一种寻边器制造技术

本申请涉及自动化装置领域，尤其是涉及一种寻边器，包括机架、第一滑移件、第一驱动件、第二滑移件、第二驱动件、旋转件、驱动电机、吸附件和CCD检测机构；所述第一滑移件滑移设置于所述机架上，所述第一驱动件用于驱动所述第一滑移件沿第一方向滑动；所述第二滑移件滑移设置于所述第一滑移件上，所述第二驱动件用于驱动所述第二滑移件沿第二方向滑动；所述驱动电机固定于所述第二滑移件上，所述驱动电机用于驱动所述旋转件旋转，所述吸附件固定于所述旋转件上；所述CCD检测机构设置于所述机架上，所述CCD检测机构位于所述吸附件上方。本申请便于将晶圆准确的传送至准确的位置。便于将晶圆准确的传送至准确的位置。便于将晶圆准确的传送至准确的位置。

【技术实现步骤摘要】
一种寻边器


[0001]本申请涉及自动化装置领域，尤其是涉及一种寻边器。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是。高纯度的溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]相关技术中公开了一种晶圆的送料装置，送料装置包括盒体和机械手，盒体内放置有多个晶圆，机械手上设置有吸附机构，机械手在传送晶圆的过程中，首先通过吸附机构将盒体内的吸附机构进行吸附，然后通过机械手将晶圆传送至下一道工序。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为存在以下缺陷：由于晶圆在传送的过程中需要经过多个工序，而晶圆是工作人员手动放置于盒体内部的，因此无法保证盒体内的多个晶圆是对齐的，因此放置于盒体内部的多个晶圆之间是有偏差，而机械手在传送晶圆的过程中，是通过机械手上的吸附机构直接吸附放置于盒体内的晶圆，然后通过机械手将晶圆传送至下一道工序，因此机械手在传送晶圆的过程中，导致晶圆在传送至下一道工序的过程中，每个晶圆的位置会存在差异，无法保证每个晶圆传送至指定的位置，降低了晶圆的加工品质。

