一种圆片翻转异常侦测方法及系统技术方案

本申请公开了一种圆片翻转异常侦测方法及系统，属于测量仪器技术领域。该圆片翻转异常侦测系统中，针对圆片翻转异常时无警报问题进行了结构改进，增加了传感器，在翻转异常时及时发出警报，降低异常带来的对晶圆的影响。降低异常带来的对晶圆的影响。降低异常带来的对晶圆的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种圆片翻转异常侦测方法及系统


[0001]本申请涉及测量仪器
，特别涉及一种圆片翻转异常侦测方法及系统。

技术介绍

[0002]BSM背面溅射是针对圆片背面进行工艺，圆片在Foup(前开式晶圆传送盒，这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器)内是正面朝上，进机台作业前和作业完成后需要对圆片进行180度翻转。
[0003]翻转异常出现圆片作业前未翻转，机台偶发无感知报警，圆片正面发生金属溅射造成报废。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种圆片翻转异常侦测方法及系统。所述技术方案如下：
[0005]根据本申请的一个方面，提供了一种圆片翻转异常侦测系统，所述系统包括：背面溅射设备、翻转机构、侦测传感器和声光报警装置；
[0006]所述背面溅射设备用于对晶圆圆片的背面进行工艺；
[0007]所述翻转机构位于所述背面溅射设备工作范围内，所述翻转机构用于固定所述圆片并进行翻转操作；
[0008]所述侦测传感器设置于所述背面溅射设备处，所述侦测传感器的侦测空间包括所述翻转机构的动作空间；
[0009]所述声光报警装置与所述侦测传感器电性进行信息交互，所述声光报警装置用于所述侦测传感器侦测异常时发出报警。
[0010]可选的，所述侦测传感器包括发射传感器和接受传感器，所述发射传感器和所述接受传感器间隔设置；
[0011]所述发射传感器用于向所述接受传感器发射探测光，所述接受传感器用于接收所述探测光。
[0012]可选的，所述声光报警装置包括报警蜂鸣器和重置按钮；
[0013]所述报警蜂鸣器报警时带灯光闪烁，所述重置按钮用于报警后恢复。
[0014]可选的，所述探测光为红外光。
[0015]可选的，所述探测光为可见光。
[0016]可选的，所述圆片的厚度在50um～990um之间。
[0017]根据本申请的另一个方面，提供了一种圆片翻转异常侦测方法，所述方法用于上述所述的圆片翻转异常侦测系统，所述方法包括：
[0018]响应于所述圆片传到所述翻转机构，所述侦测传感器与所述翻转机构启动；
[0019]响应于所述侦测传感器感应时间超过目标感应时间，所述声光报警装置报警。
[0020]可选的，所述方法还包括：
[0021]响应于声光报警装置未报警，侦测所述圆片完成翻转。
[0022]本申请实施例中，提供了一种圆片翻转异常侦测系统，针对圆片翻转异常时无警报问题进行了结构改进，增加了传感器，在翻转异常时及时发出警报，降低异常带来的对晶圆的影响。
附图说明
[0023]图1是本申请一个示意性实施例提供的圆片翻转异常侦测系统的结构示意图；
[0024]图2是本申请一个示意性实施例提供的侦测传感器的结构示意图；
[0025]图3示出了本申请一个示例性实施例提供的圆片翻转异常侦测方法的逻辑示意图。
具体实施方式
[0026]为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请实施方式作进一步地详细描述。
[0027]在本文中提及的“多个”是指两个或两个以上。“和/或”，描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0028]请参考图1，其示出了本申请一个示意性实施例提供的圆片翻转异常侦测系统的结构示意图。提供了一种圆片翻转异常侦测系统，所述系统包括背面溅射设备10、翻转机构20、侦测传感器30和声光报警装置40。
[0029]背面溅射设备10用于对晶圆圆片的背面进行工艺，翻转机构20位于背面溅射设备10工作范围内，翻转机构20用于固定圆片并进行翻转操作，侦测传感器30设置于背面溅射设备10处，侦测传感器30的侦测空间包括翻转机构20的动作空间。
[0030]其中，声光报警装置与侦测传感器电性进行信息交互，声光报警装置用于侦测传感器侦测异常时发出报警。
[0031]可选的，如图2所示，侦测传感器30包括发射传感器31和接受传感器32，发射传感器和接受传感器间隔设置。
[0032]发射传感器用于向接受传感器发射探测光，接受传感器用于接收探测光。
[0033]可选的，声光报警装置包括报警蜂鸣器和重置按钮。
[0034]报警蜂鸣器报警时带灯光闪烁，重置按钮用于报警后恢复。
[0035]可选的，探测光为红外光或探测光为可见光。
[0036]综上所述，本申请实施例提供了一种圆片翻转异常侦测系统，针对圆片翻转异常时无警报问题进行了结构改进，增加了传感器，在翻转异常时及时发出警报，降低异常带来的对晶圆的影响。
[0037]请参考图3，其示出了本申请另一个示意性实施例提供的圆片翻转异常侦测方法的逻辑示意图。
[0038]响应于圆片传到翻转机构，侦测传感器与翻转机构启动。
[0039]第一种情况(异常未翻转流程)，圆片传到翻转机构(Flip)，响应于侦测传感器感应时间超过目标感应时间(如8秒)，声光报警装置进行蜂鸣报警，并通过手臂组件将圆片取出。
[0040]第二种情况(正常翻转流程)，圆片传到翻转机构(Flip)，圆片进行翻转，尤其是翻转垂直状态下，翻转机构的红外线或可见光被遮挡，则感应时间截止，并小于目标感应时间(如8秒)，进一步的，完成翻转后，翻转机构的红外线或可见光恢复传送，感应时间不超过目标感应时间(如8秒)，完成翻转后，通过手臂组件将圆片取出。
[0041]在一种可能的实施方式中，目标感应时间根据翻转时间设置，如目标感应时间(8秒)需大于第一阶段翻转时间(5.4秒)和第二阶段翻转时间(6.6秒)，但目标感应时间(8秒)不大于两个阶段的总时间。
[0042]本申请实施例还提供了一种计算机可读介质，该计算机可读介质存储有至少一条指令，所述至少一条指令由所述处理器加载并执行以实现如上各个实施例所述的圆片翻转异常侦测方法。
[0043]以上所述仅为本申请的可选实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种圆片翻转异常侦测系统，其特征在于，所述系统包括：背面溅射设备、翻转机构、侦测传感器和声光报警装置；所述背面溅射设备用于对晶圆圆片的背面进行工艺；所述翻转机构位于所述背面溅射设备工作范围内，所述翻转机构用于固定所述圆片并进行翻转操作；所述侦测传感器设置于所述背面溅射设备处，所述侦测传感器的侦测空间包括所述翻转机构的动作空间；所述声光报警装置与所述侦测传感器电性进行信息交互，所述声光报警装置用于所述侦测传感器侦测异常时发出报警。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述侦测传感器包括发射传感器和接受传感器，所述发射传感器和所述接受传感器间隔设置；所述发射传感器用于向所述接受传感器发射探测光，所述接受传感器用于接收所述探测光。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁爱祥，谭秀文，吕剑，
申请(专利权)人：华虹半导体无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：