热丝系统以及卧式HWCVD设备技术方案

本发明专利技术公开了热丝系统以及卧式HWCVD设备。该热丝系统被使用在卧式HWCVD设备中，其中，所述卧式HWCVD设备具有镀膜腔，所述镀膜腔内容置有用于载置衬底的载板，所述载板水平地被支撑并沿第一方向运行，所述热丝系统配置在所述镀膜腔的竖直方向的上部并沿所述第一方向以及与所述第一方向正交的第二方向延伸，所述热丝系统包括多个热丝馈入单元，多个所述热丝馈入单元分别沿所述第一方向以及所述第二方向配置。本发明专利技术的热丝系统能够保持镀膜工艺的稳定性并且提高系统使用的稳定性。的稳定性并且提高系统使用的稳定性。的稳定性并且提高系统使用的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
热丝系统以及卧式HWCVD设备


[0001]本专利技术涉及镀膜
，尤其涉及热丝系统以及卧式HWCVD设备。

技术介绍

[0002]热丝化学气相沉积(HWCVD)技术以其基底表面低温生长、工艺气体利用率高、生长速率高、无等离子体轰击损伤、良好的钝化效果、适合于大面积薄膜生长等工艺特性，在薄膜制备成本、化合物半导体、稳定性等方面具有很强的优势。其应用领域涉及GaAs、铁电、Si系ICs、薄膜晶体管(TFT)、高效太阳能电池等。
[0003]HWCVD设备的原理是利用热丝的高温和催化作用，反应气体在热丝表面发生裂解，其生成物沉积在镀膜对象物例如衬底的表面，从而得到所需的固态薄膜。由于反应过程中热丝温度高达1700
‑
1800℃，热丝高温下会软化，因此，现有的HWCVD设备的热丝系统通过是竖直地布置在镀膜腔的两侧，热丝的轴向沿竖直方向延伸。由此，即使热丝软化，由于重力的作用，也能够直线状地延伸。然而，热丝系统竖直地布置的HWCVD设备存在的问题是，衬底需要通过例如盖板固定到托盘上。这会导致被盖板遮挡部分无法镀膜。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.热丝系统，被使用在卧式HWCVD设备中，其中，所述卧式HWCVD设备具有镀膜腔，所述镀膜腔内容置有用于载置衬底的载板，所述载板水平地被支撑并沿第一方向运行，其特征在于，所述热丝系统配置在所述镀膜腔的竖直方向的上部并沿所述第一方向以及与所述第一方向正交的第二方向延伸，所述热丝系统包括多个热丝馈入单元，多个所述热丝馈入单元分别沿所述第一方向以及所述第二方向配置。2.根据权利要求1所述的热丝系统，其特征在于，所述热丝馈入单元以矩形阵列排布的方式，沿所述第一方向以及所述第二方向配置。3.根据权利要求1或2所述的热丝系统，其特征在于，所述镀膜腔的竖直方向的上部设置有用于密封所述镀膜腔的盖板，所述热丝系统配置在所述盖板的面向所述镀膜腔的一侧。4.根据权利要求1或2所述的热丝系统，其特征在于，所述热丝系统的各所述热丝馈入单元串联成一个回路。5.根据权利要求1或2所述的热丝系统，其特征在于，所述热丝系统的多个所述热丝馈入单元分为多组，各组所述热丝馈入单元分别串联成独立的回...

【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，程培勇，张海涛，杨福满，赵步举，刘顺，谭晓华，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：