坩埚熔制机及其模具上盖制造技术

本公开涉及一种坩埚熔制机及其模具上盖，模具上盖包括：第一隔热件，设置在所述坩埚熔制机的模具的开口上方，用于提供热阻和反射所述模具内的热量；以及第二隔热件，设置在所述第一隔热件的背离所述模具的一侧，用于提供热阻。第一隔热件靠近模具的开口设置，可以作为热反射屏来反射模具内的热量并提供热阻，以保持模具内温度并防止热量散失；其中的第二隔热件设置在第一隔热件的背离模具的一侧，可以提供热阻，用于进一步地起到隔热防止热散失的作用。本公开实施例的模具上盖可以有效地解决现有技术中在坩埚熔制过程中模具内热量散失的问题，从而提高热量利用率，以达到低碳高效的生产理念。生产理念。生产理念。

【技术实现步骤摘要】
坩埚熔制机及其模具上盖


[0001]本公开涉及坩埚制造设备
，具体地，涉及一种坩埚熔制机及其模具上盖。

技术介绍

[0002]在单晶硅的制造过程中，会采用石英坩埚容纳固体硅料并通过加热器进行加热，经过一系列工艺步骤后形成单晶硅棒。相关技术中，坩埚在制造过程中，坩埚模具置于熔制机的外壳内，并通过对模具的内腔体进行加热以在内腔体内制备坩埚，但现有熔制机的模具内腔体的热量散失较大，热量利用率低，不符合低能高效的生产理念。

