【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于改善工件温度均匀性的混合式高温静电夹具
[0001]相关申请的引用
[0002]本申请要求享有于2020年11月11日提交的标题为“Hybrid high
‑
temperature electrostatic clamp for improved workpiece temperature uniformity”(用于改善工件温度均匀性的混合式高温静电夹具)的美国临时申请第63/112,538号的优先权，该美国临时申请的全部内容以全文引用的方式并入本文中。
[0003]本公开总体上涉及用于加工工件的工件加工系统和方法，更具体地涉及用于均匀控制离子注入系统中高温热静电夹具上的工件的温度的系统和方法。
技术介绍
[0004]在半导体加工中，可对工件或半导体晶圆执行诸如离子注入等诸多操作。随着离子注入加工技术的进步，已在工件处实施各种离子注入温度，以求在工件中实现各种注入特性。例如，在传统离子注入加工中，通常考虑三种温度状态：冷注入，其中工件处的加工温度维持在低于室温的温度；热注入，其中工件处...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种热静电夹持装置，包括：静电夹持构件，其配置成静电地夹持工件并且选择性地对所述工件的中心区域进行加热；以及非静电构件，其大体环绕所述静电夹持构件的周边，其中所述非静电构件配置成选择性地对所述工件的周边区域进行加热，并且其中所述非静电构件并未配置成静电地夹持所述工件。2.根据权利要求1所述的热静电夹持装置，其中所述静电夹持构件限定出中心夹持表面并且包括其中嵌入有一个或多个电极的中心主体，其中所述一个或多个电极配置成基于选择性地通过的电流来选择性地将所述工件的至少所述中心区域静电地夹持至所述中心夹持表面。3.根据权利要求2所述的热静电夹持装置，其中所述静电夹持构件进一步包括一个或多个第一加热器，所述一个或多个第一加热器配置成选择性地将所述工件的所述中心区域加热至第一温度。4.根据权利要求3所述的热静电夹持装置，其中所述一个或多个第一加热器包括至少一个电阻加热器。5.根据权利要求3所述的热静电夹持装置，其中所述非静电构件包括大体环绕所述静电夹持构件并且通过间隙与所述静电夹持构件隔开的周边主体。6.根据权利要求5所述的热静电夹持装置，其中当所述工件的所述中心区域被静电地夹持至所述静电夹持构件的所述中心夹持表面时，所述周边主体被定位在所述工件的所述周边区域的下方。7.根据权利要求5所述的热静电夹持装置，其中所述非静电构件进一步包括一个或多个第二加热器，所述一个或多个第二加热器与所述周边主体相关联并且配置成选择性地将所述工件的所述周边区域加热至第二温度。8.根据权利要求7所述的热静电夹持装置，进一步包括控制器，所述控制器配置成选择性地启用所述一个或多个第一加热器和所述一个或多个第二加热器。9.根据权利要求8所述的热静电夹持装置，进一步包括一个或多个热监测设备，所述一个或多个热监测设备配置成当所述工件驻留在所述中心夹持表面上时确定所述工件的所述中心区域和所述周边区域中的一个或多个的一个或多个温度，其中所述控制器配置成至少部分地基于所确定的所述一个或多个温度来选择性地启用所述一个或多个第一加热器和所述一个或多个第二加热器。10.根据权利要求9所述的热静电夹持装置，其中所述一个或多个热监测设备包括一个或多个直接接触式热设备，所述一个或多个直接接触式热设备配置成直接接触所述工件的表面。11.根据权利要求7所述的热静电夹持装置，其中所述一个或多个第一加热器和所述一个或多个第二加热器配置成选择性地将所述工件加热至大约400℃或更高。12.根据权利要求2所述的热静电夹持装置，其中所述非静电构件的顶面与所述静电夹持构件的所述中心夹持表面大体共面，并且其中所述非静电构件配置成接触所述工件的所述周边区域。13.根据权利要求2所述的热静电夹持装置，其中所述非静电构件的顶面凹陷成低于所
述静电夹持构件的所述中心夹持表面，其中所述非静电构件的所述顶面配置成不接触所述工件的所述周边区域。14.根据权利要求1所述的热静电夹持装置，其中所述静电夹持构件和所述非静电构件包括一种或多种陶瓷。15.根据权利要求1所述的热静电夹持装置，其中所述静电夹持构件和所述非静电构件由相对于彼此不同的材料构成。16.根据权利要求1所述的热静电夹持装置，其中所述静电夹持构件包括陶瓷材料，并且...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。