接触电阻，所述阴极接触边上的凹槽用于调节阴极电极和阴极固定板之间的接触电阻。
[0015]在一些实施例中：所述凹槽设有多个，多个所述凹槽沿所述阳极接触边和/或阴极接触边的长度方向间隔设置。
[0016]在一些实施例中：所述凹槽为矩形凹槽、圆形凹槽或椭圆形凹槽中的任意一种，所述凹槽的深度≥0.5mm。
[0017]在一些实施例中：所述矩形凹槽的四角均为圆角。
[0018]本申请实施例第二方面提供了一种准分子激光器，包括上述任一实施例所述的准分子激光器电极结构。
[0019]本申请提供的技术方案带来的有益效果包括：
[0020]本申请实施例提供了一种准分子激光器电极结构及准分子激光器，由于本申请的准分子激光器电极结构设置了相互平行且间隔设置的阳极电极和阴极电极；其中阳极电极靠近阴极电极的一面设有阳极放电边，阴极电极靠近阳极电极的一面设有阴极放电边；阴极电极靠近阴极放电边的一面开设有电极缺口，该电极缺口将阴极电极分隔成至少两段阴极放电段。
[0021]因此，本申请的准分子激光器电极结构在阴极电极靠近阴极放电边的一面开设有电极缺口，该电极缺口将阴极电极分隔成至少两段阴极放电段。电极缺口能够改变阴极电极局部电场分布，调整阴极电极沿长度方向的放电均匀性，近而使大能量长电极放电均匀成为可能。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本申请实施例的结构示意图；
[0024]图2为本申请实施例的电极缺口的结构示意图；
[0025]图3为本申请实施例的阳极电极的结构俯视图；
[0026]图4为本申请实施例的阳极电极的结构截面图。
[0027]附图标记：
[0028]100、阴极电极；101、阴极放电边；102、阴极接触边；200、阳极电极；201、阳极放电边；202、阳极接触边；300、电极缺口；400、阴极固定板；500、阳极固定板；600、凹槽。
具体实施方式
[0029]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0030]本申请实施例提供了一种准分子激光器电极结构及准分子激光器，其能解决相关
技术中分段式电极由于装配误差的问题导致阴极段无法形成一条直线，会严重影响激光器出光效果的问题。
[0031]参见图1所示，本申请实施例第一方面提供了一种准分子激光器电极结构，包括：相互平行且间隔设置的阳极电极200和阴极电极100，阳极电极200和阴极电极100均为设定长度的长条形结构，阳极电极200位于阴极电极100的底部。
[0032]阳极电极200靠近阴极电极100的一面设有阳极放电边201，阴极电极100靠近阳极电极200的一面设有阴极放电边101；阳极放电边201和阴极放电边101之间形成间隙，阳极放电边201和阴极放电边101对充入其间隙的气体进行激励以产生准分子激光。
[0033]在阴极电极100靠近阴极放电边101的一面开设有电极缺口300，电极缺口300将阴极电极100分隔成至少两段阴极放电段。在阳极电极200上无缺口，当阴极电极100上开设有电极缺口300时，阴极电极100被分成两端放电的阴极放电段，每增加一个电极缺口300，便自动形成一个新的阴极放电段。
[0034]本申请实施例的准分子激光器电极结构在阴极电极100靠近阴极放电边101的一面开设有电极缺口300，该电极缺口300将阴极电极100分隔成至少两段阴极放电段。电极缺口300能够改变阴极电极100局部电场分布，调整阴极电极100沿长度方向的放电均匀性。
[0035]在一些可选实施例中：参见图1和图2所示，本申请实施例提供了一种准分子激光器电极结构，该准分子激光器电极结构的电极缺口300设有多个，多个电极缺口300沿阴极电极1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光器电极结构，其特征在于，包括：相互平行且间隔设置的阳极电极(200)和阴极电极(100)；所述阳极电极(200)靠近所述阴极电极(100)的一面设有阳极放电边(201)，所述阴极电极(100)靠近所述阳极电极(200)的一面设有阴极放电边(101)；所述阴极电极(100)靠近所述阴极放电边(101)的一面开设有电极缺口(300)，所述电极缺口(300)将所述阴极电极(100)分隔成至少两段阴极放电段。2.如权利要求1所述的一种准分子激光器电极结构，其特征在于：所述电极缺口(300)设有多个，多个所述电极缺口(300)沿所述阴极电极(100)的长度方向间隔设置，相邻的两个所述电极缺口(300)之间的间距大于500mm。3.如权利要求1所述的一种准分子激光器电极结构，其特征在于：所述电极缺口(300)为圆弧形凹槽结构，所述电极缺口(300)的长度方向与所述阴极电极(100)的长度方向垂直，且贯穿于所述阴极电极(100)的两侧。4.如权利要求1至3任一项所述的一种准分子激光器电极结构，其特征在于：所述电极缺口(300)与所述阴极电极(100)的连接处均通过圆角光滑过渡。5.如权利要求1所述的一种准分子激光器电极结构，其特征在于：所述阳极电极(200)远离所述阴极电极(100)的一面设有阳极接触边(...

【专利技术属性】
技术研发人员：白雅苏拉，
申请(专利权)人：北京精亦光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：