一种石英坩埚水套制造技术

技术编号:41024796 阅读:2 留言:0更新日期:2024-04-18 22:09
本申请涉及一种石英坩埚水套,其包括水套本体,所述水套本体侧壁顶部开设有安装槽和安装孔,所述安装孔用以安装螺栓,所述方形槽用于放置固定所述螺栓的螺母,石英坩埚模具与水套本体通过安装孔使用螺栓和螺母进行固定,螺栓通过安装孔穿设到安装槽内,将螺母在安装槽内安装到螺栓上,将模具与水套本体固定安装,通过使用螺栓和螺母将石英坩埚模具与水套本体固定安装,便于对模具进行拆卸,若螺栓和螺母出现滑丝现象或者螺栓难以取出时,可将螺母锯断,重新安装新的螺栓和螺母,节省安装时间,提高工作效率。本申请具有节省安装时间,提高工作效率的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及石英坩埚制作的领域,尤其是涉及一种石英坩埚水套


技术介绍

1、在石英坩埚制作中,水套是一种利用水来维持石英坩埚制作模具周围的工作温度的装置,同时水套对模具起支撑作用,为石英坩埚提供冷却,保证石英坩埚处于真空环境的装置。水套套设在模具外面,通过水套内部的循环水来防止模具过热,从而延长模具的使用寿命。

2、目前水套与模具的连接方式为,模具上方边缘架设在水套上方,模具边缘开设安装孔,水套开设与安装孔对应的螺丝孔,模具通过螺丝与水套固定在一起。生产过程中更换模具时,需拧出螺丝,实际操作中经常出现螺丝断裂无法顺利拧出,严重时还可能造成原水套中螺纹孔滑牙的问题,如果出现滑牙问题,保证不了后续水套与模具之间的真空环境,需要将水套重新攻牙,这个过程会浪费很多的时间,造成生产效率低。


技术实现思路

1、为了避免使用螺丝安装造成的滑牙后重新攻牙造成浪费时间的问题,本申请提供一种石英坩埚水套。

2、一种石英坩埚水套,包括水套本体,所述水套本体侧壁顶部开设有安装槽,所述安装槽的槽口为方形槽,所述安装槽的槽底未贯穿所述水套本体的内壁;所述水套本体上还开设安装孔,所述安装孔的轴线与所述水套本体的轴线平行,所述安装孔两端分别贯穿所述水套本体的顶端以及所述安装槽的上壁,所述安装孔用以安装螺栓,所述方形槽用于放置固定所述螺栓的螺母。

3、通过采用上述技术方案,石英坩埚模具与水套本体通过安装孔使用螺栓和螺母进行固定,螺栓通过安装孔穿设到安装槽内,将螺母在安装槽内安装到螺栓上,将模具与水套本体固定安装,安装槽开设成方形孔便于在已有的水套本体上加工成形,方便螺母的安装,通过使用螺栓和螺母将石英坩埚模具与水套本体固定安装,便于对模具进行拆卸,若螺栓和螺母出现滑丝现象或者螺栓难以取出时,可将螺母锯断,重新安装新的螺栓和螺母,节省安装时间,提高工作效率。

4、优选的,所述安装槽上侧壁与所述水套本体顶端之间厚度设置成5-10mm,所述安装槽的槽底与所述水套本体内壁之间直径方向最薄处厚度设置成6-10mm。

5、通过采用上述技术方案,将安装槽上侧壁与水套本体顶端之间厚度设置成5-10mm,避免因石英坩埚制造过程中模具温度过高造成水套本体顶端的变形,因石英坩埚制造过程中模具温度升高,将安装槽与水套本体内壁之间最薄处厚度设置成6-10mm,避免因温度过高造成水套本体顶部变形,提高水套本体使用寿命,进一步提高工作效率。

6、优选的,所述安装槽沿所述水套本体轴向的高度为10-20mm。

7、通过采用上述技术方案,石英坩埚模具与水套本体通过螺栓螺母连接时,螺母安装后螺栓剩余长度为保证安装强度可设为螺母厚度的1倍,安装槽沿水套本体轴向距离设置成所安装螺母的3-4倍,便于螺母的安装,安装速度提高,进一步提升工作效率。

8、优选的,还包括开设在所述水套本体内部的冷却水腔,所述冷却水腔为沿所述水套本体轴向及底部设置的空腔,所述冷却水腔顶端位于所述安装槽下方,所述冷却水腔底部与所述水套本体底端贯穿开设有进水口和出水口;所述冷却水腔内部还设置有液面管,所述液面管设置在所述水套本体侧壁内部,其轴线与所述水套本体轴线平行,所述液面管顶端距离所述冷却水腔顶端的距离为5-10mm,所述液面管底端与所述出水口固定连接。

