【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆转运的，尤其是涉及一种晶圆夹持手指。
技术介绍
1、晶圆是指制作精密半导体元件用到的硅晶片。晶圆是将高浓度多晶硅溶解得到的溶解液，掺入籽晶后拉伸成柱状，最后进行切片、打磨和抛光后制成的。在半导体元件制作过程中，时常需要搬运晶圆。而晶圆具有容易破碎和容易刮花的特性，搬运难度较高。
2、通常使用晶圆机械臂搬运晶圆，而晶圆机械臂的晶圆夹持手指是搬运晶圆的主要部分之一。目前的晶圆夹持手指，包括搬运块和搬运板，搬运块安装于搬运板。当晶圆搬运手指将晶圆托起后将晶圆转运至既定的位置。但是该种晶圆搬运手指只能承托晶圆，在搬运过程中会出现因承托不稳而使晶圆从搬运手指脱落的情况。对此，专利技术人认为需要改进。
技术实现思路
1、为了减少在搬运过程中因承托不稳而使晶圆从晶圆搬运手指脱落的情况，本申请提供了一种晶圆夹持手指。
2、本申请提供的一种晶圆夹持手指采用如下的技术方案：
3、一种晶圆夹持手指，包括安装架、夹持结构和控制器，所述安装架安装于用于搬运晶圆的机械臂，所述夹持结构安装于所述安装架并用于夹持晶圆，所述夹持结构与所述控制器连接。
4、通过采用上述技术方案，控制器发送指令控制夹持结构夹持晶圆，实现夹持晶圆的功能，使得晶圆夹持手指使晶圆的搬运更加稳定，提高了搬运晶圆的效率。
5、可选的，所述夹持结构包括至少两个限位块、驱动件和推动件，所述安装架包括牙叉和安装部，所述安装部安装于所述机械臂，所述牙叉安装于所述安装部远离所述机械
6、通过采用上述技术方案，在推动件推动晶圆进入夹持空间后，限位块与晶圆抵接限制晶圆的移动并配合推动件完成夹持晶圆的动作；控制器发送指令控制驱动件驱动推动件移动，推动件往夹持空间内的方向推动晶圆，推动件与限位块配合夹持晶圆，实现夹持晶圆的功能。
7、可选的，包括检测单元，所述检测单元安装于所述安装架并用于检测所述安装架上是否承托有晶圆，所述检测单元与所述控制器连接。
8、通过采用上述技术方案，当检测单元检测到安装架上承托有晶圆后，检测单元向控制器发送信号，控制器控制夹持结构夹持晶圆，实现晶圆夹持手指的自动夹持的功能。
9、可选的，所述检测单元包括定位感应件，所述定位感应件与所述控制器连接，所述定位感应件安装于所述牙叉并用于感应所述牙叉上是否承托有晶圆，当所述定位感应件检测到晶圆时，所述定位感应件向所述控制器发送定位信号，所述控制器响应于所述定位信号并控制驱动件动作。
10、通过采用上述技术方案，当定位感应件检测到牙叉上承托有晶圆时，定位感应件向控制器发送定位信号，控制器控制驱动件驱动推动件移动，推动件推动晶圆向夹持空间方向移动，推动件与限位块配合夹持晶圆，实现自动夹持晶圆的功能。
11、可选的，所述推动件包括推杆和抵接块，所述驱动件用于驱动所述推杆往夹持空间方向移动，所述抵接块安装于所述推杆远离所述驱动件的一端，所述抵接块与所述限位块围合形成夹持空间并用于放置晶圆。
12、通过采用上述技术方案，推杆通过抵接块推动晶圆，抵接块与限位块配合实现夹持晶圆的功能；当收到定位信号时控制器控制驱动件以驱动推杆移动，推杆向夹持空间方向推动晶圆，抵接块配合限位块夹持晶圆，实现自动夹持晶圆的功能。
13、可选的，所述限位块包括抵接部和挡板，所述挡板与所述牙叉固定连接，所述抵接部与所述挡板固定连接，所述抵接部位于所述挡板背离所述牙叉的一面，所述抵接部与所述挡板之间形成第一夹角，所述第一夹角的角度在80°-90°之间，所述抵接块用于与晶圆抵接的抵接面与所述牙叉的表面的延长面形成第二夹角，所述第二夹角的角度在80°-90°之间。
14、通过采用上述技术方案，当晶圆边缘与限位块抵接时，晶圆沿第一夹角位于抵接部的一边向挡板滑移，直至晶圆与挡板抵接，当晶圆边缘与抵接块抵接时，晶圆沿第二夹角位于抵接块的一边向牙叉滑移，直至晶圆与牙叉抵接，限位块与抵接块配合将晶圆夹持得更加牢固，提高了夹持的稳定性。
15、可选的，所述夹持结构包括导向件，所述导向件安装于所述安装部，所述驱动件通过所述导向件驱动所述推杆移动，所述导向件用于引导所述推杆向夹持空间方向移动。
16、通过采用上述技术方案，驱动件驱动导向件移动，导向件引导推杆以推动晶圆向夹持空间方向移动，使推杆的动作更加稳定。
17、可选的，所述导向件包括导轨、顶盖、连接块和滑块，所述导轨安装于所述安装部，所述导轨的长度方向与所述推杆的移动方向平行，所述滑块与所述导轨滑动配合，所述顶盖的一面与所述滑块背离所述导轨的一面固定连接，所述连接块连接于所述驱动件，所述顶盖与所述连接块固定连接，所述推杆与所述顶盖背离所述连接块的一侧固定连接。
18、通过采用上述技术方案，驱动件驱动连接块移动，连接块带动顶盖移动，顶盖通过滑块相对于导轨滑动，顶盖引导推杆朝向夹持空间内的方向移动，实现推动晶圆的动作；顶盖引导推杆朝向夹持空间内的方向移动，使推杆的动作更加精准。
