一种减薄机用清洗机构制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆减薄技术领域，公开了一种减薄机用清洗机构，固定板，固定板上活动设置有移动板；清洗装置与抛光装置，清洗装置与抛光装置上均包括安装框架并通过安装框架活动设置在移动板上；为了保证对晶圆以及台面的清洗效果，清洗装置与抛光装置通过移动板和固定板多个活动项的设置，能够从多个方位对晶圆和台面进行清洗，以保证清洗效果；同时分别设置清洗装置与抛光装置，对晶圆进行清洗以及对台面进行抛光打磨，以保证台面和晶圆的清洁；本申请结构巧妙，不仅能够有效地对晶圆进行清洗，还能对台面进行清洗，双清洗设备的设置能够能大大提高减薄机生产效率，保证产品质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种减薄机用清洗机构


[0001]本技术涉及晶圆清洗
，更具体地说，涉及一种减薄机用清洗机构。

技术介绍

[0002]晶圆减薄，是在制作集成电路中对晶圆减少厚度，晶圆的制造工艺通常包括光刻、离子注入、刻蚀、热处理、气相沉积、减薄、划片等诸多工序。在进行相关工序之后，例如对晶圆进行减薄之后，需要对晶圆进行清洗，以去除晶圆表面上的杂质；同时对承载晶圆的台面进行清洗抛光。若对晶圆清洗不充分，使得晶圆表面残留杂质，则在下一工序中，就可能损坏晶圆，导致晶圆报废；若对台面清洗不充分，台面表面残留的杂质会损坏下一片减薄的晶圆。
[0003]所以，本申请提出一种减薄机用清洗机构，来改善上述存在的不足，以保证对晶圆和台面进行充分有效地清洗。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本申请提供一种减薄机用清洗机构。
[0005]本申请提供的一种减薄机用清洗机构采用如下的技术方案：
[0006]一种减薄机用清洗机构，包括：
[0007]固定板，所述固定板上活动设置有移动板；
[0008]清洗装置与抛光装置，所述清洗装置与所述抛光装置上均包括安装框架并通过所述安装框架活动设置在所述移动板上。
[0009]通过上述技术方案，清洗装置与抛光装置通过移动板和固定板多个活动项的设置，能够从多个方位对晶圆和台面进行清洗，以保证两者的清洁。
[0010]进一步的，所述固定板上设置有横向气缸，所述气缸为磁偶式无杆气缸，所述移动板通过所述横向气缸与所述固定板活动连接。
[0011]通过上述技术方案，横向气缸能够带动移动板实现横向移动，从而带动清洗装置与抛光装置反复移动从多个方位对晶圆和台面进行清洗，且磁偶式无杆气缸占用空间小，尤其是其没有动密封件无外部泄露，能够尽可能减少清洗环节出现杂物的可能。
[0012]进一步的，所述移动板上对称固定设置有纵向气缸，所述清洗装置与所述抛光装置均通过所述安装框架与所述纵向气缸的活动块固定连接。
[0013]通过上述技术方案，纵向气缸的设置能够使清洗装置与抛光装置实现纵向的活动方向，针对不同厚度的晶圆和台面进行清洗，同时便于放置晶圆。
[0014]进一步的，所述清洗装置与所述抛光装置内均设置有旋转电机与转轴，所述旋转电机的输出轴连接有减速器，所述减速器的底部连接有联轴器，所述联轴器与所述转轴固定连接。
[0015]通过上述技术方案，将电机、减速器、联轴器均设置在安装框架内避免走线妨碍清洗，设置减速器能够有效地对转轴的转速进行控制，进而针对性地对晶圆和台面进行清洗，
使清洗工序更加科学合理；联轴器能够有效地减少旋转电机所产生的振动，以保证清洗效果。
[0016]进一步的，所述清洗装置上的所述转轴底部固定连接有毛刷，所述抛光装置上的所述转轴底部固定连接有油石。
[0017]通过上述技术方案，毛刷的设置能够对晶圆表面进行清洗，油石可以对台面进行打磨抛光，以保证晶圆和台面的清洗效果。
[0018]进一步的，所述安装框架的底部固定设置有防护罩。
[0019]通过上述技术方案，防护罩的设置能够避免外界有物体阻碍清洗流程，同时避免清洗过程中产生的杂物四处飞溅不便于清理。