9、通过采用上述技术方案,冷却水腔具有稳定模具周围温度的效果,冷水从进水口进入冷却水腔内部,直至液面高度高于液面管顶端,水进入液面管顶端通过出水口流出,从而达到水循环的效果,充分提高冷却效率,制造石英坩埚时的温度更加稳定。

10、优选的,所述液面管沿所述冷却水腔环向设置多个,所述液面管顶部均设置电磁阀。

11、通过采用上述技术方案,通过控制冷却水腔内水的流速和控制冷却水腔内温度,设置多个液面管且在液面管顶部设置电磁阀,可根据需要将不同数量的电磁阀打开,控制冷却水腔内水的流速,让冷却水腔内温度更加稳定,进一步将温度控制在一个合理的范围,可以促进工艺的稳定性。

12、优选的,所述水套本体与模具之间的空腔内还设置有温度传感器,水套本体外部设置有与所述温度传感器电连接的控制器,所述控制器与所述电磁阀电连接。

13、通过采用上述技术方案,在水套本体与模具之间的空腔内设置温度传感器可监测石英坩埚制造时模具的温度,当温度大于设定阈值时,温度传感器将电信号传递到控制器内,控制器控制电磁阀开通,加快冷却水腔内水的流速,将温度控制在稳定所设范围内,进一步控制工艺的稳定性。

14、优选的,所述温度传感器设置在所述水套本体内腔底部,沿所述水套本体周向均匀设置4个。

15、通过采用上述技术方案,温度传感器沿所述水套本体周向均匀设置4个,可从四个方向测量水套本体内腔温度,测量结果更加准确。

16、优选的,所述水套本体底部还设置有四个固定螺栓,所述固定螺栓沿所述水套本体周向均匀设置,所述固定螺栓刚性固定在所述水套本体底端,所述固定螺栓的轴线与所述水套本体的轴线平行。

17、通过采用上述技术方案,所设置的固定螺栓与熔制小车进行连接,将水套本体固定在熔制小车上方,由小车带动水套本体以及模具运动。

18、优选的,还包括所述螺栓和所述螺母,所述螺母的顶壁与所述安装槽的顶壁抵接,所述螺母的底壁与所述安装槽的底壁之间有间隙。

19、通过采用上述技术方案,通过螺母与螺栓将石英坩埚模具与水套本体固定安装固定,螺母的底壁与安装槽的底壁之间有间隙,螺栓与螺母连接后,螺栓有露头,螺母的螺纹可完全与螺栓连接,石英坩埚模具与水套本体安装更加稳定。

20、综上所述,本申请包括以下至少一种有益技术效果:

21、1.石英坩埚模具与水套本体通过安装孔使用螺栓和螺母进行固定,螺栓通过安装孔穿设到安装槽内,将螺母在安装槽内安装到螺栓上,将模具与水套本体固定安装,安装槽开设成方形孔便于在已有的水套本体上加工成形,方便螺母的安装,因石英坩埚制造过程中模具温度升高,将安装槽与水套本体内壁之间最薄处厚度设置成6-10mm,避免因温度过高造成水套本体顶部变形,通过使用螺栓和螺母将石英坩埚模具与水套本体固定安装,便于对模具进行拆卸,若螺栓和螺母出现滑丝现象或者螺栓难以取出时,可将螺母锯断,重新安装新的螺栓和螺母,节省安装时间,提高工作效率;

22、2.冷却水腔具有稳定模具周围温度的效果,冷水从进水口进入冷却水腔内部,直至液面高度高于液面管顶端,水进入液面管顶端通过出水口流出,从而达到水循环的效果,充分提高冷却效率,制造石英坩埚时的温度更加稳定;

