太阳能电池板及其制作方法技术

技术编号:37980782 阅读:6 留言:0更新日期:2023-06-30 09:55
本发明专利技术提供一种太阳能电池板和太阳能电池板的制作方法,太阳能电池板包括衬底、顶扩散层、至少一个第一电极和至少一个第二电极,衬底的底部具有至少一个第一掺杂区和至少一个第二掺杂区,且第一掺杂区的掺杂极性与第二掺杂区的掺杂极性相反,第一掺杂区与第一电极电连接,第二掺杂区与第二电极电连接;顶扩散层层叠设置在衬底的顶部,且顶扩散层与衬底掺杂极性相反。本发明专利技术提供的太阳能电池板可基于应用场景需求,在正面选择性地制作顶电极(栅线),将电池由全背结电池结构改变为正面接触电池结构,灵活改变电池类型,提高了电池生产及应用的灵活性。及应用的灵活性。及应用的灵活性。

【技术实现步骤摘要】
太阳能电池板及其制作方法


[0001]本专利技术涉及光伏领域,具体地,涉及一种太阳能电池板及其制作方法。

技术介绍

[0002]太阳能电池应用市场近年来迅速发展,应用场景广阔且具有多样性,市场对太阳能电池提出了电池技术多样化、电池产品使用便利化发展等多种需求。
[0003]全背结电池(interdigitated back contact cell,IBC)的p型区和n型区及对应的金属电极(栅线)均分布在电池背面,能够增加电池正面的光吸收量、提高电池效率。

技术实现思路

[0004]本专利技术旨在提供一种太阳能电池板及其制作方法,该太阳能电池板可灵活调整工艺改变电池类型。
[0005]为实现上述目的,作为本专利技术的一个方面,提供一种太阳能电池板,包括衬底、顶扩散层、至少一个第一电极和至少一个第二电极,所述衬底的底部具有至少一个第一掺杂区和至少一个第二掺杂区,且所述第一掺杂区的掺杂极性与所述第二掺杂区的掺杂极性相反,所述第一掺杂区与所述第一电极电连接,所述第二掺杂区与所述第二电极电连接;
[0006]所述顶扩散层层叠设置在所述衬底的顶部,且所述顶扩散层与所述衬底掺杂极性相反。
[0007]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述顶扩散层背离所述衬底的一侧固定设置有顶电极,所述顶电极与所述顶扩散层电连接。
[0008]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述顶电极的材质包括银、铝、铜中的至少一者。
[0009]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述顶电极包括层叠的第一顶电极层和第二顶电极层,其中,所述第一顶电极层与所述顶扩散层电接触,所述第二顶电极层覆盖所述第一顶电极层背离所述衬底一侧的表面,且所述第二顶电极层材质的金属活泼性低于所述第一顶电极层材质的金属活泼性。
[0010]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第一顶电极层的材质为铜,所述第二顶电极层的材质为银。
[0011]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述顶扩散层的顶面上形成有多个制绒凸起,所述制绒凸起的形状为棱锥状,或者,所述顶扩散层的顶面上形成有多个制绒凹槽,所述制绒凹槽的形状为棱锥状。
[0012]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述顶扩散层的顶面上形成有多个制绒凸起,所述制绒凸起的形状为金字塔状,或者,所述顶扩散层的顶面上形成有多个制绒凹槽,所述制绒凹槽的形状为金字塔状。
[0013]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述太阳能电池板还包括第一钝化层,所述第一钝化层层叠设置在所述顶扩散层背离所述衬底一侧的表面,所述第一钝化层中形成有多
个第一过孔,所述第一过孔用于容纳所述顶电极的材料,以使所述顶电极通过所述第一过孔与所述顶扩散层电连接。
[0014]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第一钝化层的材质包括氧化铝、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅中的至少一者。
[0015]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第一钝化层包括多个第一子钝化层,任意两个所述第一子钝化层之间材质互不相同,所述第一子钝化层的材质为氧化铝、氧化硅、氮化硅或氮氧化硅。
[0016]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第一钝化层的厚度为60nm

150nm。
[0017]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述太阳能电池板还包括减反射层,所述减反射层层叠设置在所述第一钝化层背离所述衬底一侧的表面,所述减反射层中形成有多个避让过孔,且多个所述避让过孔的位置与多个所述第一过孔的位置一一对应,所述避让过孔用于容纳所述顶电极的材料,以使所述顶电极通过所述第一过孔以及所述避让过孔与所述顶扩散层电连接。
[0018]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述太阳能电池板还包括第二钝化层,所述第二钝化层层叠设置在所述衬底的底部,且所述第二钝化层中形成有多个第二过孔,多个所述第二过孔的位置与所述第一掺杂区的位置以及所述第二掺杂区的位置一一对应,所述第一电极通过对应的所述第二过孔与对应的所述第一掺杂区电连接,所述第二电极通过对应的所述第二过孔与对应的所述第二掺杂区电连接。
[0019]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第二钝化层的材质包括氧化铝、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅中的至少一者。
[0020]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第二钝化层包括多个第二子钝化层,任意两个所述第二子钝化层之间材质互不相同,所述第二子钝化层的材质为氧化铝、氧化硅、氮化硅或氮氧化硅。
[0021]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第二钝化层的厚度为50nm