19、可选的，所述检测单元包括夹持感应件、复位感应件和感应片，所述夹持感应件和所述复位感应件沿推杆的长度方向安装于所述安装部，且所述夹持感应件和所述复位感应件均位于所述顶盖背离所述导轨的一侧，所述夹持感应件和所述复位感应件之间形成有间距；
20、所述夹持感应件和所述复位感应件均与所述控制器连接，所述夹持感应件用于检测所述抵接块是否到达夹持位，所述复位感应件用于检测所述抵接块是否复位；
21、所述感应片安装于所述顶盖的侧面且所述感应片可于所述夹持感应件和所述复位感应件之间滑移。
22、通过采用上述技术方案，当推杆动作时，顶盖带动感应片沿推杆运动方向移动，夹持感应件检测到感应片时，夹持感应件将夹持信号发送给控制器，控制器响应于夹持信号并控制驱动件停止驱动推杆推动晶圆，实现了自动检测抵接块是否夹持晶圆的功能；反之复位感应件检测到感应片时，复位感应件将复位信号发送给控制器，控制器响应于复位信号并控制驱动件停止驱动推杆复位，实现了检测抵接块是否完成复位的功能。
23、可选的，包括告警器，所述告警器安装于所述安装部的一侧，所述告警器与所述控制器连接，当所述定位感应件检测到所述牙叉没有承托晶圆时，所述定位感应件向所述控制器发送告警信号，所述控制器响应于所述告警信号并控制所述告警器发出警告。
24、通过采用上述技术方案，定位感应件检测到牙叉没有承托晶圆，定位感应件将告警信号发送给控制器，控制器控制告警器发出警告，实现自动检测夹持结构是否夹持晶圆的功能，提高了晶圆夹持手指的可靠性。
25、综上所本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆夹持手指，其特征在于，包括安装架(1)、夹持结构(2)和控制器，所述安装架(1)安装于用于搬运晶圆的机械臂，所述夹持结构(2)安装于所述安装架(1)并用于夹持晶圆，所述夹持结构(2)与所述控制器连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述夹持结构(2)包括至少两个限位块(21)、驱动件(22)和推动件(23)，所述安装架(1)包括牙叉(11)和安装部(12)，所述安装部(12)安装于所述机械臂，所述牙叉(11)安装于所述安装部(12)远离所述机械臂的一侧并用于承托晶圆，所述推动件(23)安装于所述安装部(12)，至少两个所述限位块(21)安装于所述牙叉(11)远离所述推动件(23)的一端，所述限位块(21)与所述推动件(23)围合形成夹持空间以用于放置晶圆，所述控制器通过控制电磁阀控制所述驱动件(22)的开关，所述驱动件(22)安装于所述安装部(12)，所述驱动件(22)用于驱动推动件(23)向夹持空间方向移动。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，包括检测单元(3)，所述检测单元(3)安装于所述安装架(
4.根据权利要求3所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述检测单元(3)包括定位感应件(31)，所述定位感应件(31)与所述控制器连接，所述定位感应件(31)安装于所述牙叉(11)并用于感应所述牙叉(11)上是否承托有晶圆，当所述定位感应件(31)检测到晶圆时，所述定位感应件(31)向所述控制器发送定位信号，所述控制器响应于所述定位信号并控制驱动件(22)动作。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述推动件(23)包括推杆(232)和抵接块(231)，所述驱动件(22)用于驱动所述推杆(232)往夹持空间方向移动，所述抵接块(231)安装于所述推杆(232)远离所述驱动件(22)的一端，所述抵接块(231)与所述限位块(21)围合形成夹持空间并用于放置晶圆。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述限位块(21)包括抵接部(211)和挡板(212)，所述挡板(212)与所述牙叉(11)固定连接，所述抵接部(211)与所述挡板(212)固定连接，所述抵接部(211)位于所述挡板(212)背离所述牙叉(11)的一面，所述抵接部(211)与所述挡板(212)之间形成第一夹角，所述第一夹角的角度在80°-90°之间，所述抵接块(231)用于与晶圆抵接的抵接面与所述牙叉(11)的表面的延长面形成第二夹角，所述第二夹角的角度在80°-90°之间。