23、3.在水套本体与模具之间的空腔内设置温度传感器可监测石英坩埚制造时模具的温度,当温度大于设定阈值时,温度传感器将电信号传递到控制器内,控制器控制电磁阀开通,加快冷却水腔内水的流速,将温度控制在稳定所设范围内,进一步控制工艺的稳定性。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种石英坩埚水套,其特征在于:包括水套本体(1),所述水套本体(1)侧壁顶部开设有安装槽(11),所述安装槽(11)的槽口为方形槽,所述安装槽(11)的槽底未贯穿所述水套本体(1)的内壁;所述水套本体(1)上还开设安装孔(12),所述安装孔(12)的轴线与所述水套本体(1)的轴线平行,所述安装孔(12)两端分别贯穿所述水套本体(1)的顶端以及所述安装槽(11)的上壁,所述安装孔(12)用以安装螺栓(2),所述方形槽用于放置固定所述螺栓(2)的螺母(3)。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚水套,其特征在于:所述安装槽(11)上侧壁与所述水套本体(1)顶端之间厚度设置成5-10mm,所述安装槽(11)的槽底与所述水套本体(1)内壁之间直径方向最薄处厚度设置成6-10mm。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚水套,其特征在于:所述安装槽(11)沿所述水套本体(1)轴向的高度为10-20mm。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚水套,其特征在于:还包括开设在所述水套本体(1)内部的冷却水腔(13),所述冷却水腔(13)为沿所述水套本体(1)轴向及底部设置的空腔(18),所述冷却水腔(13)顶端位于所述安装槽(11)下方,所述冷却水腔(13)底部与所述水套本体(1)底端贯穿开设有进水口(131)和出水口(132);所述冷却水腔(13)内部还设置有液面管(133),所述液面管(133)设置在所述水套本体(1)侧壁内部,其轴线与所述水套本体(1)轴线平行,所述液面管(133)顶端距离所述冷却水腔(13)顶端的距离为5-10mm,所述液面管(133)底端与所述出水口(132)固定连接。

5.根据权利要求4所述的石英坩埚水套,其特征在于:所述液面管(133)沿所述冷却水腔(13)环向设置多个,所述液面管(133)顶部均设置电磁阀(1331)。

6.根据权利要求5所述的石英坩埚水套,其特征在于:所述水套本体(1)与模具之间的空腔(18)内还设置有温度传感器(14),水套本体(1)外部设置有与所述温度传感器(14)电连接的控制器(15),所述控制器(15)与所述电磁阀(1331)电连接。

7.根据权利要求6所述的石英坩埚水套,其特征在于:所述温度传感器(14)设置在所述水套本体(1)内腔底部,沿所述水套本体(1)周向均匀设置4个。

8.根据权利要求1所述的石英坩埚水套,其特征在于:所述水套本体(1)底部还设置有四个固定螺栓(16),所述固定螺栓(16)沿所述水套本体(1)周向均匀设置,所述固定螺栓(16)刚性固定在所述水套本体(1)底端,所述固定螺栓(16)的轴线与所述水套本体(1)的轴线平行。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的石英坩埚水套,其特征在于:还包括所述螺栓(2)和所述螺母(3),所述螺母(3)的顶壁与所述安装槽(11)的顶壁抵接,所述螺母(3)的底壁与所述安装槽(11)的底壁之间有间隙。

...

【技术特征摘要】

1.一种石英坩埚水套,其特征在于:包括水套本体(1),所述水套本体(1)侧壁顶部开设有安装槽(11),所述安装槽(11)的槽口为方形槽,所述安装槽(11)的槽底未贯穿所述水套本体(1)的内壁;所述水套本体(1)上还开设安装孔(12),所述安装孔(12)的轴线与所述水套本体(1)的轴线平行,所述安装孔(12)两端分别贯穿所述水套本体(1)的顶端以及所述安装槽(11)的上壁,所述安装孔(12)用以安装螺栓(2),所述方形槽用于放置固定所述螺栓(2)的螺母(3)。

2.根据权利要求1所述的石英坩埚水套,其特征在于:所述安装槽(11)上侧壁与所述水套本体(1)顶端之间厚度设置成5-10mm,所述安装槽(11)的槽底与所述水套本体(1)内壁之间直径方向最薄处厚度设置成6-10mm。

3.根据权利要求2所述的石英坩埚水套,其特征在于:所述安装槽(11)沿所述水套本体(1)轴向的高度为10-20mm。

4.根据权利要求1所述的石英坩埚水套,其特征在于:还包括开设在所述水套本体(1)内部的冷却水腔(13),所述冷却水腔(13)为沿所述水套本体(1)轴向及底部设置的空腔(18),所述冷却水腔(13)顶端位于所述安装槽(11)下方,所述冷却水腔(13)底部与所述水套本体(1)底端贯穿开设有进水口(131)和出水口(132);所述冷却水腔(13)内部还设置有液面管(133),所述液面管(133)设置在所述水套本体(1)侧壁内部...

【专利技术属性】
技术研发人员:李和栋徐振华许国旗阎栋赵呈旭
申请(专利权)人:江苏新熠阳高新材料有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1