自动跳货方法技术

本发明专利技术提供一种自动跳货方法，所述方法包括：晶圆通过扫描进入YE站点进行跳货时，根据晶圆在进入YE站点前所执行的recipe对YE站点的扫描机台设置机台最小允许等待时间、机台最大允许等待时间及机台允许剩余等待时间，并根据扫描机台的类型对所述机台最小允许等待时间的数值进行设置；判断晶圆当前剩余等待时间是否大于机台允许剩余等待时间，若判断结果为否，直接执行跳货，若判断结果为是，根据机台最小允许等待时间、机台允许剩余等待时间及晶圆当前剩余等待时间判断是否对晶圆进行跳货。通过本发明专利技术解决了以现有的自动跳货方法进行自动跳货时存在的针对性差及时效性差的问题。动跳货时存在的针对性差及时效性差的问题。

【技术实现步骤摘要】
自动跳货方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种自动跳货方法。

技术介绍

[0002]在半导体芯片制造过程中，合理、高效的缺陷扫描体系可实现实时监控晶圆缺陷状态并及时确认缺陷原因的功能。现在每个工厂(FAB)都有上百机台，数百种产品，上千条Flow，并有着不同QT(允许等待时间)的卡控，因此，在有限的QT内如何进行扫货及接近QT的lot的跳货规则均在实时监控缺陷与提升良率的过程中发挥着重要的作用。
[0003]目前，关于RQT(剩余等待时间)跳货的流程为：首先，晶圆通过YE的扫描规则进入YE站点(YE站点的扫描机台主要担负着整个生产区域的制程机台的良率监控，YE区域根据一定的比率监控所有生产制程机台的缺陷状况)，然后，执行各类YE机台设定的自动跳站的RQT设定，判断晶圆剩余等待时间是否小于设定值，若判断结果为是，则自动跳站进入下一个站点，若判断结果为否，则继续在YE站点等待扫描(可每10分钟进行一次判断)。
[0004]然而，目前所用系统对允许剩余等待时间进行设定时，只能设置一个值，且该值无法适用于具有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动跳货方法，其特征在于，所述方法包括：晶圆通过扫描进入YE站点进行跳货时，根据晶圆在进入YE站点前所执行的recipe对YE站点的扫描机台设置机台最小允许等待时间、机台最大允许等待时间及机台允许剩余等待时间，并根据扫描机台的类型对所述机台最小允许等待时间的数值进行设置；判断晶圆当前剩余等待时间是否大于所述机台允许剩余等待时间，若判断结果为否，直接执行跳货，若判断结果为是，根据所述机台最小允许等待时间、所述机台允许剩余等待时间及所述晶圆当前剩余等待时间判断是否对晶圆进行跳货。2.根据权利要求1所述的自动跳货方法，其特征在于，针对同一所述recipe，所述机台最小允许等待时间大于等于0小于等于由所述recipe确定的所述机台最大允许等待时间。3.根据权利要求1所述的自动跳货方法，其特征在于，针对同一所述recipe，不同类型的所述扫描机台设...

【专利技术属性】
技术研发人员：金鑫，瞿燕，刘飞珏，
申请(专利权)人：上海华力集成电路制造有限公司，
类型：发明
国别省市：