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本发明提供一种自动跳货方法，所述方法包括：晶圆通过扫描进入YE站点进行跳货时，根据晶圆在进入YE站点前所执行的recipe对YE站点的扫描机台设置机台最小允许等待时间、机台最大允许等待时间及机台允许剩余等待时间，并根据扫描机台的类型对所述机...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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