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热静电夹具具有与工件的中心区域相关联的中心静电部分。中心主体具有夹持表面以及与中心主体相关联的一个或多个电极。一个或多个电极基于通过其中的电流选择性地将工件的至少中心区域静电地夹持到夹持表面。中心主体的一个或多个第一加热器选择性地将中心静电...
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