120nm。
[0022]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第一电极的材质包括银、铝、铜中的至少一者。
[0023]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第一电极包括层叠的第一子层和第二子层,其中,所述第一子层与所述第一掺杂区电接触,所述第二子层覆盖所述第一子层背离所述衬底一侧的表面,且所述第二子层材质的金属活泼性低于所述第一子层材质的金属活泼性。
[0024]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第一子层的材质为铜,所述第二子层的材质为银。
[0025]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第二电极的材质包括银、铝、铜中的至少一者。
[0026]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第二电极包括层叠的第三子层和第四子层,其中,所述第三子层与所述第二掺杂区电接触,所述第四子层覆盖所述第三子层背离所述衬底一侧的表面,且所述第四子层材质的金属活泼性低于所述第三子层材质的金属活泼性。
[0027]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述第三子层的材质为铜,所述第四子层的材
质为银。
[0028]作为本专利技术的第二个方面,提供一种太阳能电池板的制作方法,包括:
[0029]制作基板,所述基板包括衬底和顶扩散层,所述顶扩散层层叠设置在所述衬底的顶部,且所述顶扩散层与所述衬底掺杂极性相反,所述衬底的底部具有至少一个第一掺杂区和至少一个第二掺杂区,且所述第一掺杂区的掺杂极性与所述第二掺杂区的掺杂极性相反;
[0030]在所述基板的底部形成至少一个第一电极和至少一个第二电极,所述第一电极与所述第一掺杂区电连接,所述第二电极与第二掺杂区所述电连接。
[0031]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述方法还包括:
[0032]在所述顶扩散层背离所述衬底的一侧制作与所述顶扩散层电连接的顶电极。
[0033]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述制作基板,具体包括:
[0034]对所述衬底的顶面和底面进行掺杂,使所述衬底的顶部形成所述顶扩散层,并使所述衬底的底部形成掺杂极性与所述衬底不同的底扩散层;
[0035]去除部分区域的所述底扩散层材料形成填充槽,并在所述填充槽中制作与掺杂极性与所述衬底相同的填充块,使所述底扩散层与所述填充块中的一者形成所述第一掺杂区,另一者形成所述第二掺杂区。
[0036]作为本专利技术的一种可选实施方式,所述对所述衬底的顶面和底面进行掺杂,包括:
[0037]利用第本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池板,其特征在于,包括衬底、顶扩散层、至少一个第一电极和至少一个第二电极,所述衬底的底部具有至少一个第一掺杂区和至少一个第二掺杂区,且所述第一掺杂区的掺杂极性与所述第二掺杂区的掺杂极性相反,所述第一掺杂区与所述第一电极电连接,所述第二掺杂区与所述第二电极电连接;所述顶扩散层层叠设置在所述衬底的顶部,且所述顶扩散层与所述衬底掺杂极性相反。2.根据权利要求1所述的太阳能电池板,其特征在于,所述顶扩散层背离所述衬底的一侧固定设置有顶电极,所述顶电极与所述顶扩散层电连接。3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池板,其特征在于,所述顶扩散层的顶面上形成有多个制绒凸起,所述制绒凸起的形状为棱锥状,或者,所述顶扩散层的顶面上形成有多个制绒凹槽,所述制绒凹槽的形状为棱锥状。4.根据权利要求3所述的太阳能电池板,其特征在于,所述太阳能电池板还包括第一钝化层,所述第一钝化层层叠设置在所述顶扩散层背离所述衬底一侧的表面,所述第一钝化层中形成有多个第一过孔,所述第一过孔用于容纳所述顶电极的材料,以使所述顶电极通过所述第一过孔与所述顶扩散层电连接。5.根据权利要求4所述的太阳能电池板,其特征在于,所述第一钝化层的材质包括氧化铝、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅中的至少一者。6.根据权利要求5所述的太阳能电池板,其特征在于,所述太阳能电池板还包括减反射层,所述减反射层层叠设置在所述第一钝化层背离所述衬底一侧的表面,所述减反射层中形成有多...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈达明霍亭亭张学玲
申请(专利权)人:天合光能股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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