本发明专利技术属于激光切割技术领域，具体的说是一种LED晶圆切割机，包括对所述吸盘进行清理的刷子；固接在所述主机体内部的两个支座；推动所述刷子在两个所述支座之间进行滑动的移动部；以及带动所述刷子在所述支座的内部进行旋转的旋转部；通过在吸盘的外侧设置支座，刷子在两个支座之间来回滑动，对吸盘进行清洁，且刷子在移动至支座内部之后进行旋转，将附着在刷子上的杂质甩掉，实现对刷子进行自洁的功能，以确保刷子对吸盘的清洁效果，切割过程中的气流推动保护板和棘齿板移动，对发条组件进行拧紧蓄能，保护板同时起到遮护和动力传输的功能，利用切割过程中的压缩空气为刷子的自洁提供动力，结构简单，使用成本低。使用成本低。使用成本低。
【技术实现步骤摘要】
一种LED晶圆切割机
[0001]本专利技术属于激光切割领域，具体的说是一种LED晶圆切割机。
技术介绍
[0002]LED相关电路元件的加工主要在晶圆上完成，随着微电子技术的发展，对LED晶圆的切割技术要求也越来越高，在实际生产中，多采用激光切割机对晶圆进行切割。
[0003]公开号为CN105014240B的一项专利申请公开了一种LED晶圆激光切割装置，包括激光光源、四轴平台、分光镜和Z轴直线运动支架，实现了LED晶圆激光切割计算机自动调水平，从而提高了速度和精度。
[0004]上述方案在使用中还存在一些问题，由于真空吸附的方式能够使晶圆受力均匀，不容易损伤晶圆，且真空吸附对环境的要求低，因此，激光切割中一般采用真空吸盘对晶圆进行吸附，吸盘的吸附力大小将直接影响到真空吸附的稳定性，而吸附力的大小与吸盘表面状态有关，如果吸盘表面的吸附槽中落入杂质，不能及时进行清理的话，将会影响真空吸附力，从而影响吸附稳定性，激光切割机中一般设有吹气系统，以便在切割过程中对晶圆进行吹刷清理，切割过程中产生的粉尘和熔渣四处分散，也容易附着在吸盘表面，因此，需要对吸盘进行及时有效的清洁，上述技术方案并未解决这一问题。
[0005]为此，本专利技术提供一种LED晶圆切割机。
技术实现思路
[0006]为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。
[0007]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种LED晶圆切割机，包括主机体，所述主机体内设有吸盘、激光切割组件和吹气组件，所述吸盘用于吸附晶圆，还包括：
[0008]对所述吸盘进行清理的刷子；
[0009]固接在所述主机体内部的两个支座，两个所述支座分别位于所述吸盘的两侧；
[0010]推动所述刷子在两个所述支座之间进行滑动的移动部，所述移动部包括滑轨和滑座，所述滑座滑动安装在所述滑轨上；以及
[0011]带动所述刷子在所述支座的内部进行旋转的旋转部，所述旋转部包括转动安装在所述滑座上的转轴，所述转轴上设有发条组件，所述刷子固接在所述转轴的底部。
[0012]具体的，吸盘可采用多孔陶瓷真空吸盘，激光切割组件包括切割头、激光发生器和数控系统，吹气组件包括喷嘴。空压机和储气罐，从喷嘴内喷出压缩空气，刷子优选但不限于毛刷，滑轨固接在两个支座之间，且滑轨位于吸盘的外侧；在对LED晶圆进行切割时，先将晶圆放置在吸盘上，通过吸盘对晶圆进行吸附固定，然后启动激光切割组件，切割头对晶圆进行切割，在切割过程中，从喷嘴中喷出的压缩空气流到晶圆上，对晶圆表面进行吹刷清理；完成晶圆切割之后，将晶圆从吸盘上取下，然后启动滑座沿着滑轨在两个支座之间横向滑动，滑座滑动的过程中，刷子的底部与吸盘的表面接触，将附着在吸盘表面的杂质刷走，
完成对吸盘的清洁操作，在对吸盘进行清洁的过程中，部分杂质附着在刷子上，刷子移动至支座内部之后，启动转轴旋转，从而带动刷子旋转，可将刷子中的杂质甩掉，提高刷子的自身洁净度，从而保障了刷子对吸盘的清洁工作。
[0013]优选的，所述支座靠近所述吸盘的一侧呈开口状，所述支座上设有遮护部，所述遮护部包括：
[0014]活动插接在所述支座内部进行升降的升降座；
[0015]滑动安装在所述升降座内部进行横移的保护板；以及
[0016]设在所述保护板上的复位弹簧。
[0017]具体的，初始状态下，刷子位于支座内，升降板和保护板下移，将支座的开口处封住，以免切割过程中，喷嘴喷出的压缩气流将杂质吹到支座内并附着在刷子上，起到对刷子进行遮护的功能，由于喷嘴喷出的压缩空气为高速气流，气流喷射到保护板上产生较大的冲击力，通过设置复位弹簧对保护板进行缓冲保护，延长保护板的使用寿命。
[0018]优选的，所述发条组件中设有旋钮，所述旋钮呈齿盘状，所述旋转部还包括：
[0019]固接在所述保护板上的棘齿板，所述棘齿板与所述旋钮单向啮合传动，所述滑座呈工型状，所述棘齿板位于所述滑座的外侧；
[0020]卡住所述旋钮的止回棘爪，所述止回棘爪滑动安装在所述滑座上；以及
[0021]分离组件，所述分离组件用于推动所述止回棘爪与所述旋钮分开。
