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本发明公开了热丝系统以及卧式HWCVD设备。该热丝系统被使用在卧式HWCVD设备中，其中，所述卧式HWCVD设备具有镀膜腔，所述镀膜腔内容置有用于载置衬底的载板，所述载板水平地被支撑并沿第一方向运行，所述热丝系统配置在所述镀膜腔的竖直方向的...
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