技术实现思路

[0005]为了保证将晶圆准确的传送至指定的位置，本申请提供一种寻边器。
[0006]本申请提供的一种寻边器采用如下的技术方案：一种寻边器，包括机架、第一滑移件、第一驱动件、第二滑移件、第二驱动件、旋转件、驱动电机、吸附件和CCD检测机构；所述第一滑移件滑移设置于所述机架上，所述第一驱动件用于驱动所述第一滑移件沿第一方向滑动；所述第二滑移件滑移设置于所述第一滑移件上，所述第二驱动件用于驱动所述第二滑移件沿第二方向滑动；所述驱动电机固定于所述第二滑移件上，所述驱动电机用于驱动所述旋转件旋转，所述吸附件固定于所述旋转件上；所述CCD检测机构设置于所述机架上，所述CCD检测机构位于所述吸附件上方。
[0007]通过采用上述技术方案，在传送晶圆的过程中，首先通过机械手将盒体内的晶圆传送至吸附件的表面；当吸附件吸附住晶圆后，通过第一驱动件驱动第一滑移件沿第一方向滑动，从而带动晶圆沿第一方向滑动；然后通过第二驱动件驱动第二滑移件沿第二方向滑动，从而带动晶圆沿第二方向滑动；最后通过驱动电机驱动旋转件旋转，旋转件带动晶圆旋转，最后通过CCD检测机构检测晶圆的位置是否准确，从而实现对晶圆进行精准定位，然后解除吸附件对晶圆的吸附作用，最后通过机械手将定位后的晶圆传送至下一道工序；由于CCD检测机构具有高定位精度，高速定位等优点，因此大大缩短了晶圆的传送与处理时间，不仅提高了整体的生产效率，同时也将晶圆准确的传送至下一道工序，提升了晶圆的加工品质。
[0008]可选的，所述旋转件包括旋转杆和旋转盘，所述旋转杆的一端与所述旋转盘固定连接，所述旋转杆的另一端与所述驱动电机的输出轴固定连接；所述吸附件固定于所述旋转盘上。
[0009]通过采用上述技术方案，旋转杆将旋转盘固定于驱动电机的输出轴上，驱动电机驱动旋转杆旋转，旋转杆在旋转的过程中带动旋转盘旋转，旋转盘带动吸附件旋转，吸附件带动晶圆旋转；同时吸附件在吸附晶圆的过程中，由于晶圆的厚度很薄，旋转盘的设置，增大了旋转件与晶圆之间的接触面积，从而减小了旋转件对晶圆的压强，对晶圆有保护作用。
[0010]可选的，所述机架上固定设置有第一防护罩，所述第一滑移件、所述第一驱动件、所述第二滑移件、所述第二驱动件和所述驱动电机均位于所述第一防护罩内。
[0011]通过采用上述技术方案，由于第一滑移件、第一驱动件、第二滑移件、第二驱动件和驱动电机均位于第一防护罩内，因此，第一防护罩不仅对工作人员有保护作用，同时也增加了第一滑移件、第一驱动件、第二滑移件、第二驱动件和驱动电机表面的清洁度。
[0012]可选的，所述第一防护罩上开设有第一避位孔，所述第一避位孔的直径大于所述旋转杆的直径，所述旋转杆穿过所述第一避位孔。
[0013]通过采用上述技术方案，由于第一避位孔的直径大于旋转杆的直径，因此第一滑移件带动旋转杆沿第一方向运动的过程中，旋转杆不会接触到第一防护罩，对旋转杆和第一防护罩均有保护作用；同时第二滑移件带动旋转杆沿第二方向运动的过程中，旋转杆也不会接触到第一防护罩，对旋转杆和第一防护罩均有保护作用，从而延长了旋转杆和第一防护罩的使用寿命。
[0014]可选的，所述第一防护罩上设置有用于发光的发光组件，所述发光组件位于所述旋转盘下方。
[0015]通过采用上述技术方案，由于发光组件位于旋转盘的下方，通过发光组件发出光源照射晶圆的底部，从而使晶圆的边缘与寻边器之间形成明显的色差，晶圆的边缘就会显得更加清晰，从而使CCD检测机构便于快速识别晶圆的位置，进而实现对晶圆快速定位。
[0016]可选的，所述发光组件包括定位件和发光件，所述定位件固定于所述第一防护罩上，所述定位件上开设有环形槽，所述发光件固定于所述环形槽内。
[0017]通过采用上述技术方案，定位件上的环形槽对发光件有定位作用，增加了工作人员将放光件安装于定位件上的效率。
[0018]可选的，所述定位件上开设有第二避位孔，所述第二避位孔的直径大于所述旋转杆的直径。
[0019]通过采用上述技术方案，由于第二避位孔的直径大于旋转杆的直径，因此第一滑移件带动旋转杆沿第一方向运动的过程中，旋转杆不会接触到定位件，对旋转杆和定位件均有保护作用；同时第二滑移件带动旋转杆沿第二方向运动的过程中，旋转杆也不会接触到定位件，对旋转杆和定位件均有保护作用，从而延长了旋转杆和定位件的使用寿命。
[0020]可选的，还包括控制器，还包括控制器，所述控制器用于控制所述第一驱动件驱动所述第一滑移件沿第一方向滑动，所述控制器用于控制所述第二驱动件驱动所述第二滑移件沿第二方向滑动，所述控制器用于控制所述驱动电机驱动所述旋转件旋转。
[0021]通过采用上述技术方案，控制器不仅可以实现自动化控制第一驱动件驱动第一滑移件沿第一方向滑动，同时也可以实现自动化控制第二驱动件驱动第二滑移件沿第二方向
滑动，还可以实现自动化控制驱动电机驱动旋转件旋转，不仅提升了整体的工作效率，同时由于控制器的结构简单，因此也降低了寻边器整体的生产成本。
[0022]可选的，所述机架上固定设置有第一导轨，所述第一滑移件上固定设置有第一滑块，所述第一导轨穿过所述第一滑块，所述第一滑块与所述第一导轨滑移配合。
[0023]通过采用上述技术方案，由于第一导轨是固定于机架上的，第一滑块是固定于第一滑移件上的，因此当第一滑移件沿第一方向滑动的过程中，第一导轨对第一滑块有导向作用，增加了第一滑块沿第一方向滑动的稳定性，从而增加了第一滑移件沿第一方向滑动的稳定性。
[0024]可选的，所述第一防护罩上固定设置有第二防护罩，所述CCD检测机构位于所述第二防护罩内，所述第二防护罩上开设有第三避位孔，所述第三避位孔位于所述CCD检测机构下方。
[0025]通过采用上述技术方案，由于C本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种寻边器，其特征在于：包括机架(1)、第一滑移件(2)、第一驱动件(3)、第二滑移件(4)、第二驱动件(5)、旋转件(6)、驱动电机(7)、吸附件(8)和CCD检测机构(9)；所述第一滑移件(2)滑移设置于所述机架(1)上，所述第一驱动件(3)用于驱动所述第一滑移件(2)沿第一方向滑动；所述第二滑移件(4)滑移设置于所述第一滑移件(2)上，所述第二驱动件(5)用于驱动所述第二滑移件(4)沿第二方向滑动；所述驱动电机(7)固定于所述第二滑移件(4)上，所述驱动电机(7)用于驱动所述旋转件(6)旋转，所述吸附件(8)固定于所述旋转件(6)上；所述CCD检测机构(9)设置于所述机架(1)上，所述CCD检测机构(9)位于所述吸附件(8)上方。2.根据权利要求1所述的一种寻边器，其特征在于：所述旋转件(6)包括旋转杆(61)和旋转盘(62)，所述旋转杆(61)的一端与所述旋转盘(62)固定连接，所述旋转杆(61)的另一端与所述驱动电机(7)的输出轴固定连接；所述吸附件(8)固定于所述旋转盘(62)上。3.根据权利要求2所述的一种寻边器，其特征在于：所述机架(1)上固定设置有第一防护罩(16)，所述第一滑移件(2)、所述第一驱动件(3)、所述第二滑移件(4)、所述第二驱动件(5)和所述驱动电机(7)均位于所述第一防护罩(16)内。4.根据权利要求3所述的一种寻边器，其特征在于：所述第一防护罩(16)上开设有第一避位孔(161)，所述第一避位孔(161)的直径大于所述旋转杆(61)的直径，所述旋转杆(61)穿过所述第一避位孔(161)。5.根据权利要求3所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：余磊，李亚洲，伦汉忠，梁伟东，
申请(专利权)人：东莞市智赢智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：