[0022]具体的，棘齿板和止回棘爪中均设有单向旋转的棘齿，棘齿板和旋钮组成单向旋转机构，在切割过程中，喷嘴喷出的气流推动保护板和棘齿板移动，棘齿板再带动旋钮旋转，从而对发条组件进行拧紧蓄能，通过设置喷嘴可旋转，使得气流产生换向，以达到对晶圆进行全面吹刷清理的效果，在此过程中，气流对保护板的冲击力是断续式的，因此，保护板在气流和复位弹簧的作用下做往复运动，进而不断的对发条组件进行拧紧，拧紧过程中，止回棘爪将旋钮卡住，阻止发条组件回转释放能量；在对吸盘进行清理的过程中，滑座和刷子移动至另一个支座内部之后，分离组件带动止回棘爪与旋转分离，发条组件可回转，进而带动刷子快速旋转，完成刷子的自洁操作。
[0023]优选的，所述分离组件包括：
[0024]滑动安装在所述滑座上的从动杆，所述止回棘爪安装在所述从动杆上；
[0025]设在所述滑座上的推动弹簧，所述推动弹簧推动所述从动杆靠近所述旋钮；以及
[0026]设在所述支座内的拨板，所述拨板推动所述从动杆远离所述旋钮，所述从动杆内设有与所述拨板对应的斜坡。
[0027]具体的，滑座沿着滑轨移动至支座内部之后，从动杆与滑座中的拨板接触，从动杆挤压拨板移动，使得拨板与旋钮分离，发条组件开始回转，进而带动刷子在支座的内部进行旋转。
[0028]优选的，所述拨板滑动安装在所述支座内，所述拨板与所述刷子上下错开，所述分离组件还包括：
[0029]用于推动所述拨板上移的弹性支撑件；以及
[0030]转动安装在所述拨板上的斜面板，所述斜面板为单向旋转结构，所述从动杆中设有冂形状的通槽，所述斜面板与通槽对齐，所述从动杆通过挤压所述斜面板推动所述拨板下移。
[0031]具体的，从动杆内的斜坡设在通槽的侧壁上，弹性支撑件优选但不限于弹簧，斜面板上设有复位扭簧，支座的内部固接有连板，拨板安装在连板上且可上下移动；拨板和连板均位于刷子的上方，滑座在支座的内部向外移动时，从动杆先与斜面板接触并挤压斜面板和拨板下移，避免了拨板与通槽接触后带动止回棘爪与旋钮分开的情况，此时，发条组件仍被止回棘爪卡住，发条组件不释放能量；当滑座从该支座内移出并进入另一个支座内部之后，通槽内的斜坡先与另一个支座内的拨板接触，从动杆被拨板挤压移动，使得止回棘爪与旋钮分开，然后，发条组件开始释放能量并旋转。
[0032]优选的，所述移动部还包括：
[0033]分别固接在所述滑座两侧的第一磁块；
[0034]固接在所述支座内部的电磁铁，所述电磁铁通电后与所述第一磁块同性相斥；以及
[0035]对所述滑座进行固定的卡接组件。
[0036]具体的，电磁铁通电后具有磁性，且与第一磁块相对面的一侧磁性相同，从而在同性斥力作用下推动滑座移本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种LED晶圆切割机，包括主机体(1)，所述主机体(1)内设有吸盘(11)、激光切割组件(12)和吹气组件(13)，所述吸盘(11)用于吸附晶圆，其特征在于：还包括：对所述吸盘(11)进行清理的刷子(2)；固接在所述主机体(1)内部的两个支座(3)，两个所述支座(3)分别位于所述吸盘(11)的两侧；推动所述刷子(2)在两个所述支座(3)之间进行滑动的移动部(4)，所述移动部(4)包括滑轨(41)和滑座(42)，所述滑座(42)滑动安装在所述滑轨(41)上；以及带动所述刷子(2)在所述支座(3)的内部进行旋转的旋转部(5)，所述旋转部(5)包括转动安装在所述滑座(42)上的转轴(51)，所述转轴(51)上设有发条组件(52)，所述刷子(2)固接在所述转轴(51)的底部。2.根据权利要求1所述的一种LED晶圆切割机，其特征在于：所述支座(3)靠近所述吸盘(11)的一侧呈开口状，所述支座(3)上设有遮护部(6)，所述遮护部(6)包括：活动插接在所述支座(3)内部进行升降的升降座(61)；滑动安装在所述升降座(61)内部进行横移的保护板(62)；以及设在所述保护板(62)上的复位弹簧(63)。3.根据权利要求2所述的一种LED晶圆切割机，其特征在于：所述发条组件(52)中设有旋钮(521)，所述旋钮(521)呈齿盘状，所述旋转部(5)还包括：固接在所述保护板(62)上的棘齿板(53)，所述棘齿板(53)与所述旋钮(521)单向啮合传动，所述滑座(42)呈工型状，所述棘齿板(53)位于所述滑座(42)的外侧；卡住所述旋钮(521)的止回棘爪(54)，所述止回棘爪(54)滑动安装在所述滑座(42)上；以及分离组件(55)，所述分离组件(55)用于推动所述止回棘爪(54)与所述旋钮(521)分开。4.根据权利要求3所述的一种LED晶圆切割机，其特征在于：所述分离组件(55)包括：滑动安装在所述滑座(42)上的从动杆(551)，所述止回棘爪(54)安装在所述从动杆(551)上；设在所述滑座(42)上的推动弹簧(552)，所述推动弹簧(552)推动所述从动杆(551)靠近所述旋钮(521)；以及设在所述支座(3)内的拨板(553)，所述拨板(553)推动所述从动杆(551)远离所述旋钮(521)，所述从动杆(551)内设有与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙彦峰，黄启广，
申请(专利权)人：山东乾元半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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