7.根据权利要求5所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述夹持结构(2)包括导向件(24)，所述导向件(24)安装于所述安装部(12)，所述驱动件(22)通过所述导向件(24)驱动所述推杆(232)移动，所述导向件(24)用于引导所述推杆(232)向夹持空间方向移动。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述导向件(24)包括导轨(241)、顶盖(243)、连接块(244)和滑块(242)，所述导轨(241)安装于所述安装部(12)，所述导轨(241)的长度方向与所述推杆(232)的移动方向平行，所述滑块(242)与所述导轨(241)滑动配合，所述顶盖(243)的一面与所述滑块(242)背离所述导轨(241)的一面固定连接，所述连接块(244)连接于所述驱动件(22)，所述顶盖(243)与所述连接块(244)固定连接，所述推杆(232)与所述顶盖(243)背离所述连接块(244)的一侧固定连接。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述检测单元(3)包括夹持感应件(33)、复位感应件(34)和感应片(32)，所述夹持感应件(33)和所述复位感应件(34)沿推杆(232)的长度方向安装于所述安装部(12)，且所述夹持感应件(33)和所述复位感应件(34)均位于所述顶盖(243)背离所述导轨(241)的一侧，所述夹持感应件(33)和所述复位感应件(34)之间形成有间距；
10.根据权利要求4所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，包括告警器(4)，所述告警器(4)安装于所述安装部(12)的一侧，所述告警器(4)与所述控制器连接，当所述定位感应件(31)检测到所述牙叉(11)没有承托晶圆时，所述定位感应件(31)向所述控制器发送告警信号，所述控制器响应于所述告警信号并控制所述告警器(4)发出警告。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆夹持手指，其特征在于，包括安装架(1)、夹持结构(2)和控制器，所述安装架(1)安装于用于搬运晶圆的机械臂，所述夹持结构(2)安装于所述安装架(1)并用于夹持晶圆，所述夹持结构(2)与所述控制器连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述夹持结构(2)包括至少两个限位块(21)、驱动件(22)和推动件(23)，所述安装架(1)包括牙叉(11)和安装部(12)，所述安装部(12)安装于所述机械臂，所述牙叉(11)安装于所述安装部(12)远离所述机械臂的一侧并用于承托晶圆，所述推动件(23)安装于所述安装部(12)，至少两个所述限位块(21)安装于所述牙叉(11)远离所述推动件(23)的一端，所述限位块(21)与所述推动件(23)围合形成夹持空间以用于放置晶圆，所述控制器通过控制电磁阀控制所述驱动件(22)的开关，所述驱动件(22)安装于所述安装部(12)，所述驱动件(22)用于驱动推动件(23)向夹持空间方向移动。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，包括检测单元(3)，所述检测单元(3)安装于所述安装架(1)并用于检测所述安装架(1)上是否承托有晶圆，所述检测单元(3)与所述控制器连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述检测单元(3)包括定位感应件(31)，所述定位感应件(31)与所述控制器连接，所述定位感应件(31)安装于所述牙叉(11)并用于感应所述牙叉(11)上是否承托有晶圆，当所述定位感应件(31)检测到晶圆时，所述定位感应件(31)向所述控制器发送定位信号，所述控制器响应于所述定位信号并控制驱动件(22)动作。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述推动件(23)包括推杆(232)和抵接块(231)，所述驱动件(22)用于驱动所述推杆(232)往夹持空间方向移动，所述抵接块(231)安装于所述推杆(232)远离所述驱动件(22)的一端，所述抵接块(231)与所述限位块(21)围合形成夹持空间并用于放置晶圆。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆夹持手指，其特征在于，所述限位块(21)包括抵接部(211)和挡板(212)，所述挡板(212)与所述牙叉(11)固...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗日红，余磊，雷聪，高灵莉，
申请(专利权)人：东莞市智赢智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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