磁控下溅射镀膜机制造技术

本发明专利技术公开了磁控下溅射镀膜机，属于真空镀膜技术领域；本发明专利技术通过在镀膜座上设置调节机构，调节座上设置的多个固定槽可固定多个种类的靶材，可旋转的调节座使得多个靶材之间可以切换，即可更换镀膜座内溅镀靶材的种类，并对玻璃基板上镀上相应的金属膜，无需停机更换靶材即可进行镀膜种类的更换，提高了玻璃的生产效率；通过在旋转座一侧设置两个承载座，同时在交换座两侧设置两个镀膜座，使得该镀膜机可同时对两片玻璃进行镀膜，提高了玻璃的生产效率；通过在镀膜腔底部设置分离机构，分离机构用于带动两个镀膜座与交换座分开，操作人员便于对镀膜座上溅射的金属进行清洗，避免粘附的金属颗粒影响后续的镀膜作业，提高了人员的清洁效率。清洁效率。清洁效率。

【技术实现步骤摘要】
磁控下溅射镀膜机


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，更具体地说，它涉及磁控下溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]磁控溅射的工作原理是指电子在电场的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向靶材，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在玻璃基片上形成薄膜。镀膜通常在镀膜机内完成，为了提高镀膜机的利用率，提高生产效率，镀膜机一般为流水线作业模式，即待镀膜的基片在所述流水线上运行。
[0003]现有镀膜机在对玻璃基板进行镀膜时，镀膜机通常只有一种靶材，当需要对玻璃基板镀不同种类的金属膜时，需要更换不同的靶材，因此需要停机并打开镀膜机进行更换靶材，这极大的影响了玻璃的镀膜效率和生产效率；同时现有的镀膜机内的玻璃基板承载装置为竖直设置，操作人员需要通过梯子才能对玻璃基板承载装置进行清洁，这给操作人员带来不便，影响镀膜机的复机效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种磁控下溅射镀膜机，解决以下技术问题：当需要对玻璃基板镀不同种类的金属膜时，因此需要停机更换靶材，影响的玻璃的镀膜效率和生产效率。
[0005]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0006]磁控下溅射镀膜机，包括用于对玻璃进行镀膜的镀膜腔，所述镀膜腔底部设置有分离机构；所述镀膜腔包括交换座以及对称设置于交换座两侧的镀膜座，所述交换座一侧开设有用于玻璃进出的入口，所述入口处设置有可旋转的门板，所述交换座内设置有用于固定玻璃并带动玻璃旋转的旋转机构，所述旋转机构包括旋转座，所述旋转座通过固定轴转动安装于交换座内，所述旋转座背离固定轴一侧对称设置有两个承载座，所述承载座由两个承载杆组成，两个承载杆一侧均设置有多个夹紧组件；
[0007]所述镀膜座内设置有多个用于更换镀膜种类的调节机构，所述调节机构的调节座两端均固定安装有旋转轴，所述调节座通过两个旋转轴转动安装于镀膜座内，所述调节座上开设有多个固定槽，多个所述固定槽内分别固定有不同种类的靶材。
[0008]作为本专利技术进一步的方案，所述夹紧组件包括夹紧杆，所述夹紧杆滑动安装于承载杆上开设的滑动槽内，所述夹紧杆上设置有压紧杆，所述夹紧杆一侧设置的电动推杆一活塞杆固定连接压紧杆一侧，所述承载杆一侧固定安装的电动推杆二活塞杆固定连接夹紧杆一侧。
[0009]作为本专利技术进一步的方案，所述交换座外一侧固定安装的旋转电机输出轴固定连接固定轴端部。
[0010]作为本专利技术进一步的方案，所述镀膜座顶部固定安装有多个调节电机，多个调节
电机和多个调节机构一一对应，所述调节电机输出轴固定连接调节座顶部的旋转轴端部。
[0011]作为本专利技术进一步的方案，所述固定槽的数量设置为两到三个，固定槽上可固定两种到三种不同种类的靶材。
[0012]作为本专利技术进一步的方案，所述分离机构的底座上两侧分别滑动安装有第一分离座和第二分离座，所述底座上一侧转动安装有分离丝杠，另一侧固定安装有分离杆，所述第一分离座和第二分离座分别螺纹连接于分离丝杠两端，且均滑动安装于分离杆上，所述底座上中部固定安装有固定座，所述分离丝杠两端螺纹沿固定座对称设置。
[0013]作为本专利技术进一步的方案，所述第一分离座和第二分离座结构相同，所述底座一侧设置有用于带动分离丝杠转动的分离电机。
[0014]作为本专利技术进一步的方案，两个所述镀膜座分别固定安装于第一分离座和第二分离座上，所述交换座固定安装于固定座上。
[0015]与现有方案相比，本专利技术的有益效果：
[0016]本专利技术通过在镀膜座上设置调节机构，调节座上设置的多个固定槽可固定多个种类的靶材，可旋转的调节座使得多个靶材之间可以切换，即可更换镀膜座内溅镀靶材的种类，并对玻璃基板上镀上相应的金属膜，无需停机更换靶材即可进行镀膜种类的更换，提高了玻璃的生产效率；
