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本申请公开了一种圆片翻转异常侦测方法及系统，属于测量仪器技术领域。该圆片翻转异常侦测系统中，针对圆片翻转异常时无警报问题进行了结构改进，增加了传感器，在翻转异常时及时发出警报，降低异常带来的对晶圆的影响。降低异常带来的对晶圆的影响。降低异常...
该专利属于华虹半导体（无锡）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华虹半导体（无锡）有限公司授权不得商用。

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