[0020]综上所述，本申请包括以下至少一个有益技术效果：
[0021]（1）为了保证对晶圆和台面的清洗效果，清洗装置与抛光装置通过移动板和固定板多个活动项的设置，能够从多个方位对晶圆和台面进行清洗，以保证清洗效果；
[0022]（2）为了进一步保证清洗效果，分别设置清洗装置与抛光装置，对晶圆进行清洗，对台面进行抛光打磨，以保证清洗效果。
附图说明
[0023]图1为本申请的主视图；
[0024]图2为图1的局部剖视图；
[0025]图3为本申请的左视图；
[0026]图4为本申请的立体示意图一；
[0027]图5为本申请的立体示意图二；
[0028]图6为本申请的立体示意图三。
[0029]图中标号说明：1、固定板；2、移动板；3、清洗装置；4、抛光装置；5、固定安装框架；6、横向气缸；7、纵向气缸；8、旋转电机；9、转轴；10、减速器；11、联轴器；12、毛刷；13、油石；14、防护罩。
具体实施方式
[0030]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0031]在本申请的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0032]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中
间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0033]实施例1：
[0034]以下结合附图1
‑
6对本申请做进一步详细说明。
[0035]本申请实施例公开了一种减薄机用清洗机构，包括：
[0036]固定板1，固定板1上活动设置有移动板2；
[0037]清洗装置3与抛光装置4，清洗装置3与抛光装置4上均包括安装框架并通过安装框架活动设置在移动板2上。
[0038]参见图1、图2、图3、图4、图5和图6，固定板1上设置有横向气缸6，气缸为磁偶式无杆气缸，移动板2通过横向气缸6与固定板1活动连接，横向气缸6能够带动移动板2实现横向移动，从而带动清洗装置3与抛光装置4反复移动从多个方位对晶圆和台面进行清洗，且磁偶式无杆气缸占用空间小，尤其是其没有动密封件无外部泄露，能够尽可能减少清洗环节出现杂物的可能。
[0039]参见图1、图2、图3、图4、图5和图6，移动板2上对称固定设置有纵向气缸7，清洗装置3与抛光装置4均通过安装框架与纵向气缸7的活动块固定连接，纵向气缸7的设置能够使清洗装置3与抛光装置4实现纵向的活动方向，针对不同厚度的晶圆和台面进行清洗，同时便于放置晶圆。
[0040]参见图2、图3和图4，清洗装置3与抛光装置4内均设置有旋转电机8与转轴9，旋转电机8的输出轴连接有减速器10，减速器10的底部连接有联轴器11，联轴器11与转轴9固定连接，将电机、减速器10、联本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种减薄机用清洗机构，其特征在于，包括：固定板（1），所述固定板（1）上活动设置有移动板（2）；清洗装置（3）与抛光装置（4），所述清洗装置（3）与所述抛光装置（4）上均包括安装框架（5）并通过所述安装框架（5）活动设置在所述移动板（2）上。2.根据权利要求1所述的一种减薄机用清洗机构，其特征在于：所述固定板（1）上设置有横向气缸（6），所述气缸为磁偶式无杆气缸，所述移动板（2）通过所述横向气缸（6）与所述固定板（1）活动连接。3.根据权利要求1所述的一种减薄机用清洗机构，其特征在于：所述移动板（2）上对称固定设置有纵向气缸（7），所述清洗装置（3）与所述抛光装置（4）均通过所述安装框架（5）与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡丽君，彭名君，
申请(专利权)人：海南千鼎信息科技有限公司，
类型：新型
国别省市：