一种遮热板装置制造方法及图纸

技术编号:37911278 阅读:13 留言:0更新日期:2023-06-18 12:22
本申请涉及一种遮热板装置,涉及石英坩埚生产设备的技术领域,遮热板装置包括遮热板,遮热板上贯穿开设有容纳石墨电极穿过的让位孔,遮热板一侧设置有用于驱动遮热板升降的升降机构,升降机构与遮热板之间设置有用于将遮热板与升降机构绝缘隔离的绝缘连接机构,绝缘连接机构沿遮热板升降方向的两侧分别与遮热板以及升降机构相互连接。本申请绝缘连接机构的设置能够将遮热板与升降机构间隔开,防止遮热板接地,从而能够防止遮热板打火,从而能够提高石英坩埚的成型质量。提高石英坩埚的成型质量。提高石英坩埚的成型质量。

【技术实现步骤摘要】
一种遮热板装置


[0001]本申请涉及石英坩埚生产设备的
,尤其是涉及一种遮热板装置。

技术介绍

[0002]石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种,用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展必不可少的基础材料。
[0003]目前,常用的遮热板装置包括升降机与不锈钢遮热板,不锈钢遮热板与升降机连接,升降机驱动不锈钢遮热板在竖直方向升降。基于上述遮热板装置,使得成型有石英坩埚的模具被推送至熔制区时,熔制区的遮热板处于石英坩埚模具的端口的上方,遮热板是一个矩形板,矩形板的中心开设有中心孔,中心孔适于位于遮热板上方的石墨电极(即电极棒)由上往下穿过,进入石英坩埚模具的端口,石墨电极通电后,对模具内成型的石英坩埚进行熔制。遮热板的设置主要是防止石英坩埚模具端口处的热量散失,起到保温作用。
[0004]针对上述中的相关技术,由于插入遮热板的中心孔内的石墨电极在通电后,温度非常高,因此,遮热板以及遮热板支撑架均需用使用耐高温的不锈钢材料,为了使遮热板起到良好的保温效果,遮热板的中心孔的直径不能太大,这样就会存在中心孔至石墨电极之间的间距小,因此,在石墨电极与不锈钢遮热板之间产生拉弧,使遮热板表面生成杂质掉入石英坩埚模具内,影响成型的石英坩埚的质量。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是提供一种能够提高石英坩埚成型质量的遮热板装置。
[0006]本申请提供的一种遮热板装置采用如下的技术方案:
[0007]一种遮热板装置,包括遮热板,所述遮热板上贯穿开设有容纳石墨电极穿过的让位孔,所述遮热板一侧设置有用于驱动所述遮热板升降的升降机构,所述升降机构与所述遮热板之间设置有用于将所述遮热板与所述升降机构绝缘隔离的绝缘连接机构,所述绝缘连接机构沿所述遮热板升降方向的两侧分别与所述遮热板以及所述升降机构相互连接。
[0008]通过采用上述技术方案,遮热板上让位孔的开设,为石墨电极的插入提供了空间,而升降机构的设置使得遮热板能够在竖直方向升降,从而能够调整遮热板的高度,满足模具内成型的石英坩埚的熔制的要求。
[0009]在升降机构与遮热板板之间设置有绝缘连接机构,一方面实现遮热板与升降机构之间的连接;另一方面将遮热板与升降机构间隔开,实现遮热板与升降机构之间的绝缘隔离,从而能够隔断遮热板的接地,防止石墨电极与遮热板之间产生电弧将把遮热板上的铁打化,进而能够提高石英坩埚的成型质量。
[0010]可选的,所述绝缘连接机构包括连接板,所述连接板一端与所述升降机构相互连接,另一端贯穿开设有第一连接孔,所述遮热板上贯穿开设有第二连接孔,所述连接板与所述遮热板相互连接时,所述第一连接孔与所述第二连接孔相互连通;所述连接板与所述遮热板之间设置有连接螺栓,所述连接螺栓穿过所述第一连接孔与所述第二连接孔并连接所
述连接板与所述遮热板。
[0011]通过采用上述技术方案,连接板上的第一连接孔配合遮热板上的第二连接孔,插接入连接螺栓后,实现连接板与遮热板的相互连接;并且由于采用连接螺栓,实现了连接板与遮热板之间的可拆卸连接。
[0012]可选的,所述连接螺栓上设置有绝缘垫片,所述绝缘垫片包括绝缘套筒,所述绝缘套筒套设在所述连接螺栓外侧,且所述绝缘套筒设置在所述连接螺栓的螺柱外侧壁与所述第一连接孔内壁以及所述第二连接孔内壁之间;所述绝缘套筒外侧壁上设置有绝缘垫板,所述绝缘垫板相对两侧分别与所述遮热板以及所述连接板相互连接。
[0013]通过采用上述技术方案,连接螺柱上设置绝缘垫片,绝缘垫片内的绝缘套筒设置在连接螺栓的螺柱外侧壁与第一连接孔内壁之间以及连接螺栓的螺柱外侧壁与第二连接孔内壁之间,从而能够将连接螺栓的螺柱与连接板以及连接螺栓的螺柱与遮热板相互绝缘隔离;而绝缘套筒上的绝缘垫板设置在连接板与遮热板之间,从而将连接板与遮热板之间相互绝缘隔离。绝缘套筒配合绝缘垫板的设置保证了连接板与遮热板之间的绝缘性。
[0014]可选的,所述绝缘套筒一端设置有第一绝缘片,所述连接板与所述遮热板设置在所述第一绝缘片同侧,所述连接螺栓的螺母或螺帽设置在所述第一绝缘片远离所述连接板的一侧。
