下载磁控下溅射镀膜机的技术资料

文档序号:37998316

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本发明公开了磁控下溅射镀膜机,属于真空镀膜技术领域;本发明通过在镀膜座上设置调节机构,调节座上设置的多个固定槽可固定多个种类的靶材,可旋转的调节座使得多个靶材之间可以切换,即可更换镀膜座内溅镀靶材的种类,并对玻璃基板上镀上相应的金属膜,无需...
该专利属于中熵科技(徐州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中熵科技(徐州)有限公司授权不得商用。

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