[0017]通过在旋转座一侧设置两个承载座，同时在交换座两侧设置两个镀膜座，使得该镀膜机可同时对两片玻璃进行镀膜，提高了玻璃的生产效率；
[0018]通过在镀膜腔底部设置分离机构，分离机构用于带动两个镀膜座与交换座分开，操作人员便于对镀膜座上溅射的金属进行清洗，避免粘附的金属颗粒影响后续玻璃基板的镀膜作业，提高了操作人员的清洁效率；交换座内可旋转的旋转座，方便操作人员检修夹紧组件以及对承载座的清洁，提高了操作人员维修与清洁的便利性。
附图说明
[0019]图1为本专利技术磁控下溅射镀膜机的结构示意图。
[0020]图2为本专利技术中分离机构的结构示意图。
[0021]图3为本专利技术中交换座的结构示意图。
[0022]图4为本专利技术中旋转机构的结构示意图。
[0023]图5为图4中A的放大图。
[0024]图6为本专利技术中调节机构的结构示意图。
[0025]图中：1、镀膜腔；2、分离机构；21、底座；22、第一分离座；23、第二分离座；24、分离丝杠；25、分离杆；26、分离电机；27、固定座；3、交换座；31、入口；32、门板；4、镀膜座；5、旋转机构；51、旋转座；52、承载杆；521、滑动槽；53、夹紧组件；531、夹紧杆；532、压紧杆；533、电动推杆二；54、旋转电机；6、调节机构；61、调节座；62、旋转轴；63、靶材；7、调节电机。
具体实施方式
[0026]下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。本专利技术的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本专利技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好
说明本专利技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本专利技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0027]参照图1
‑
图6所示，本专利技术为磁控下溅射镀膜机，包括用于对玻璃进行镀膜的镀膜腔1，镀膜腔1底部设置有分离机构2；镀膜腔1包括交换座3以及对称设置于交换座3两侧的镀膜座4，交换座3一侧开设有用于玻璃进出的入口31，入口31处设置有门板32，门板32转动设置于入口31上，通过气泵控制门板32的旋转作业，交换座3内设置有用于固定玻璃并带动玻璃旋转的旋转机构5，旋转机构5包括旋转座51，旋转座51通过固定轴转动安装于交换座3内，交换座3外一侧固定安装有旋转电机54，旋转电机54输出轴固定连接固定轴端部，旋转座51背离固定轴一侧对称设置有两个承载座，承载座由两个承载杆52组成；两个承载杆52一侧均设置有多个夹紧组件53，夹紧组件53包括夹紧杆531，夹紧杆531为L型，夹紧杆531滑动安装于承载杆52上开设的滑动槽521内，夹紧杆531上设置有压紧杆532，夹紧杆531一侧设置有电动推杆一，电动推杆一活塞杆固定连接压紧杆532一侧，承载杆52一侧固定安装有电动推杆二533，电动推杆二533活塞杆固定连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.磁控下溅射镀膜机，其特征在于，包括用于对玻璃进行镀膜的镀膜腔(1)，所述镀膜腔(1)底部设置有分离机构(2)；所述镀膜腔(1)包括交换座(3)以及对称设置于交换座(3)两侧的镀膜座(4)，所述交换座(3)一侧开设有用于玻璃进出的入口(31)，所述入口(31)处设置有可旋转的门板(32)，所述交换座(3)内设置有用于固定玻璃并带动玻璃旋转的旋转机构(5)，所述旋转机构(5)包括旋转座(51)，所述旋转座(51)通过固定轴转动安装于交换座(3)内，所述旋转座(51)背离固定轴一侧对称设置有两个承载座，所述承载座由两个承载杆(52)组成，两个承载杆(52)一侧均设置有多个夹紧组件(53)；所述镀膜座(4)内设置有多个用于更换镀膜种类的调节机构(6)，所述调节机构(6)的调节座(61)两端均固定安装有旋转轴(62)，所述调节座(61)通过两个旋转轴(62)转动安装于镀膜座(4)内，所述调节座(61)上开设有多个固定槽，多个所述固定槽内分别固定有不同种类的靶材(63)。2.根据权利要求1所述的磁控下溅射镀膜机，其特征在于，所述夹紧组件(53)包括夹紧杆(531)，所述夹紧杆(531)滑动安装于承载杆(52)上开设的滑动槽(521)内，所述夹紧杆(531)上设置有压紧杆(532)，所述夹紧杆(531)一侧设置的电动推杆一活塞杆固定连接压紧杆(532)一侧，所述承载杆(52)一侧固定安装的电动推杆二(533)活塞杆固定连接夹紧杆(531)一侧。3.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟，
申请(专利权)人：中熵科技徐州有限公司，
类型：发明
国别省市：