技术实现思路

[0003]本公开的目的是提供一种坩埚熔制机及其模具上盖，以至少部分地解决相关技术中存在的问题。
[0004]为了实现上述目的，本公开的第一方面提供一种坩埚熔制机的模具上盖，包括：第一隔热件，设置在所述坩埚熔制机的模具的开口上方，用于提供热阻和反射所述模具内的热量；以及第二隔热件，设置在所述第一隔热件的背离所述模具的一侧，用于提供热阻。
[0005]本公开的第二方面提供一种坩埚熔制机的模具上盖，所述坩埚熔制机的模具内设置有电阻加热器，所述模具上盖覆盖在所述电阻加热器上，所述模具上盖包括第一隔热件和/或第二隔热件，所述第一隔热件设置在所述坩埚熔制机的模具的开口上方，用于提供热阻和反射所述模具内的热量，所述第二隔热件设置在所述坩埚熔制机的模具的开口上方或所述第一隔热件的背离所述模具的一侧，用于提供热阻。
[0006]可选地，所述模具上盖包括所述第一隔热件和所述第二隔热件，所述第二隔热件的热阻大于所述第一隔热件的热阻。
[0007]可选地，所述模具上盖上连接有连接件，且所述连接件配置为沿靠近或远离所述模具的开口的方向可移动地与所述坩埚熔制机的第一外壳连接，其中，所述连接件的端部形成有止抵部件，用于所述连接件朝向所述模具的开口移动至预设距离后卡止在所述第一外壳上。
[0008]可选地，所述模具上盖包括由金属材质或非金属材质制成的所述第一隔热件，优选地，所述金属材质为钨或钼，所述非金属材质为石墨或碳
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碳材料；以及/或者，所述模具上盖包括材质为石墨或碳
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碳材料的所述第二隔热件。
[0009]可选地，所述模具上盖上开设有检测孔，用于供温度检测装置透过所述检测孔检测温度。
[0010]本公开实施例的第三方面提供一种坩埚熔制机，包括模具、模具上盖以及设置在外周的第一外壳，其中，所述模具上盖为本公开实施例提供的坩埚熔制机的模具上盖，所述模具在所述第一外壳内由第二外壳支撑并容纳，所述坩埚熔制机包括用于与所述第二外壳内的腔体连通的第一真空泵，以及用于与所述第一外壳与所述第二外壳之间的腔体连通的第二真空泵，所述第一真空泵和所述第二真空泵设置于所述第一外壳之外。
[0011]可选地，所述第一外壳的底壁上开设有第一通气孔，所述第一通气孔处连通有第一管路，所述第二真空泵连通于所述第一管路，所述第一外壳的侧壁上开设有第二通气孔，所述第二通气孔处连通有第二管路，所述第一管路和所述第二管路分别包括两个分支，所述第一管路的一个分支与用于供应所述第二真空泵的真空源连接、另一个分支与换热器的入口连接，所述第二管路的一个分支与惰性气体源连接、另一个分支与所述换热器的出口连接。
[0012]可选地，所述第二通气孔高于所述模具的开口设置。
[0013]通过上述技术方案，在坩埚熔制机的模具上设置一个模具上盖，可以对模具内的温度起到保温作用，以防热量散失。其中的第一隔热件靠近模具的开口设置，可以作为热反射屏来反射模具内的热量并提供热阻，以保持模具内温度并防止热量散失；其中的第二隔热件设置在第一隔热件的背离模具的一侧，可以提供热阻，用于进一步地起到隔热防止热散失的作用。本公开实施例的模具上盖可以有效地解决现有技术中在坩埚熔制过程中模具内热量散失的问题，从而提高热量利用率，以达到低碳高效的生产理念。
[0014]本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
[0015]附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
[0016]图1是根据本公开一示例性实施方式提供的坩埚熔制机在工作时的示意图；
[0017]图2是根据本公开一示例性实施方式提供的坩埚熔制机在冷却时的示意图。
[0018]附图标记说明
[0019]10
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模具上盖，11
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第一隔热件，12
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第二隔热件，13
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连接件，131
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止抵部件，14
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检测孔，15
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温度检测装置，20
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模具，21
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第二外壳，22
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石英砂，30
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第一外壳，41
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电阻加热器，42
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电连接件，43
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电极，51
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第一真空泵，52
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第二真空泵，61
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第一管路，62
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第二管路，70
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换热器，81
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第一阀门，82
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第二阀门，83
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第三阀门，84
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第四阀门，85
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第五阀门。
具体实施方式
[0020]以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
[0021]在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”是根据坩埚熔制机的使用习惯定义的，具体可参照图1和图2的图面方向。“内、外”是根据相应零部件的本身轮廓定义的，本公开中使用的术语“第一”“第二”等是为了区别一个要素和另一个要素，不具有顺序性和重要性。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。
[0022]参照图1和图2，本公开实施例提供一种坩埚熔制机及其模具上盖10，坩埚熔制机包括模具20、设置在模具20上方的模具上盖10和设置在外周的第一外壳30，模具20在其底部的旋转机构的作用下旋转，通过向模具20内加料以及对模具20内加热，结合模具20的旋转，可以进一步完成坩埚的熔制。
[0023]其中，模具上盖10用于覆盖在模具20上方的开口处，用于保持模具20内的温度，并
且，在一种实施例中，模具上盖10可以间隔地设置模具20开口处，如通过与模具上盖10连接的限位件使其间隔。间隔设置即指模具上盖10不与模具20接触，一方面保证在模具20旋转时不会对模具20造成阻力，另一方面避免与模具20接触造成碎屑掉落影响坩埚质量或接触造成的磨损影响模具20和模具上盖10的使用寿命。在其他实施例中，也可以使模具上盖10与模具20接触设置并共同旋转，但需要另外设置旋转机构驱动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种坩埚熔制机的模具上盖，其特征在于，包括：第一隔热件，设置在所述坩埚熔制机的模具的开口上方，用于提供热阻和反射所述模具内的热量；以及第二隔热件，设置在所述第一隔热件的背离所述模具的一侧，用于提供热阻。2.一种坩埚熔制机的模具上盖，其特征在于，所述坩埚熔制机的模具内设置有电阻加热器，所述模具上盖覆盖在所述电阻加热器上，所述模具上盖包括第一隔热件和/或第二隔热件，所述第一隔热件设置在所述坩埚熔制机的模具的开口上方，用于提供热阻和反射所述模具内的热量，所述第二隔热件设置在所述坩埚熔制机的模具的开口上方或所述第一隔热件的背离所述模具的一侧，用于提供热阻。3.根据权利要求1或2所述的坩埚熔制机的模具上盖，其特征在于，所述模具上盖包括所述第一隔热件和所述第二隔热件，所述第二隔热件的热阻大于所述第一隔热件的热阻。4.根据权利要求1或2所述的坩埚熔制机的模具上盖，其特征在于，所述模具上盖上连接有连接件，且所述连接件配置为沿靠近或远离所述模具的开口的方向可移动地与所述坩埚熔制机的第一外壳连接，其中，所述连接件的端部形成有止抵部件，用于所述连接件朝向所述模具的开口移动至预设距离后卡止在所述第一外壳上。5.根据权利要求1或2所述的坩埚熔制机的模具上盖，其特征在于，所述模具上盖包括由金属材质或非金属材质制成的所述第一隔热件，以及/或者，所述模具上盖包括材质为石墨或碳
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碳材料的所述第二隔热件。6.根据权利要求5所述的坩埚熔制机的模具上盖，其特征在于，所述模具上盖包括由金属...

【专利技术属性】
技术研发人员：白锋，李侨，韩东，任伟康，朱永刚，董升，张伟建，刘永生，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：