[0015]通过采用上述技术方案,绝缘套筒一端的设置有第一绝缘片,第一绝缘片一侧设置有连接板与遮热板,另一侧为连接螺栓的螺帽或螺母,从而将连接螺栓与连接板或将连接螺栓与遮热板相互绝缘,防止遮热板通过连接螺栓的螺帽或螺母与连接板连通。
[0016]可选的,所述绝缘套筒两端分别设置有第一绝缘片和第二绝缘片,所述第一绝缘片与所述第二绝缘片沿所述连接螺栓的轴向设置在所述连接螺栓的螺母与螺帽之间,所述连接板与所述遮热板沿着所述连接螺栓的轴向设置在所述第一绝缘片与所述第二绝缘片之间。
[0017]通过采用上述技术方案,绝缘套筒两端设置有第一绝缘片和第二绝缘片,使得连接板与遮热板设置在第一绝缘片和第二绝缘片之间,而第一绝缘片与第二绝缘片设置在连接螺栓的螺母与螺帽之间,从而第一绝缘片与第二绝缘片的设置将连接螺栓与连接板以及遮热板相互绝缘间隔,从而配合绝缘套筒以及绝缘垫板的设置,使得连接螺栓、连接板以及遮热板之间两两相互绝缘间隔,提高了连接板与遮热板之间的绝缘性。
[0018]可选的,所述连接板朝向所述遮热板一侧开设有安装槽,所述绝缘垫板设置在所述安装槽的槽底上。
[0019]通过采用上述技术方案,连接板上安装槽的设置为绝缘垫板提供了安装空间。
[0020]可选的,所述升降机构与所述绝缘连接机构均设置有若干个,且所述升降机构与所述绝缘连接机构一一对应设置,若干所述升降机构沿所述让位孔的周向均匀即间隔设置。
[0021]通过采用上述技术方案,若干个升降机构沿让位孔的周向均匀间隔设置,从而能够保证遮热板升降的稳定性。
[0022]可选的,遮热板装置还包括控制机构,所述升降机构与所述控制机构电连,所述控制机构还电连有能够检测石英坩埚模具真空度的传感器。
[0023]通过采用上述技术方案,控制机构的设置配合传感器能够根据传感器的检测数据
自动控制升降机构对遮热板进行升降,实现自动加工。
[0024]综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:
[0025]1.绝缘垫片的设置能够将遮热板与升降机构间隔开,实现遮热板与升降机构之间的绝缘,防止遮热板接地,从而能够防止遮热板打火。
[0026]2.升降机构的设置使得遮热板能够上下调节,根据遮热板所处不同工艺阶段调节遮热板至不同的高度。
附图说明
[0027]图1是本申请实施例1中遮热板装置的整体结构示意图。
[0028]图2是本申请实施例1中绝缘连接机构的局部剖视结构示意图。
[0029]图3是本申请实施例1中控制机构的控制流程示意框图。
[0030]图4是本申请实施例2中绝缘连接机构的局部剖视结构示意图。
[0031]图中,1、遮热板;11、让位孔;12、第二连接孔;2、升降机构;3、绝缘连接机构;31、连接板;31本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种遮热板装置,其特征在于,包括遮热板(1),所述遮热板(1)上贯穿开设有容纳石墨电极穿过的让位孔(11),所述遮热板(1)一侧设置有用于驱动所述遮热板(1)升降的升降机构(2),所述升降机构(2)与所述遮热板(1)之间设置有用于将所述遮热板(1)与所述升降机构(2)绝缘隔离的绝缘连接机构(3),所述绝缘连接机构(3)沿所述遮热板(1)升降方向的两侧分别与所述遮热板(1)以及所述升降机构(2)相互连接。2.根据权利要求1所述的一种遮热板装置,其特征在于,所述绝缘连接机构(3)包括连接板(31),所述连接板(31)一端与所述升降机构(2)相互连接,另一端贯穿开设有第一连接孔(311),所述遮热板(1)上贯穿开设有第二连接孔(12),所述连接板(31)与所述遮热板(1)相互连接时,所述第一连接孔(311)与所述第二连接孔(12)相互连通;所述连接板(31)与所述遮热板(1)之间设置有连接螺栓(32),所述连接螺栓(32)穿过所述第一连接孔(311)与所述第二连接孔(12)并连接所述连接板(31)与所述遮热板(1)。3.根据权利要求2所述的一种遮热板装置,其特征在于,所述连接螺栓(32)上设置有绝缘垫片(33),所述绝缘垫片(33)包括绝缘套筒(331),所述绝缘套筒(331)套设在所述连接螺栓(32)外侧,且所述绝缘套筒(331)设置在所述连接螺栓(32)的螺柱外侧壁与所述第一连接孔(311)内壁以及所述第二连接孔(12)内壁之间;所述绝缘套筒(331)外侧壁上设置有绝缘垫板(332),所述绝缘垫板(332)相对...

【专利技术属性】
技术研发人员:李和栋徐振华付卫国赵呈旭
申请(专利权)人:江苏新熠阳高新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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